Comience operando el software AFM y cargando el sustrato de muestra en una oblea en el sistema AFM. Asegúrese de que la superficie inferior en contacto con la muestra sea paralela a la superficie superior. Para localizar el área de interés, asegúrese de ajustar la platina de muestra antes de ajustar la posición XY en el plano utilizando el micrómetro de la platina AFM.
A continuación, monte y fije el conjunto de sondas en voladizo AFM en el soporte de la sonda. Realice un barrido de frecuencia para identificar automáticamente la frecuencia de resonancia de cada voladizo para la obtención de imágenes. Seleccione la posición relativa de la matriz en voladizo en la primera área de interés que se va a visualizar.
A continuación, establezca una coordenada global haciendo clic en el botón cero XYZ antes de cerrar y sellar el escudo acústico. Comience la creación de imágenes de topografía y el ajuste de parámetros seleccionando la pestaña Configuración de parámetros de imágenes. Introduzca las coordenadas de la esquina superior izquierda antes de escanear el tamaño de una sola imagen panorámica.
A continuación, introduzca la resolución de píxeles deseada en el plano y utilice la velocidad de escaneo lineal predeterminada recomendada por el software para la obtención de imágenes. Para el funcionamiento en modo de roscado, utilice la amplitud, la frecuencia y el punto de ajuste de accionamiento de roscado predeterminados en el software obtenidos a partir de las características del voladizo. A continuación, deje que el sistema ponga en contacto automáticamente la muestra y la sonda.
Ajuste los parámetros del controlador de derivada integral proporcional para cada voladizo en función de la traza escaneada por imagen antes de guardar los datos y retirar la sonda. Para verificar la resolución espacial de la matriz de voladizo activo, se capturaron imágenes de alta resolución de grafito pirolítico altamente orientado con un pequeño rango de imagen en el plano de cinco por cinco micrómetros y 1028 por 1028 píxeles. La eficacia de AFM utilizando voladizos activos paralelos se demostró mediante la captura de las imágenes cosidas de una clasificación de calibración con cuatro voladizos operados en paralelo.
El escaneo AFM reveló que la estructura de calibración de la oblea de silicio tenía características de 45 micrómetros de largo con una altura de 14 nanómetros. Cada voladizo cubría un área de 125 por 125 micrómetros, lo que daba una imagen panorámica cosida de 500 por 125 micrómetros. Las imágenes y la máscara de litografía UV extrema para crear características semiconductoras mostraron una imagen panorámica general unida con una resolución espacial de cinco nanómetros que cubría un área de 505 por 130 micrómetros.
Varias áreas del circuito se veían claramente en la imagen. A 10 líneas por segundo, se capturaron 101.000 por 26.000 píxeles en aproximadamente 40 minutos, lo que es significativamente más rápido que los sistemas AFM convencionales.
