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En este artículo

  • Resumen
  • Resumen
  • Introducción
  • Protocolo
  • Resultados
  • Discusión
  • Divulgaciones
  • Agradecimientos
  • Materiales
  • Referencias
  • Reimpresiones y Permisos

Resumen

Presentamos un protocolo para la fabricación de metahologramas visibles multiplexados por giro y dirección, y luego llevamos a cabo un experimento óptico para verificar su función. Estos metahologramas pueden visualizar fácilmente la información codificada, por lo que se pueden utilizar para la visualización volumétrica proyectiva y el cifrado de información.

Resumen

La técnica de holografía óptica realizada por metasurfaces ha surgido como un enfoque novedoso para la visualización volumétrica proyectiva y la visualización de cifrado de información en forma de dispositivos ópticos ultrafinos y casi planos. En comparación con la técnica holográfica convencional con moduladores de luz espacial, el metaholograma tiene numerosas ventajas como la miniaturización de la configuración óptica, una mayor resolución de imagen y un mayor campo de visibilidad para imágenes holográficas. Aquí, se informa de un protocolo para la fabricación y caracterización óptica de metahologramas ópticos que son sensibles al giro y la dirección de la luz incidente. Las metasuperficies están compuestas de silicio amorfo hidrogenado (a-Si:H), que tiene un gran índice de refracción y un pequeño coeficiente de extinción en todo el rango visible, lo que resulta en una alta transmitancia y eficiencia de difracción. El dispositivo produce diferentes imágenes holográficas cuando se cambia el giro o la dirección de la luz incidente. Por lo tanto, pueden codificar varios tipos de información visual simultáneamente. El protocolo de fabricación consiste en la deposición de película, escritura de haz de electrones y posterior grabado. El dispositivo fabricado se puede caracterizar mediante una configuración óptica personalizada que consta de un láser, un polarizador lineal, una placa de un cuarto de onda, una lente y un dispositivo acoplado a la carga (CCD).

Introducción

Las metasuperficies ópticas compuestas de nanoestructuras de sub-longitud de onda han permitido muchos fenómenos ópticos interesantes, incluyendo la ocultación óptica1, refracción negativa2, absorción de luz perfecta3, filtrado de color4, proyección de imagen holográfica5, y la manipulación de haz6,7,8. Las metasuperficies ópticas que tienen dispersores adecuadamente diseñados pueden modular el espectro, el frente de onda y la polarización de la luz. Las pri....

Protocolo

1. Fabricación de dispositivos

NOTA: La Figura 1 muestra el proceso de fabricación de a-Si:H metasurfaces17.

  1. Preparar una pieza de oblea de sílice fundida (tamaño 2 cm x 2 cm, espesor de 500 m) como sustrato. Enjuague el sustrato con acetona y alcohol isopropílico (IPA) y luego sople gas nitrógeno sobre el sustrato para secarlo.
  2. Depositar una película a-Si:H de 380 nm de espesor en el sustrato utilizando la deposición de vapor químico mejorada por plasma (PECVD) con los siguientes ajustes: temperatura de la cámara a 300 oC; potencia de radiofrecuencia 800 W; caudal de....

Resultados

Las metasuperficies a-Si:H permiten una alta eficiencia de polarización cruzada y se pueden fabricar utilizando un método (Figura 1) que es compatible con CMOS; este rasgo puede permitir la fabricación escalable y la comercialización casi futura. La imagen SEM muestra las metasuperficies a-Si:H fabricadas (Figura 2). Además, a-Si:H tiene un índice de refracción más grande que TiO2 y GaN, por lo que incluso con nanoestructura de baja relación .......

Discusión

Las metasuperficies a-Si:H se fabricaron en tres pasos principales: deposición de película delgada a-Si:H usando PECVD, EBL preciso y grabado en seco. Entre estos pasos, el proceso de escritura de EBL es el más importante. En primer lugar, la densidad del patrón en las metasuperficies es bastante alta, por lo que el proceso requiere un control preciso sobre la dosis de electrones (energía) y parámetros de escaneo como el número de puntos por área de unidad. La condición de desarrollo también debe elegirse cuida.......

Divulgaciones

Ninguno.

Agradecimientos

Este trabajo fue apoyado financieramente por las subvenciones de la National Research Foundation (NRF) (NRF-2019R1A2C3003129, CAMM-2019M3A6B3030637, NRF-2019R1A5A8080290) financiadas por el Ministerio de Ciencia y TIC del gobierno de Corea. I.K. reconoce la beca NRF Global Ph.D. (NRF-2016H1A2A1906519) financiada por el Ministerio de Educación del gobierno de Corea.

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Materiales

NameCompanyCatalog NumberComments
AcetonJ.T. Baker925402
Beam splitterThorlabsCCM1-BS013/M
Chromium etchantKMGCr-7
Chromium evaporation sourceKurt J. LeskerEVMCR35D
ClampThorlabsCP175
Conducting polymerShowa denkoE-spacer
Diode laserThorlabsCPS635
E-beam evaporation systemKorea Vacuum TechKVE-E4000
E-beam resistMicrochem495 PMMA A2
Electron beam lithographyElionixELS-7800
Half-wave plateThorlabsAHWP05M-600
Inductively-coupled plasma reactive ion etchingDMS-
IrisThorlabsSM1D12
Isopropyl alcoholJ.T. Baker909502
Kinematic mirror mountThorlabsKM100/M
LensThorlabsLB1630
Lens MountThorlabsLMR2/M
Linear polarizerThorlabsGTH5-A
MirrorThorlabsPF10-03-G01
Neutral density filterThorlabsNDC-50C-4
Plasma enhanced chemical vapor depositionBMR TechnologyHiDep-SC
PostThorlabsTR75/M
Post holderThorlabsPH75E/M
Quarter-wave plateThorlabsAQWP10M-580
Resist developerMicrochemMIBK:IPA=1:3
Rotational mountThorlabsRSP1/M
Scanning electron microscopyHitachiRegulus8100
XY translation mountThorlabsXYF1/M
1-inch adapterThorlabsAD11F
1-inch lens mountThorlabsCP02/M

Referencias

  1. Ni, X., Wong, Z. J., Mrejen, M., Wang, Y., Zhang, X. An ultrathin invisibility skin cloak for visible light. Science. 349 (6254), 1310-1314 (2015).
  2. Valentine, J., et al. Three-dimensional optical metamaterials with a negative....

Reimpresiones y Permisos

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