Fabrication of the Capacitive Pressure Sensor

静電容量式圧力センサーを組み立てるために、桁間フリンジ効果設計でソフト電極を製作します。プラチナシリコーンフレキシブルフォームの2つの成分を1対1および6対1の重量比で混合し、すばやく攪拌して、2つの注ぎ口サイズの軟質シリコーンフォームの誘電体層を準備します。混合物を3Dプリントされた型に注ぎ、いくつかの穴のあるボードを使用して覆います。

混合物が硬化したら、穴から来るシリコーンフォームを切り取り、ボードを取り外します。最後に、準備した誘電体フォームを挟んだ軟質電極層に配置して、圧力センサーの製造を完了します。線幅が200マイクロメートルのデバイスは、フリンジ電界効果が強いため、感度が高くなりました。

また、A部とB部の重量比が高い発泡体は、空気分率の低い発泡体よりも感度が高かった。サイクリックテストにより、作製したソフト静電容量センサーは、1000回のサイクリック圧力負荷を通じて高い再現性を維持していることが明らかになりました。