Loading to the Vacuum System and Germanium Deoxidization
4:30
Thin Film ALD Growth and Annealing of the Strontium Titanate (STO) Film
7:23
Results: RHEED and X-ray Diffraction Analysis
8:41
Conclusion
Transcript
The overall goal of this procedure is to grow high dielectric constant crystalline perovskite oxides in a scalable process to function as gadoxides directly on geranium, a future microelectronics platform. This method can answer key questions in t
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Ce travail détaille les procédures pour la croissance et la caractérisation de SrTiO cristalline 3 directement sur des substrats de germanium par dépôt de couches atomiques. La procédure illustre la capacité d'un procédé de croissance de tous les produits chimiques pour intégrer monolithiquement sur des oxydes semi-conducteurs pour des dispositifs à semiconducteurs métal-oxyde.