Abstract
Engineering
本研究では 3 D 露光法を用いた振動エネルギー ハーベスタと、共振周波数を下げるし、出力を高めるに適用することで定期的な空隙を持つ柔軟な 3 D メッシュ構造体を作製しました。作製プロセスは主に 2 つの部分に分けられる: 3 D メッシュ構造と圧電体膜の接合プロセスとメッシュ構造を処理するための 3次元のフォトリソグラフィ。作製した柔軟なメッシュ構造を持つ我々 共振周波数の低減と、出力の向上を同時に実現振動実験の結果からは、メッシュ コア型振動エネルギー収穫 (車両) は 42.6% 出力電圧より高い電圧の固体コア型車両を展示しました。さらに、メッシュ コア型 VEH は 18.7 Hz の共振周波数、15.8% の固体コア型車両よりも低いと出力電力、68.5% 以上の固体コア型 VEH の 24.6 μ W をもたらした。この手法の利点は、傾斜露光法によって、3 つの次元の空隙を持つ複雑かつ柔軟な構造体が短時間で比較的簡単に作製したです。メッシュ構造により、VEH の共振周波数を低く、低周波では、ウェアラブル機器や家電などを使用することが可能であるが、将来的に期待できます。
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