Abstract
Engineering
इस अध्ययन में, हम एक 3 डी लिथोग्राफी विधि का उपयोग करके आवधिक voids के साथ एक लचीला 3 डी जाल संरचना गढ़े और यह कम अनुनाद आवृत्ति और उत्पादन शक्ति में वृद्धि करने के लिए एक कंपन ऊर्जा हार्वेस्टर के लिए आवेदन । निर्माण प्रक्रिया मुख्य रूप से दो भागों में विभाजित है: 3 डी जाल संरचना के प्रसंस्करण के लिए तीन आयामी फोटोलिथग्राफी, और पीजोइलेक्ट्रिक फिल्मों और मेष संरचना की एक संबंध प्रक्रिया । गढ़े लचीला जाल संरचना के साथ, हम गूंज आवृत्ति और उत्पादन शक्ति के सुधार, एक साथ की कमी हासिल की । कंपन परीक्षणों के परिणामों से, मेशेद-कोर-प्रकार के कंपन ऊर्जा हार्वेस्टर (वेह) ने ठोस-कोर-प्रकार वेह की तुलना में ४२.६% अधिक आउटपुट वोल्टेज प्रदर्शित किया । इसके अतिरिक्त, मेशेद-कोर-प्रकार वेह में १८.७ हर्ट्ज प्रतिध्वनि आवृत्ति, १५.८% ठोस-कोर-प्रकार की तुलना में कम है, और आउटपुट पावर का २४.६ μw, ठोस-कोर-प्रकार वेह की तुलना में ६८.५% अधिक है । प्रस्तावित विधि का लाभ यह है कि तीन आयामों में voids के साथ एक जटिल और लचीला संरचना अपेक्षाकृत आसानी से झुका जोखिम विधि द्वारा एक कम समय में गढ़े जा सकता है । के रूप में यह मेष संरचना, इस तरह के पहनने योग्य उपकरणों और घर उपकरणों के रूप में कम आवृत्ति अनुप्रयोगों में उपयोग, भविष्य में उम्मीद की जा सकती है की गूंज आवृत्ति को कम करने के लिए संभव है ।
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