Para começar, remova o escudo de alumínio da arma e coloque o material alvo no centro da tampa. Aperte com segurança a tampa no suporte do magnetron e reconecte o escudo de alumínio. Envolva o corpo da câmara, as pistolas e o porta-amostras com papel alumínio.
Usando uma verificação multimétrica para um circuito de classificação entre os corpos da câmara, o corpo da câmara e a arma, e o corpo da câmara e o alvo. Em seguida, feche a porta e inicie o processo de aspiração na câmara por 15 a 30 minutos. No início da aspiração, pressione firmemente a porta e o corpo juntos para garantir uma vedação apertada.
Monitore o manômetro para confirmar uma diminuição na pressão. Agora ative o sistema de resfriamento e configure-o para 15 graus Celsius. Ligue a bomba e os botões de refrigeração e abra a válvula conectada ao instrumento de sputtering.
Agora ajuste o fluxo de gás argônio para quatro centímetros cúbicos padrão por minuto e ative o botão de alternância de gás. Defina a velocidade de rotação para 10 RPM e ligue o botão de alternância de rotação. Pressione o botão liga/desliga para ativar o controlador de rede de correspondência automática e a fonte de alimentação de radiofrequência.
No controlador de rede de correspondência automática use o botão min/max, ajuste a carga e ajuste para 50% cada. Em seguida, mude o modo de manual para automático. Na fonte de alimentação de radiofrequência, defina a potência de radiofrequência para 50 watts e pressione o botão Iniciar.
Defina o temporizador para 15 minutos. Em seguida, desligue a alimentação e a rotação de RF. Defina o fluxo de argonne para zero e desligue o botão de alternância.
Depois disso, desligue o vácuo. Certifique-se de desligar a bomba molecular turbo antes de ventilar a câmara para evitar danos. Em seguida, abra a câmara e carregue os substratos preparados no canto externo do porta-amostras giratório para uma deposição ideal.
Feche a porta da câmara e vácuo por um período mínimo de seis horas. Ative o sistema de resfriamento como mostrado anteriormente e abra a válvula ligada ao instrumento de sputtering. Defina a velocidade de rotação, o fluxo de argônio, o controlador de rede de correspondência automática e a frequência de rádio, conforme demonstrado anteriormente.
Pressione o botão Iniciar e inspecione a câmara para verificar a presença de plasma. Aumente incrementalmente a potência de RF em cinco watts a cada 10 segundos até atingir 75 watts. Ajuste o temporizador para 60 minutos Depois, desligue a energia de radiofrequência e o sistema de rotação.
Desligue também o controlador de rede de correspondência automática e a fonte de alimentação de radiofrequência. Ajuste o fluxo de gás argônio para zero e desligue o interruptor de alternância de gás. Em seguida, desligue o vácuo e ventile a câmara para abri-la.
Usando pinças, retire todas as amostras da câmara e coloque-as em uma placa de Petri limpa. Limpe a câmara e aspira-a por 10 a 15 minutos para manter uma condição de vácuo livre de impurezas.
