Loading to the Vacuum System and Germanium Deoxidization
4:30
Thin Film ALD Growth and Annealing of the Strontium Titanate (STO) Film
7:23
Results: RHEED and X-ray Diffraction Analysis
8:41
Conclusion
Transcript
The overall goal of this procedure is to grow high dielectric constant crystalline perovskite oxides in a scalable process to function as gadoxides directly on geranium, a future microelectronics platform. This method can answer key questions in t
Sign in or start your free trial to access this content
Bu çalışma atomik tabaka birikimi ile germanyum yüzeylerde doğrudan kristal SrTiO 3 büyümesi ve karakterizasyonu için prosedürler ayrıntıları. Prosedür metal oksit yarı iletken cihazlar için yarı iletkenler üzerine monolitik oksitler entegre bir all-kimyasal büyüme yönteminin yeteneğini gösterir.