Wachstum von Gold Dendritic Nanoforests auf Titannitus Nitrium beschichtetem Silizium-Substrat

In dieser Studie wird ein hochleistungsfähiges Impulsmagnetron-Sputtersystem verwendet, um eine flache und feste Titannitridfolie (TiN) auf Silizium-Wafern (Si) zu beschichten, und eine fluoridgestützte galvanische Ersatzreaktion (FAGRR) wird für die schnelle und einfache Ablagerung von Gold eingesetzt. Dendritische Nanowälder (Au DNFs) auf den TiN/Si-Substraten. Die Scanning-Elektronenmikroskopie (SEM) Bilder und energiesparende Röntgenspektroskopie-Muster von TiN/Si und Au DNFs/TiN/Si Proben bestätigen, dass der Syntheseprozess genau gesteuert wird. Unter den Reaktionsbedingungen in dieser Studie steigt die Dicke der Au DNFs linear auf 5,10 ± 0,20 μm innerhalb von 15 Minuten der Reaktion an. Daher ist das verwendete Syntheseverfahren ein einfacher und schneller Ansatz für die Vorbereitung von Au DNFs/TiN/TiTiTiTi-Verbundwerkstoffen.