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Plasma-Assisted Molecular Beam Epitaxy Growth of Mg3N2 and Zn3N2 Thin Films

7.4K Views

13:05 min

May 11th, 2019

DOI :

10.3791/59415-v

May 11th, 2019

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1Department of Electrical and Computer Engineering, University of Victoria

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Keywords Plasma assisted Molecular Beam Epitaxy
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