تحليل التصوير المقطعي الذري للمراحل المعدنية الexsolvedه

Summary

تحليل الشكل والتكوين والتباعد من الحل الأمثل يمكن ان يوفر معلومات أساسيه لفهم العمليات الجيولوجية المتعلقة بالبراكين والمتحولة. نحن نقدم تطبيقا جديدا من APT لتوصيف هذه صفاحات ومقارنه هذا النهج للاستخدام التقليدي للمجهر الكترون والاتصالات النانويه المستندة إلى الاكذوبه.

Abstract

معدلات انتشار العنصر والتحكم في درجه الحرارة/الضغط مجموعه من العمليات البركانية الاساسيه والمتحولة. وغالبا ما تسجل هذه العمليات في صفاحات exsolved من المراحل المعدنية المضيفة. التالي ، فان تحليل التوجه والحجم والشكل والتكوين والتباعد بين صفاحات الحل هو مجال البحوث النشطة في علوم الجيولوجيا. وقد أجريت الدراسة التقليدية لهذه صفاحات عن طريق مسح المجهر الكترون (SEM) وانتقال المجهر الكترون (TEM) ، ومؤخرا مع تركيز الشعاع الأيوني (الاكذوبه) المستندة إلى الأنابيب النانويه ، ومع ذلك مع المعلومات الكيميائية محدوده. هنا ، نستكشف استخدام التصوير المقطعي لمسبار الذرة (APT) لتحليل النانو من المحلول البركاني الذي تم التوصل اليه في تيروماغنيتيت المتطايرة من رواسب الرماد التي اندلعت من بركان سوفريير هيلز النشط (مونتسيرات ، جزر الهند الغربية البريطانية). يسمح APT الحساب الدقيق لفواصل بينيه (14 – 29 ± 2 نانومتر) ويكشف عن ملامح الانتشار السلس مع عدم وجود حدود المرحلة حاده خلال تبادل Fe و Ti/O بين صفاحات exsolved والكريستال المضيف. نتائجنا تشير إلى ان هذا النهج الجديد يسمح قياسات النانو من التركيب صفاحات والتباعد interlamellar التي قد توفر وسيله لتقدير درجات الحرارة قبة الحمم اللازمة لمعدلات البثق نموذج وفشل قبة الحمم البركانية ، وكلاهما تلعب دورا رئيسيا في جهود التخفيف من مخاطر البراكين.

Introduction

وقد كانت دراسة علم المعادن الكيميائية مصدرا رئيسيا للمعلومات في مجال علوم الأرض لأكثر من قرن ، حيث سجلت المعادن بنشاط العمليات الجيولوجية اثناء وبعد تبلورها. يتم تسجيل الظروف الفيزيائية-الكيميائية لهذه العمليات ، مثل التغيرات في درجات الحرارة اثناء البراكين والمتحولة ، خلال النواة المعدنية والنمو في شكل zonation الكيميائية ، والمخططات ، و lamellae ، من بين أمور أخرى. شكل الحل الأمثل عندما أونميكسيس مرحله إلى مرحلتين منفصلتين في الحالة الصلبة. تحليل التوجه ، والحجم ، والتشكل ، والتباعد من هذه صفاحات exsolution يمكن ان توفر المعلومات الاساسيه لفهم التغيرات في درجه الحرارة والضغط اثناء البراكين والمتحولة^1،2،3 وتشكيل الرواسب المعدنية الخام⁴.

تقليديا ، أجريت دراسة صفاحات exsolution مع مراقبه ميكروغراف عن طريق التصوير الكترون المسح الضوئي بسيطه⁵. في الاونه الاخيره ، وقد تم استبدال هذا من خلال استخدام الطاقة المصفاة المجهر الكترون الإرسال (تيم) توفير ملاحظات مفصله في المستوي النانو^1،2،3. ومع ذلك ، في كلتا الحالتين ، يتم اجراء الملاحظات في بعدين (2D) ، والتي ليست كافيه تماما لثلاثه هياكل الابعاد (3D) التي تمثلها هذه lamellae exsolution. الأنابيب النانويه⁶ الناشئة كتقنية جديده للمراقبة 3d من ميزات النانو داخل الحبوب المعدنية ، ومع ذلك لا توجد معلومات كافيه حول تكوين هذه الميزات. وهناك بديل لهذه النهج هو استخدام التصوير المقطعي لمسبار الذرة (APT) ، الذي يمثل اعلي تقنيه تحليليه لتحليل الحيز المكاني في الوجود لتوصيف المواد⁷. تكمن قوه هذه التقنية في امكانيه الجمع بين أعاده بناء ثلاثية الابعاد لميزات النانو مع تركيبتها الكيميائية علي المقياس الذري مع الحساسية التحليلية القريبة من جزء لكل مليون⁷. وقد وفرت التطبيقات السابقة الخاصة بتحليل العينات الجيولوجية نتائج^{ممتازة8}و^9و10و11، ولا سيما في التوصيف الكيميائي للعنصر نشر وتركيزات^9,12,13. حتى الآن ، لم يتم استخدام هذا التطبيق لدراسة lamellae exsolution ، وفيرة في بعض المعادن التي استضافتها في الصخور المتحولة والشيطانية. هنا ، نستكشف استخدام APT ، وحدودها ، لتحليل حجم وتكوين lamellae الحل ، والتباعد بين السطور في بلورات تيروماغنيتيت البركانية.

Protocol

1. مصادر ، واختيار ، واعداد الحبوب المعدنية

ملاحظه: تم الحصول علي عينات من المجموعة المفهرسة في مرصد بركان مونتسيرات (MVO) والمستمدة من الرواسب المتساقطة الناشئة عن حلقه التهوية القوية في بركان سوفريير هيلز التي وقعت في 5 تشرين الأول/أكتوبر 2009 ؛ هذا كان واحده من 13 حادثات مماثله علي مسلك من ثلاثه أيام¹⁴. وقد سبقت هذه التنفيس الرماد مرحله جديده من نمو قبة الحمم البركانية (المرحلة 5) التي بدات في 9 تشرين الأول/أكتوبر. واظهر التحليل السابق لهذه العينة انه مزيج من شظايا الصخور الصخرية الكثيفة ، والجسيمات الزجاجية ، والحجرية العرضية¹⁴.

1. صب 1 غرام من عينه الرماد البركاني في صحن بيتري الزجاج قطرها 10 سم.
2. التفاف ورقه صغيره (3 سم × 3 سم) من الورق وزنها حول 10 G المغناطيس.
3. استخدام مغناطيس ملفوفه بالورق لسحب الحبوب الغنية المغنتيت بين 100 μm و 500 μm في قطر من عينه الرماد ومكان في 32 μm (5 φ) ، 8 سم قطرها الفولاذ المقاوم للصدا غربال.
4. يشطف في الماء منزوع الأيونات لمده 20 – 30 ثانيه باستخدام زجاجه ضغط لأزاله جزيئات الرماد الصغيرة الملتصقة (التي ستمر عبر المنخل) ، والهواء الجاف لمده 24 ساعة.
5. Affix جزيئات الرماد النظيفة والجافة لعينه يتصاعد مناسبه لمجهر الكترون الثانوي (SEM). الصورة في وضع الكترون الثانوي في 15-20 kV تسريع الجهد وعلي مسافة العمل من 10 ملم لتحديد 5-10 أفضل المرشحين لمزيد من التحليل. يجب ان تكون الحبوب المختارة في الغالب (> 50 ٪) المغنتيت (الشكل 1 ا، ب).
6. Affix اختيار الحبوب الرماد لمسح الشريط ، تحيط مع واحد بوصه قطرها جوفاء العفن (المعادن والبلاستيك ، أو المطاط) التي تم المغلفة داخليا مع فراغ الشحوم ، وتصب في الراتنج الايبوكسي لملء العفن (2 سم³). السماح الايبوكسي لعلاج وفقا لتعليمات الايبوكسي محدده.
7. مره واحده وقد شفي الايبوكسي ، وأزاله من العفن وقشر الشريط من القاع. يجب ان تكون الحبوب الرماد مكشوفة جزئيا.
8. البولندية الحبوب الرماد الايبوكسي الزهر باستخدام ورقه طحن سيك من خمسه احجام حصى مختلفه (400 ، 800 ، 1200 ، 1500 و 2000 حصى).
   1. البولندية العينة مع كل حجم حصى ، من اعلي (400) إلى ادني (2000) في الرقم ثمانيه الحركة لمده 10 دقيقه علي الأقل. بين احجام الحصى ، والعينة في حمام من الماء منزوع الأيونات لمده 10 دقيقه.
   2. تحقق من العينة تحت المجهر للتاكد من ان حصى تلميع ليست موجودة ، وسطح العينة خاليه من الخدوش. إذا كانت الخدوش موجودة ، كرر اجراء التلميع مع حجم الحصى السابقة قبل سونينج والانتقال إلى حجم حصى المقبل.
9. البولندية الحبوب الرماد الايبوكسي القط مع المعلقات تلميع الالومينا من 1.0 μm ومن ثم 0.3 μm علي تلميع الملابس.
   1. البولندية العينة مع كل تعليق في الرقم ثمانيه الحركة لمده 10 دقيقه علي الأقل. بين احجام التعليق ، والعينة في حمام من الماء منزوع الأيونات لمده 10 دقيقه.
   2. افحص العينة تحت المجهر للتاكد من ان التعليق غير موجود وان سطح العينة خالي من الخدوش. إذا كانت الخدوش موجودة ، كرر اجراء التلميع مع التعليق السابق قبل سونينج والانتقال إلى حجم التعليق التالي. في نهاية عمليه التلميع ، يجب ان يكون سطح الايبوكسي علي نحو سلس والحبوب الرماد ينبغي ان تكون مسطحه ومكشوفة جيدا.
10. معطف سطح العينة مع طبقه اجراء من ~ 10 نانومتر الكربون سميكه باستخدام جهاز طلاء بصق المتاحة.
11. الحصول علي صور الكترون المتناثرة من الحبوب الرماد مع المجهر الكترون في 15-20 kV تسريع الجهد ومسافة العمل من 10 ملم لتحديد موقع صفاحات الحل فيالمغنتيت (الشكل 1c) ، كما أجريت في السابق دراسات⁵.

الشكل 1: مثال للحبوب الرماد الغنية بالمغناطيسية من نوبات التنفيس في بركان سوفريير هيلز. (ا، ب): صور الكترونات المتناثرة (بورصة الجنون) من كل من رد فعل والقوام غير المتفاعلة في الحبوب المغنتيت. (ج) صوره مرض جنون البقر من الحبوب المصقولة التي تظهر وجود المحلول المموه (الرمادي الفاتح ؛ السهام الحمراء) من التكوين المحتمل للمينايت. (د) الصورة الكترونيه الثانوية للحبوب المصقولة التي أعدت لتحليل التصوير المقطعي الذري (APT) ، والتي تبين موقع بعض صفاحات الطارد (خطوط حمراء متقطعه) ، والتي يتم توزيعها علي طول سطح الحبوب ، وموقع اسفين استخراج (السهم الأزرق). يرجى النقر هنا لعرض نسخه أكبر من هذا الرقم.

2. ذره مسبار التصوير المقطعي (APT) اعداد عينه

1. سيتم اعداد عينات APT من اسفين من المواد التي تكشف عن وجود الحل الأمثل (الشكل 1d) الذي يستخدم بروتوكول الرفع المستند إلى المعلومات المؤسسية¹⁶ (الشكل 2). قبل العمل المؤسسي ، معطف بصق سطح العينة مع طبقه 15 نانومتر من النحاس لتجنب شحن الكترون والانجراف العينة.
2. باستخدام شعاع الأيون مركزه في مجهر المسح الضوئي ثنائي الشعاع (الاكذوبه-SEM) ، وإيداع مستطيل من البلاتين (Pt) (3 μm في سمك) علي القسم المصقول من الفائدة التي تحتوي علي صفاحات علي 1.5 μm x 20 μm المنطقة باستخدام الغاليوم (^{Ga +}) شعاع أيون في 30 كيلو فولت و 7 باسكال.
   ملاحظه: يتم إيداع هذه الطبقة البلاتين لحماية المنطقة من الفائدة (ROI) من الضرر شعاع الأيون.
3. مطحنه ثلاثه أسافين من المواد أدناه ثلاثه جوانب من المستطيل Pt باستخدام شعاع أيون (30 kV ، 1 nA). انظر الشكل 1 دال والشكل 2.
4. ادخل نظام حقن الغاز (GIS) وقم بلحام الوتد في الموضع الموضعي لجهاز النانو باستخدام ال GIS المودع قبل قطع الحافة النهائية مجانا (الشكل 2 ا).
5. باستخدام شعاع^{Ga +} أيون (5 kV و 240 pA) ، وقطع 10 1-2 ميكرون شرائح واسعه من اسفين والتوالي لقب لهم مع Pt إلى قمم Si المشاركات من القسيمة صفيف ميكروتيب (الشكل 2b-d).
6. شكل وشحذ كل غيض عينه باستخدام أنماط الطحن الحلقي من أقطار أصغر بشكل متزايد الداخلية والخارجية (الشكل 3). في البداية ، وأداء الطحن في 30 كيلو فولت لإنتاج الهندسة عينه اللازمة لل APT (الشكل 3، لوحه اليسار).
7. أداء الطحن النهائي في الجهد المتسارع من 5 كيلو فولت من أجل الحد من^{Ga +} غرس والحصول علي شكل متسقة غيض إلى طرف (الشكل 3، لوحه الحق).
8. من خلال تطبيق أدوات قياس SEM لهذا الرقم ، وضمان ان القطر في الأعلى من النصائح يتراوح 50-65 نانومتر ، في حين ان زاوية عرقوب من نصائح تتراوح من 25 درجه إلى 38 درجه مئوية.
   ملاحظه: تم نشر المزيد من التفاصيل في السابق ، واصفا بروتوكول الرفع التقليدي¹⁶.

الشكل 2: مثال لبروتوكول اعداد العينات المؤسسية لتحليل APT. (a) الاسفين (W) الاستخراج الخروج مع نانمانيباتور (نيوتن متر). (ب) العرض الجانبي لمجموعه القسائم الصغيرة لوظائف السليكون المثبتة علي مشبك نحاسي. (ج) عرض اعلي من مجموعه الصغيرة القسيمة من الوظائف السيليكون التي تظهر نانومانيباتور لتركيب المقاطع اسفين. (د) قطعه اسفين (S) ، تظهر جزءا من الغطاء البلاتيني الواقي (الشركة الخاصة بالشركة) ، المثبتة علي وظيفة السليكون بعد اللحام بالبلاتين (ptw). يرجى النقر هنا لعرض نسخه أكبر من هذا الرقم.

الشكل 3: مثال علي النصائح المعدة لتحليل APT. (يسار) صوره من تلميح بعد المرحلة الاولي من شحذ. (يمين) صوره من نفس الطرف بعد تنظيف منخفضه kV ، مشيرا إلى نصف قطرها غيض (67.17 نانومتر) وزاوية عرقوب (26 درجه). يرجى النقر هنا لعرض نسخه أكبر من هذا الرقم.

3. الحصول علي بيانات APT

1. اجراء التحليل مع مسبار ذره الكهربائية المحلية (قفزه) مجهزه بليزر بيكو الثانية 355 nm الاشعه فوق البنفسجية. راجع معلمات تشغيل قفزه محدده في الجدول 1.
   ملاحظه: أجريت التحاليل مع قفزه مجهزه بليزر بيكو الثاني 355 nm الاشعه فوق البنفسجية ، والتي تقع في مرفق التحليل المركزي (CAF) في جامعه الاباما.
2. جبل القسيمة الصغيرة مع النصائح شحذ ، ملحومه إلى المشاركات Si ، في عينه عفريت وتحميل في دائري لوضع داخل قفزه.
3. ادراج دائري داخل الغرفة العازلة من قفزه.
4. أدر راس الليزر وقم باجراء معايره الليزر.
5. بعد تحقيق فراغ في غرفه التحليل في أو تحت 6 x 10^-11 torr ، ادراج عينه عفريت في غرفه التحليل الرئيسية. لهذا استخدام قضيب نقل ؛ يتم تشغيل هذا مع سلسله من الخطوات التلقائية والادراج اليدوي.
6. قبل التحليل ، حدد الطرف عن طريق تحريك قرص العينة لمحاذاة الكوبون الصغير مع القطب المحلي وتحديث قاعده البيانات للاشاره إلى رقم التلميح.
   ملاحظه: تم تحليل أربعه من أصل سته نصائح بنجاح (اثنين من كسر اثناء التحليل) وأسفرت عن كميه متغيرة من البيانات المكتسبة تتراوح بين 26 إلى 92,000,000 الكشف عن مجموع الأيونات ، والتي تتطابق مع أزاله طبقه 160-280 نانومتر سميكه من المغنتيت (انظر محدده المعلمات تشغيل قفزه في الجدول 1).

عينه	207	217	218	219
وصف العينة	SHV ماجنيتيت	SHV ماجنيتيت	SHV ماجنيتيت	SHV ماجنيتيت
نموذج الصك	قفزه 5000 XS	قفزه 5000 XS	قفزه 5000 XS	قفزه 5000 XS
إعدادات الاداهات
الليزر الطول الموجي	355 نيوتن متر	355 نيوتن متر	355 نيوتن متر	355 نيوتن متر
نبض الليزر معدل	60 pJ	30 pJ	30 pJ	30 pJ
الليزر نبض الطاقة	500 كيلو هرتز	500 كيلو هرتز	500 كيلو هرتز	500 كيلو هرتز
التحكم في التبخر	معدل الكشف	معدل الكشف	معدل الكشف	معدل الكشف
معدل الكشف عن الهدف (%)	0.5	0.5	0.5	0.5
مسار الطيران الاسمي (مم)	100	100	100	100
درجه الحرارة (K)	50	50	50	50
الضغط (Torr)	5.7 x10-11	6.0 x10-11	6.1 [x10-11 ]	6.1 [x10-11 ]
أزاحه الأوفست ، to (ns)	279.94	279.94	279.94	279.94
تحليل البيانات
البرمجيات	IVAS 3.6.12	IVAS 3.6.12	IVAS 3.6.12	IVAS 3.6.12
مجموع الأيونات:	26,189,967	92,045,430	40,013,656	40,016,543
واحد	15,941,806	55,999,564	24,312,784	23,965,867
متعدده	9,985,564	35,294,528	15,331,670	15,716,119
الجزئي	262,597	751,338	369,202	334,557
الأيونات المعاد بناؤها:	25,173,742	89,915,256	38,415,309	39,120,141
تراوحت	16,053,253	61,820,803	25,859,574	26,598,745
غير التراوح	9,120,489	28,094,453	12,555,735	12,521,396
الخلفية (ppm/nsec)	12	12	12	12
اعاده الاعمار
حاله الطرف النهائي	كسر	كسر	كسر	كسر
التصوير قبل/بعد التحليل	SEM/n.a.	SEM/n.a.	SEM/n.a.	SEM/n.a.
شعاع تطور النموذج	جهد	جهد	جهد	جهد
Vالاولي؛ Vالنهائي	2205 الخامسة ؛ 6413 الخامس	2361 الخامسة ؛ 7083 الخامس	2198 الخامسة ؛ 6154 الخامس	2356 الخامسة ؛ 6902 الخامس

الجدول 1 اتوم مسبار التصوير المقطعي إعدادات الحصول علي البيانات وملخص التشغيل.

4. تجهيز بيانات APT

1. افتح مجموعه البيانات في برنامج المعالجة (راجع جدول المواد) وقم بتنفيذ الخطوات التالية لتحليل البيانات.
   1. راجع اعداد المعلومات.
   2. حدد نطاق تسلسل الأيونات استنادا إلى مؤامرة تاريخ الجهد. حدد منطقه الكاشف التي تهمك (ROI).
   3. قم باجراء تصحيح وقت الرحلة. استخدم القمم المقابلة للأكسجين والحديد للتصحيح.
   4. اجراء المعايرة الشاملة مع تحديد القمم الرئيسية.
   5. تنفيذ تتراوح من الأيونات لتعييناتهم إلى الجماهير محدده.
   6. اجراء أعاده بناء الشخصية غيض.
2. إظهار البيانات في التنسيقين الرئيسيين: 1) الطيف الكيميائي لنسبه الدولة الشاملة للشحن (دا) (الشكل 4) ؛ و 2) أعاده البناء 3D من العينات غيض (الشكل 5).
3. تحديد نطاقات الذروة كذروة مرئية بأكملها ، أو الضبط يدويا عند وجود ذيول حراريه كبيره ، لكل طيف نسبه الكتلة إلى الشحن (الشكل 4). هذه القمم تمثل عناصر واحده أو الأنواع الجزيئية ، وتحلل القمم يوفر التركيب الكيميائي الشامل لكل غيض أو ميزه (اي التكتلات و lamellae الحل) داخل كل طرف (الجدول 2).
4. اجراء عمليات أعاده بناء الأطراف ثلاثية الابعاد (3D) باستخدام الشكل الجانبي لطرف "الجهد الكهربي"¹⁷ لتحديد نصف القطر المعاد بناؤه كداله لعمق التحليل (الشكل 5 والفيلم 1).
5. أعاده بناء الخطوط الفاصلة للاميلاي لاجراء قياسات التباعد بين المواد البينية (الشكل 5) وإنشاء العلاقة الكيميائية المعدنية لاميلا المضيف باستخدام proxigrams^17،18 (الشكل 6 ).
6. قياس الفواصل interlamellar مع برنامج تحليل الصور.

الشكل 4: مثال علي الطيف التمثيلي الشامل للشحن. الطيف لل تحليل المغنتيت الكريستال مع الفردية تراوحت قمم تبين أمثله علي تحديد قمم المقابلة للعناصر واحده (علي سبيل المثال ، الأكسجين (O) أو الحديد (Fe)) أو جزيئات (علي سبيل المثال ، FeO). يرجى النقر هنا لعرض نسخه أكبر من هذا الرقم.

عينه	207			217			218			219
عنصر	عدد الذرة	الطاقة ذريه	1s خطا	عدد الذرة	الطاقة ذريه	1s خطا	عدد الذرة	الطاقة ذريه	1s خطا	عدد الذرة	الطاقة ذريه	1s خطا
يا	9459276	40.263	0.0155	36679256	40.724	0.0080	15396155	41.010	0.0124	16212281	41.224	0.0122
Fe	9424298	40.114	0.0155	35948593	39.913	0.0079	14829905	39.502	0.0121	15006853	38.159	0.0116
مليون	15954	0.068	0.0005	72884	0.081	0.0003	28166	0.075	0.0004	31450	0.080	0.0005
ملغ	123755	0.527	0.0015	486732	0.540	0.0008	203596	0.542	0.0012	234231	0.596	0.0012
Al	85598	0.364	0.0013	329602	0.366	0.0006	134637	0.359	0.0010	154779	0.394	0.0010
سي	13855	0.059	0.0005	39307	0.044	0.0002	16278	0.043	0.0003	25750	0.065	0.0004
Na	166	0.001	0.0001	1254	0.001	0.0000	447	0.001	0.0001	1468	0.004	0.0001
تي	4360052	18.558	0.0097	16478946	18.296	0.0049	6920481	18.434	0.0076	7645849	19.442	0.0077
ح	10657	0.045	0.0004	30522	0.034	0.0002	12899	0.034	0.0003	14478	0.037	0.0003
مجموع	23493611	100.00	0.04	90067097	100.00	0.02	37542563	100.00	0.04	39327140	100.00	0.03
Fe + Ti + O		98.94			98.93			98.95			98.82
Fe/Ti		2.16			2.18			2.14			1.96

الجدول 2 اتوم مسبار التصوير المقطعي معظم البيانات التركيبية لجميع العينات تحليلها.

النتائج

مثل العديد من بلورات تيروماغنيتيت من مراحل مختلفه من بركان سوفريير هيلز (SHV) ثوران ، الكريستال تحليلها هنا يحتوي علي الحل الأمثل < 10 μm في سماكه ، مرئية في الصور SEM الثانوية (الشكل 1d) ، والتي تفصل بين مناطق تي الغنية المغنتيت ، مشيرا إلى مرحله C2 من الاكسده¹⁸. استناد?...

Discussion

تسمح أعاده بناء بيانات APT ثلاثية الابعاد بقياس دقيق للمسافة البينية في البلورة المحللة بدقه ثلاثه أوامر بالحجم اعلي من تلك التي تقاس من صور SEM التقليدية. وهذا يشير إلى ان الاختلافات الذرية في الكيمياء تحدث علي مدي مكاني ثلاثه أوامر من حجم أصغر من التغيرات المعدنية القابلة للملاحظة بصريا. أ...

Materials

Name	Company	Catalog Number	Comments
InTouchScope Secondary Electron Microscope (SEM)	JEOL	JSM-6010PLUS/LA
Focus Ion Beam (FIB) Secondary Electron Microscope (SEM)	TESCAN	LYRA XMU
Local Electrode Atom Probe (LEAP)	CAMECA	5000 XS
Integrated Visualization and Analysis Software (IVAS, version 3.6.12).			processing software