扫描电子显微镜 (SEM)
Overview
资料来源: 实验室的博士安德鲁 J.Steckl — — 辛辛那提大学
扫描电子显微镜、 或扫描电镜，是强大的显微镜用电子来形成图像。它允许在不能使用传统的显微镜的放大倍数的导电样品的成像。现代光学显微镜可以实现一个放大的 ~ 1，000 X，而典型的扫描电镜可以达到放大超过 30，000 X。扫描电镜不用于创建图像的光，因为它形成造成的照片是在黑色和白色。
导电样品放在扫描电镜的样品阶段。一旦样品室达到真空，用户将着手将电子枪对齐到正确的位置系统中。电子枪射出一束高能电子，传播通过透镜和光圈的组合，最终达到样品。由于电子枪继续拍摄电子在样品上的精确位置，二次电子将弹跳的样品。这些二次电子探测器由标识。发现从二次电子信号被放大，并发送到监视器，创建 3D 图像。这个视频会显示扫描电镜样品制备、 操作和成像能力。
Procedure
1.样品的制备
- 地方样品到样品存根 （stub）。如有必要，碳磁带可能用于粘合剂粘接样品到存根 （stub）。
- 将样品放入黄金溅射系统。使用淘金热的小规模溅射，溅射金子为 30 米/秒 ~ 70 mTorr 压力。不同的金层厚度可能有必要根据样品的几何。更粗糙或多孔表面需要再溅射时间。
- 从黄金溅射系统删除存根 （stub）。
2.样品插入和扫描电镜启动
- 发泄在扫描电镜室，允许会议厅，以达到额定压力。
- 打开扫描电镜的样品室，拿出样品阶段。
- 插入示例存根 （stub） 包含样本上了舞台。拧紧到位的存根 （stub）。
- 如果 z 距离不能控制的软件，请确保样品阶段与示例存根 （stub） 具有适当的高度，以获得更好的形象。
- 放入样品室样品阶段。关闭样品室。
- 打开泵，使系统能够达到真空。这完成时，系统将通知用户。
- 打开扫描电镜软件。选择所需操作电压从 1 — — 30 千
Results
Application and Summary
References
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