للبدء ، قم بإزالة درع الألومنيوم من البندقية ووضع المادة المستهدفة في وسط الغطاء. اربط الغطاء بإحكام على حامل المغنطرون وأعد توصيل درع الألومنيوم. لف جسم الغرفة والبنادق وحامل العينة بورق الألمنيوم.
باستخدام فحص متعدد الأمتار لدائرة فرز بين أجسام الغرفة وجسم الغرفة والبندقية وجسم الغرفة والهدف. ثم أغلق الباب وابدأ عملية التنظيف بالمكنسة الكهربائية في الغرفة لمدة 15 إلى 30 دقيقة. في بداية التنظيف بالمكنسة الكهربائية ، اضغط بقوة على الباب والجسم معا لضمان إحكام الغلق.
راقب مقياس الضغط لتأكيد انخفاض الضغط. الآن قم بتنشيط نظام التبريد واضبطه على 15 درجة مئوية. قم بتشغيل أزرار المضخة والتبريد وافتح الصمام المتصل بأداة الاخرق.
الآن اضبط تدفق غاز الأرجون إلى أربعة سنتيمترات مكعبة قياسية في الدقيقة وقم بتنشيط مفتاح تبديل الغاز. اضبط سرعة الدوران على 10 دورات في الدقيقة وقم بتشغيل مفتاح تبديل الدوران. اضغط على زر الطاقة لتنشيط وحدة التحكم في الشبكة المطابقة التلقائية ومصدر طاقة التردد اللاسلكي.
في وحدة تحكم الشبكة المطابقة التلقائية ، استخدم زر min / max ، واضبط الحمل واضبطه على 50٪ لكل منهما. ثم قم بتبديل الوضع من يدوي إلى تلقائي. على مصدر طاقة التردد اللاسلكي ، اضبط طاقة التردد اللاسلكي على 50 واط واضغط على زر البدء.
اضبط المؤقت لمدة 15 دقيقة. ثم قم بإيقاف تشغيل طاقة التردد اللاسلكي والدوران. اضبط تدفق الأرجون على الصفر وقم بإيقاف تشغيل مفتاح التبديل.
بعد ذلك ، قم بإيقاف تشغيل الفراغ. تأكد من إيقاف تشغيل المضخة الجزيئية التوربينية قبل تنفيس الحجرة لمنع التلف. بعد ذلك ، افتح الحجرة وقم بتحميل الركائز المعدة في الزاوية الخارجية لحامل العينة الدوار للترسب الأمثل.
أغلق باب الحجرة وقم بالمكنسة الكهربائية لمدة لا تقل عن ست ساعات. قم بتنشيط نظام التبريد كما هو موضح سابقا وافتح الصمام المرتبط بأداة الاخرق. اضبط سرعة الدوران لتدفق الأرجون التلقائي لوحدة تحكم الشبكة المطابقة ، وتردد الراديو كما هو موضح سابقا.
اضغط على زر البدء ، ثم افحص الغرفة بحثا عن وجود البلازما. قم بزيادة طاقة التردد اللاسلكي بشكل تدريجي بمقدار خمسة واط كل 10 ثوان حتى تصل إلى 75 واط. اضبط المؤقت لمدة 60 دقيقة بعد ذلك ، قم بإيقاف تشغيل طاقة التردد اللاسلكي ونظام الدوران.
قم أيضا بإيقاف تشغيل وحدة التحكم في شبكة المطابقة التلقائية ومصدر طاقة التردد اللاسلكي. اضبط تدفق غاز الأرجون على الصفر وأوقف تشغيل مفتاح تبديل الغاز. ثم أطفئ الفراغ وقم بتهوية الغرفة لفتحها.
باستخدام ملاقط إزالة جميع العينات من الغرفة ووضعها في طبق بتري نظيفة. نظف الحجرة وقم بتنظيفها بالمكنسة الكهربائية لمدة 10 إلى 15 دقيقة للحفاظ على حالة فراغ خالية من الشوائب.
