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Presentamos un protocolo para la fabricación de metahologramas visibles multiplexados por giro y dirección, y luego llevamos a cabo un experimento óptico para verificar su función. Estos metahologramas pueden visualizar fácilmente la información codificada, por lo que se pueden utilizar para la visualización volumétrica proyectiva y el cifrado de información.
La técnica de holografía óptica realizada por metasurfaces ha surgido como un enfoque novedoso para la visualización volumétrica proyectiva y la visualización de cifrado de información en forma de dispositivos ópticos ultrafinos y casi planos. En comparación con la técnica holográfica convencional con moduladores de luz espacial, el metaholograma tiene numerosas ventajas como la miniaturización de la configuración óptica, una mayor resolución de imagen y un mayor campo de visibilidad para imágenes holográficas. Aquí, se informa de un protocolo para la fabricación y caracterización óptica de metahologramas ópticos que son sensibles al giro y la dirección de la luz incidente. Las metasuperficies están compuestas de silicio amorfo hidrogenado (a-Si:H), que tiene un gran índice de refracción y un pequeño coeficiente de extinción en todo el rango visible, lo que resulta en una alta transmitancia y eficiencia de difracción. El dispositivo produce diferentes imágenes holográficas cuando se cambia el giro o la dirección de la luz incidente. Por lo tanto, pueden codificar varios tipos de información visual simultáneamente. El protocolo de fabricación consiste en la deposición de película, escritura de haz de electrones y posterior grabado. El dispositivo fabricado se puede caracterizar mediante una configuración óptica personalizada que consta de un láser, un polarizador lineal, una placa de un cuarto de onda, una lente y un dispositivo acoplado a la carga (CCD).
Las metasuperficies ópticas compuestas de nanoestructuras de sub-longitud de onda han permitido muchos fenómenos ópticos interesantes, incluyendo la ocultación óptica1, refracción negativa2, absorción de luz perfecta3, filtrado de color4, proyección de imagen holográfica5, y la manipulación de haz6,7,8. Las metasuperficies ópticas que tienen dispersores adecuadamente diseñados pueden modular el espectro, el frente de onda y la polarización de la luz. Las pri....
1. Fabricación de dispositivos
NOTA: La Figura 1 muestra el proceso de fabricación de a-Si:H metasurfaces17.
Las metasuperficies a-Si:H permiten una alta eficiencia de polarización cruzada y se pueden fabricar utilizando un método (Figura 1) que es compatible con CMOS; este rasgo puede permitir la fabricación escalable y la comercialización casi futura. La imagen SEM muestra las metasuperficies a-Si:H fabricadas (Figura 2). Además, a-Si:H tiene un índice de refracción más grande que TiO2 y GaN, por lo que incluso con nanoestructura de baja relación .......
Las metasuperficies a-Si:H se fabricaron en tres pasos principales: deposición de película delgada a-Si:H usando PECVD, EBL preciso y grabado en seco. Entre estos pasos, el proceso de escritura de EBL es el más importante. En primer lugar, la densidad del patrón en las metasuperficies es bastante alta, por lo que el proceso requiere un control preciso sobre la dosis de electrones (energía) y parámetros de escaneo como el número de puntos por área de unidad. La condición de desarrollo también debe elegirse cuida.......
Ninguno.
Este trabajo fue apoyado financieramente por las subvenciones de la National Research Foundation (NRF) (NRF-2019R1A2C3003129, CAMM-2019M3A6B3030637, NRF-2019R1A5A8080290) financiadas por el Ministerio de Ciencia y TIC del gobierno de Corea. I.K. reconoce la beca NRF Global Ph.D. (NRF-2016H1A2A1906519) financiada por el Ministerio de Educación del gobierno de Corea.
....Name | Company | Catalog Number | Comments |
Aceton | J.T. Baker | 925402 | |
Beam splitter | Thorlabs | CCM1-BS013/M | |
Chromium etchant | KMG | Cr-7 | |
Chromium evaporation source | Kurt J. Lesker | EVMCR35D | |
Clamp | Thorlabs | CP175 | |
Conducting polymer | Showa denko | E-spacer | |
Diode laser | Thorlabs | CPS635 | |
E-beam evaporation system | Korea Vacuum Tech | KVE-E4000 | |
E-beam resist | Microchem | 495 PMMA A2 | |
Electron beam lithography | Elionix | ELS-7800 | |
Half-wave plate | Thorlabs | AHWP05M-600 | |
Inductively-coupled plasma reactive ion etching | DMS | - | |
Iris | Thorlabs | SM1D12 | |
Isopropyl alcohol | J.T. Baker | 909502 | |
Kinematic mirror mount | Thorlabs | KM100/M | |
Lens | Thorlabs | LB1630 | |
Lens Mount | Thorlabs | LMR2/M | |
Linear polarizer | Thorlabs | GTH5-A | |
Mirror | Thorlabs | PF10-03-G01 | |
Neutral density filter | Thorlabs | NDC-50C-4 | |
Plasma enhanced chemical vapor deposition | BMR Technology | HiDep-SC | |
Post | Thorlabs | TR75/M | |
Post holder | Thorlabs | PH75E/M | |
Quarter-wave plate | Thorlabs | AQWP10M-580 | |
Resist developer | Microchem | MIBK:IPA=1:3 | |
Rotational mount | Thorlabs | RSP1/M | |
Scanning electron microscopy | Hitachi | Regulus8100 | |
XY translation mount | Thorlabs | XYF1/M | |
1-inch adapter | Thorlabs | AD11F | |
1-inch lens mount | Thorlabs | CP02/M |
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