Loading to the Vacuum System and Germanium Deoxidization
4:30
Thin Film ALD Growth and Annealing of the Strontium Titanate (STO) Film
7:23
Results: RHEED and X-ray Diffraction Analysis
8:41
Conclusion
Transcript
The overall goal of this procedure is to grow high dielectric constant crystalline perovskite oxides in a scalable process to function as gadoxides directly on geranium, a future microelectronics platform. This method can answer key questions in t
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Dettagli Questo lavoro le procedure per la crescita e caratterizzazione di SrTiO cristallina 3 direttamente su substrati germanio per deposizione strato atomico. La procedura illustra la capacità di un metodo di crescita all-chimico per integrare ossidi monoliticamente su semiconduttori per dispositivi a semiconduttore metallo-ossido.