Fabrication of the Capacitive Pressure Sensor

为了组装电容式压力传感器，请制造具有指指条纹效应设计的软电极。将铂金硅胶软质泡沫的两种组分以一比一和六比一的重量比混合，并快速搅拌以制备两种倾倒尺寸的软硅胶泡沫的介电层。将混合物倒入3D打印模具中，并使用带有多个孔的板覆盖。

混合物固化后，切开穿过孔的硅胶泡沫并取出板。最后，将制备的介电泡沫放在指叉软电极层上，完成压力传感器的制造。线宽为200微米的设备由于具有更强的条纹场效应而具有更高的灵敏度。

A部分与B部分重量比较高的泡沫也比空气分数较低的泡沫具有更高的灵敏度。循环测试表明，所制备的软电容式传感器在1000次循环压力载荷下仍保持了较高的重复性。