Name: fabrication and testing of photonic thermometers
Uploaded: 2018-10-24T12:30:00
Description: Watch this Scientific Journal Video about Fabrication and Testing of Photonic Thermometers at JoVE.com

De auteurs erkennen de NIST/CNST NanoFab-faciliteit voor het verstrekken van de mogelijkheid om het fabriceren van silicium fotonische temperatuursensoren en Wyatt Miller en Dawn Cross voor hulp bij het opzetten van de experimenten.

1. apparaat Fabrication
Opmerking: Silicium fotonische apparaten kunnen worden vervaardigd met behulp van silicium-op-isolator (SOI) plaatjes toepassen conventionele CMOS-technologie via foto - of electron beam lithografie gevolgd door inductieve plasma reactive ion etch (ICP RIE) voor 220 nm-dikke bovenste silicium laag. Nadat ICP RIE etch kunnen de apparaten top-fineerhout met een dunne polymeerfolie of SiO2 beschermlaag. Hieronder zijn de belangrijkste stappen van in de fabricage v...

<ol>
	<li>Price, R. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=The+Platinum+resistance+Thermometer.">The Platinum resistance Thermometer.</a> Platinum Metals Review. 3 (3), 78-87 (1959).</li><li>Xu, H., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Ultra-Sensitive+Chip-Based+Photonic+Temperature+Sensor+Using+Ring+Resonator+Structures.">Ultra-Sensitive Chip-Based Photonic Temperature Sensor Using Ring Resonator Structures.</a> Optics Express. 22, 3098-3104 (2014).</li><li>Donner, J. S., Thompson, S. A., Kreuzer, M. P., Baffou, G., Quidant, R. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Mapping+Intracellular+Temperatrure+Using+Green+Flurorescent+Protein.">Mapping Intracellular Temperatrure Using Green Flurorescent Protein.</a> Nano Letters. 12 (4), 2107-2111 (2012).</li><li>Ahmed, Z., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Towards+Photonics+Enabled+Quantum+Metrology+of+Temperature,+Pressure+and+Vacuum.">Towards Photonics Enabled Quantum Metrology of Temperature, Pressure and Vacuum.</a> arXiv:1603.07690 [physics.optics]. , (2016).</li><li>Ahmed, Z., Filla, J., Guthrie, W., Quintavall, J. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Fiber+Bragg+Gratings+Based+Thermometry.">Fiber Bragg Gratings Based Thermometry.</a> NCSL International Measure. 10, 24-27 (2015).</li><li>Hill, K. O., Meltz, G. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Fiber+Bragg+Grating+Technology+Fundamental+and+Overview.">Fiber Bragg Grating Technology Fundamental and Overview.</a> J. of Lightwave Technology. 15, 1263-1275 (1997).</li><li>Liacouras, P. C., Grant, G., Choudhry, K., Strouse, G. F., Ahmed, Z. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Fiber+Bragg+Gratings+Embedded+in+3D-printed+Scaffolds.">Fiber Bragg Gratings Embedded in 3D-printed Scaffolds.</a> NCSL International Measure. 10 (2), 50-52 (2015).</li><li>Klimov, N. N., Mittal, S., Berger, M., Ahmed, Z. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=On-chip+silicon+waveguide+Bragg+grating+photonic+temperature+sensor.">On-chip silicon waveguide Bragg grating photonic temperature sensor.</a> Optical Letters. 40 (17), 3934-3936 (2015).</li><li>Klimov, N. N., Purdy, T., Ahmed, Z. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=On-Chip+Silicon+Photonic+Thermometers:+from+Waveguide+Bragg+Grating+to+Ring+Resonators+sensors.">On-Chip Silicon Photonic Thermometers: from Waveguide Bragg Grating to Ring Resonators sensors.</a> Proceedings. , (2015).</li><li>Kim, G. D., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Silicon+photonic+temperature+sensor+employing+a+ring+resonator+manufactured+using+a+standard+CMOS+process.">Silicon photonic temperature sensor employing a ring resonator manufactured using a standard CMOS process.</a> Optical Express. 18 (21), 22215-22221 (2010).</li><li>Purdy, T., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Thermometry+with+Optomechanical+Cavities.">Thermometry with Optomechanical Cavities.</a> , STu1H.2 (2016).</li></ol>

Het doel van dit experiment was te kwantificeren van de temperatuur afhankelijke respons van een fotonische thermometer. Voor kwantitatieve meting van de temperatuur is het verstandig om het gebruik van een stabiele warmtebron, zoals een diepe droge goed, klein volume sensoren, goed thermisch contact tussen de bron- en de sensor te zorgen en te minimaliseren warmte metrologie-rang verliest voor het milieu. Deze vereisten wordt voldaan gemakkelijk door het verlijmen van optische vezels naar de chip, effectief het creëren...

De gouden standaard voor temperatuur metrologie, de platina weerstandsthermometer, werd voor het eerst voorgesteld door Sir Siemens in 1871 met Callender1 ontwikkeling van het eerste apparaat in 1890. Sinds die tijd heeft incrementele voortgang in het ontwerp en de productie van thermometers een breed scala aan temperatuur meten oplossingen geleverd. De standaard platina weerstandsthermometer (NTC) is het interpolating instrument voor het realiseren van internationale temperatuurschaal (ITS-90) en de verspreiding ervan met behulp van weerstand Thermometrie. Vandaag, speelt meer dan een eeuw na zijn uitvinding, weerstand Thermometrie een cruciale rol in verschillende aspecten van industrie en dagelijks variërend van biomedische ontwikkelingen voor de productie van procescontrole, energieproductie en consumptie. Hoewel goed gekalibreerde industriële weerstand thermometers kunnen het meten van temperatuur met onzekerheden zo klein als 10 mK, ze zijn gevoelig voor mechanische schok, thermische stress en omgevingsvariabelen zoals vochtigheid en chemische verontreinigingen. Bijgevolg vereisen weerstand thermometers periodieke (en dure) off-line herkalibraties. Deze fundamentele beperkingen van weerstand Thermometrie hebben veel belangstelling bij de ontwikkeling van fotonische temperatuur sensoren2 die vergelijkbaar is met betere meting mogelijkheden whislt zijn robuuster tegen mechanische schok kan leveren . Een dergelijke devcie zal een beroep op nationale en industriële laboratoria en diegenen die geïnteresseerd zijn in de lange termijn toezicht waar instrument drift productiviteit negatief kan beïnvloeden.
In de afgelopen jaren een grote verscheidenheid van roman fotonische thermometers hebben voorgesteld met inbegrip van lichtgevoelige pigmenten3, sapphire gebaseerde magnetron whispering gallery modus resonator4, fiber optische sensoren5,6, 7, en op de chip silicon nano-fotonische sensoren8,9,10. Op NIST, zijn onze inspanningen gericht op de ontwikkeling van de goedkope, gemakkelijk-inzetbare, roman temperatuursensoren en normen die gemakkelijk worden vervaardigd met behulp van bestaande technologieën, zoals CMOS-compatibele productie. Bijzondere aandacht is de ontwikkeling van silicon fotonische apparaten. We hebben aangetoond dat deze apparaten kunnen worden gebruikt voor het meten van temperatuur over het bereik van-40 ° C tot 80 ° C en 5 ° C tot 165 ° C met onzekerheden die vergelijkbaar met verouderde apparaten8 zijn. Bovendien, onze resultaten suggereren dat met een betere proces bedieningsorgaan uitwisselbaarheid volgorde van 0,1 ° C onzekerheid haalbaar (dat wil zeggen de onzekerheid van de temperatuurmeting met behulp van nominale coëfficiënten niet kalibratie bepaald coëfficiënten ).

<table border="0" cellpadding="0" cellspacing="0" width="672">
	<tbody>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:216px;">Packaging process</td>
			<td style="width:99px;"></td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td style="width:239px;"></td>
		</tr>
		<tr height="42">
			<td height="42" style="height:42px;width:216px;">6-axis stage</td>
			<td style="width:99px;">PI instruments</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:216px;">video cameras</td>
			<td style="width:99px;"></td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:216px;">epoxy dispensation system</td>
			<td style="width:99px;"></td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:216px;">Fiber array</td>
			<td style="width:99px;"></td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:216px;">Temperature Measurement</td>
			<td style="width:99px;"></td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:216px;">Metrology Well</td>
			<td style="width:99px;">Fluke</td>
			<td align="right" style="width:119px;">9170</td>
			<td>Dry well stable to better than .01 K</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:216px;">Laser</td>
			<td style="width:99px;">Newport</td>
			<td style="width:119px;">TLB6700</td>
			<td>1520-1570 nm tunable laser</td>
		</tr>
		<tr height="20">
			<td height="20" style="height:20px;width:216px;">Wavemeter</td>
			<td style="width:99px;">HighFinesse</td>
			<td style="width:119px;">WS/7</td>
			<td>100 Hz wavemeter</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:216px;">Power meter</td>
			<td style="width:99px;">Newport</td>
			<td style="width:119px;">1936-R</td>
			<td>power meter with broad range</td>
		</tr>
	</tbody>
</table>

fabrication and testing of photonic thermometers

In de afgelopen jaren heeft een impuls voor de ontwikkeling van nieuwe silicon fotonische apparaten voor telecommunicatie een enorme kennisbank die is nu voor het ontwikkelen van geavanceerde fotonische sensoren wordt leveraged gegenereerd. Silicon fotonische sensoren proberen te misbruiken van de sterke opsluiting van licht in nano-golfgeleiders om te transduce van veranderingen in de fysische toestand aan veranderingen in de resonantiefrequentie. In het geval van Thermometrie veroorzaakt de thermo-optiek-coëfficiënt, dat wil zeggen, veranderingen in brekingsindex te wijten aan de temperatuur, de resonant frequentie van de fotonische apparaat zoals een raspend Bragg te drijven met de temperatuur. We zijn het ontwikkelen van een suite van fotonische devices die gebruik maken van recente ontwikkelingen in de telecom compatibel lichtbronnen te fabriceren van kosteneffectieve fotonische temperatuursensoren, die kunnen worden ingezet in een breed scala aan instellingen variërend van gecontroleerde laboratorium voorwaarden, aan de lawaaierige omgeving van een fabrieksvloer of een verblijfsvergunning. In dit manuscript detailleren wij ons protocol voor de fabricage en testen van fotonische thermometers.

Zoals blijkt uit Figuur 2, toont de ring resonator transmissie spectra een smalle duik in transmissie overeenkomt met de voorwaarde van resonantie. De resonantie marge verschuift naar langere golflengten zoals temperatuur is gestegen van 20 ° C tot 105 ° C in stappen van 5 ° C. Het spectrum van de transmissie is gemonteerd op een polynomiale functie waaruit het piek-center is gewonnen. De veelterm passen bleek te geven van de meest consistente resultaten i...

Watch this Scientific Journal Video about Fabrication and Testing of Photonic Thermometers at JoVE.com

Fabrication and Testing of Photonic Thermometers

Beschrijven we het proces van fabricage en beproeving van fotonische thermometers.

Fabricage en beproeving van fotonische Thermometers

In recent years, a push for developing novel silicon photonic devices for telecommunications has generated a vast knowledge base that is now being ...

Fotonische thermometrie kan helpen bij de overgang van het gebied van temperatuurmetrologie van op weerstand gebaseerde legacy-technologie naar op frequentie gebaseerde metingen. Het belangrijkste voordeel van deze techniek is dat we de vooruitgang in frequentiemetrologie kunnen gebruiken om preciezere metingen te doen terwijl we apparaten fabriceren die de fysieke beperkingen van de huidige technologie overwinnen, zoals grootte en gevoeligheid voor mechanische schokken en veranderingen in het milieu. De implicatie van deze techniek strekt zich uit tot het veranderen van de manier waarop we analyseren in de Verenigde Staten en de wereld.Een ultra stabiele fotonische thermometer vermindert de behoefte aan frequente kalibraties. Toekomstige ontwikkeling van optomechanische temperatuurnormen kan de kalibratiestandaard in de gebruikershanden plaatsen, waardoor gespecialiseerde kalibratiefaciliteiten niet meer nodig zijn. Over het algemeen zullen individuen die nieuw zijn op deze methode het moeilijk hebben omdat het een kruising is van twee uiteenlopende gebieden die beide hun eigen taal, technologievereisten en gespecialiseerde protocollen hebben voor het maximaliseren van de uitkomst.Elke nieuwe gebruiker moet leren zich aan te passen en aan te passen aan soms concurrerende vereisten. Om te beginnen reinigt u een SOI-wafer zoals beschreven in het bijbehorende tekstprotocol. Bedek de wafer met 20 tot 50 milliliter MA-N 2405 negatieve toon fotoresist.Draai het op 4,000 RPM gedurende 60 seconden en breng de wafer naar een hete plaat en bak het op 90 graden Celsius gedurende 15 minuten. Stel na het bakken de fotoresist bloot aan het patroon dat hier wordt getoond met behulp van een standaard E-beam lithografie-opstelling. Plaats vervolgens de wafer in MIF 319 ontwikkelaar oplossing en uitbroed het voor 60 seconden.Breng de ontwikkelde wafer in water en spoel deze nog eens 60 seconden af. Voer vervolgens een ICP RIE-ets uit van de 220 nanometer dikke siliciumlaag om het onbeschermde silicium te verwijderen. Los het weerstandsmasker een uur lang op in pure aceton, gevolgd door een isopropanolspoeling.Spoel vervolgens de wafer gedurende 60 seconden in gedeïioneerd water en droog de wafer met stikstof. Plaats nu de wafer terug in de spin coater. Deponeren een een nanometer dikke beschermende polymeer film toplaag op de wafer.Tot slot, dobbelstenen de wafer met een wafer dicing zaag in 20 millimeter bij 20 millimeter klein en gemakkelijk te hanteren chips. Plaats de fotonische chip op de zes-assige fase en oriënteer de chip zodat de invoer- en uitvoerpoorten aan de chip worden uitgelijnd met de V-groefarray. Schakel vervolgens vacuümzuigzuiging in via een geïntegreerde vacuümpomppoort op het podium om de chip op zijn plaats te houden.Gebruik de digitale camera met de bovenste weergave om de fotonische apparaten van belang te vinden en te plaatsen in het midden van de zes-assige fase. Plaats nu de V-groefarrayhouderarm dicht bij de chip en gebruik vacuümzuiging via een geïntegreerde pomppoort om de array op zijn plaats te houden. Met behulp van de zijaanzicht digitale camera's als een visuele feedback, plaats de vezel array boven de on-chip gradiënt koppelingen en verhogen het podium om de fotonische chip te brengen tot binnen 10 micrometer van de onderkant van de vezel array rand.De rand van de V-groefvezelarray moet ongeveer worden uitgelijnd binnen 50 tot 100 micron nauwkeurigheid ten opzichte van on-chip uitlijningsmarkeringen. Deze procedure brengt de optische vezel binnen een relatieve nabijheid van de overeenkomstige gradiëntkoppelaars. Zodra de chip ongeveer is uitgelijnd, activeert u de automatische zoekopdracht naar de zesassige fase.Dit algoritme zoekt naar de maximale overdracht van breedbandlicht via de invoer- en uitvoerpoorten van de chip. Het duurt niet langer dan 20 tot 30 seconden. Zodra de optimale uitlijning is bereikt, controleert u de levensvatbaarheid van het apparaat voordat u verdergaat met het hechten.Met behulp van een programma zoals LabVIEW, de controle van de on-stage geïntegreerde module om thermisch cyclus van de chip de temperatuur tijdens het opnemen van de spectrale reactie. Analyseer de opgenomen spectra van de laserspectrometer om de temperatuurgevoeligheid van het apparaat te verifiëren. Laat de array langzaam zakken tot aan het oppervlak van de chip terwijl u de digitale camera aan de zijkant bekijkt.Plaats vervolgens voorzichtig de met epoxy gevulde spuit in de nabijheid van de rand van de fiber array met behulp van een andere XYZ micron precisiefase. Eenmaal in positie, afzien van een enkele micro druppel epoxy. Terwijl de epoxy verhardt, periodiek uitvoeren van de geautomatiseerde uitlijning routine om drift-geïnduceerde verlies van signaal te voorkomen.Na de epoxy kuren, test de fotonische chip prestaties en licht koppeling efficiëntie door het opnemen van de transmissie spectra bij verschillende temperaturen. De efficiëntie van de lichtkoppeling neemt doorgaans toe na het hechtingsproces. Gebruik ongeveer een milligram thermisch vet om thermisch koppel de vezel-gebonden fotonische chip aan een kleine koperen cilinder.Laat vervolgens voorzichtig de koperen cilinder van de chip in een glazen buis zakken. Eenmaal in positie, rug vul de glazen buis met argon gas en verzegelen met behulp van een rubberen kurk. Plaats vervolgens de verpakte fotonische thermometer in een metrologie temperatuur droog goed stabiel tot binnen een micro Kelvin.Met behulp van de op maat gemaakte computerprogramma, stel de afwikkelingstijd voor 20 tot 30 minuten, het aantal thermische cycli op ten minste drie, en de temperatuur stap grootte tussen een en vijf Celsius. Stel ook het aantal opeenvolgende scans in op ten minste vijf en de laserkracht in de nanowatt op microwattbereik. Zoals hier getoond, de ring resonator transmissie spectra toont een smalle dip in de transmissie die overeenkomt met de resonantie conditie bij elke temperatuur.De resonantie franje verschuift naar langere golflengten als temperatuur wordt verhoogd van 20 Celsius tot 105 Celsius in vijf graden Celsius stappen. Onze voorlopige analyse van het thermische fietsexperiment suggereert dat de door vochtigheid veroorzaakte veranderingen in de epoxy waarschijnlijk de grootste bestuurder van hysterese in verpakte fotonische thermometers zijn en dat onverpakte apparaten geen significante hysterese vertonen. Bovendien kan de hysterese in het verpakte apparaat worden verbeterd door hydrofobe epoxy als desiccant aan de glasbuis te gebruiken alvorens een strakkere verbinding rond de verbinding van het rubberrkglas af te sluiten.Tijdens een poging tot deze procedure, is het belangrijk om te onthouden om eventuele chemische verontreiniging van de monsters te minimaliseren, zoals vocht in de verpakte buis, omdat het ernstig zal de meetnauwkeurigheid degraderen. Na deze procedure kunnen andere methoden worden uitgevoerd, zoals laservergrendeling of dual frequency comb spectroscopie om aanvullende vragen te beantwoorden over de stabiliteit op lange termijn van deze apparaten, impulsbelasting en karakterisering van thermische fysieke eigenschappen. Na de ontwikkeling heeft deze techniek de weg vrijgemaakt voor onderzoekers op het gebied van metrologie om precisiemetrologie te onderzoeken voor andere fysieke en chemische hoeveelheden zoals druk-, vacuüm- en spoorgasanalyse in ingebedde systemen.Vergeet niet dat het werken met agressieve chemicaliën in een schone ruimte en heldere lichtbronnen zoals lasers in het lab zeer gevaarlijk kan zijn en voorzorgsmaatregelen zoals het gebruik van persoonlijke beschermingsmiddelen zoals een laserbril moeten altijd worden genomen tijdens het uitvoeren van deze procedure.

Research

Education

JoVE Core

JoVE Journal

Physics

Chemistry

Unit 1

Temperature and Heat

SCIENTISTS IN ACTION

Fabrication of Large-area Free-standing Ultrathin Polymer Films

Fabricage van Groot-area Vrijstaande Ultradunne Polymer Films

This procedure describes a method for the fabrication of large-area and ultrathin free-standing polymer films.  Typically, ultrathin films are prepared ...

Microbubble Fabrication of Concave-porosity PDMS Beads

Microbellen Fabrication van Concave-porositeit PDMS Beads

Microbubble fabrication (by use of a fine emulsion) provides a means of increasing the surface-area-to-volume (SAV) ratio of polymer materials, which is ...

Flow-pattern Guided Fabrication of High-density Barcode Antibody Microarray

Flow-patroon Begeleide Fabrication van High-density Barcode Antibody Microarray

Antibody microarray as a well-developed technology is currently challenged by a few other established or emerging high-throughput technologies. In this ...

Influence of Hybrid Perovskite Fabrication Methods on Film Formation, Electronic Structure, and Solar Cell Performance

Invloed van Hybrid Perovskite fabricagemethoden on Film Formation, Electronic Structure en Zonnecel prestaties

Hybrid organic/inorganic halide perovskites have lately been a topic of great interest in the field of solar cell applications, with the potential to ...

Synthesis and Testing of Supported Pt-Cu Solid Solution Nanoparticle Catalysts for Propane Dehydrogenation

Synthese en testen van ondersteunde Pt-Cu vaste oplossing Nanoparticle Catalysts voor Propa Dehydrogenation

A convenient method for the synthesis of bimetallic Pt-Cu catalysts and performance tests for propane dehydrogenation and characterization are ...

Fabrication of Spherical and Worm-shaped Micellar Nanocrystals by Combining Electrospray, Self-assembly, and Solvent-based Structure Control

Fabricage van bolvormig en Worm-vormige micellaire nanokristallen door het combineren van Electrospray, zelf-assemblage en controle van de structuur op basis van oplosmiddel

Micellar nanocrystals (micelles with encapsulated nanocrystals) have become an emerging major class of nanobiomaterials. We describe a method of ...

Fabrication and Testing of Catalytic Aerogels Prepared Via Rapid Supercritical Extraction

Fabricage en beproeving van katalytische Aerogels bereid Via snelle superkritische extractie

Protocols for preparing and testing catalytic aerogels by incorporating metal species into silica and alumina aerogel platforms are presented. Three ...

Iron Nanowire Fabrication by Nano-Porous Anodized Aluminum and its Characterization

Ijzer-Nanodraad fabricage door nano-poreus geanodiseerd aluminium en de karakterisering ervan

Magnetic nanowires possess unique properties that have attracted the interest of different fields of research, including basic physics, biomedicine, and ...

Fabrication of Thin Film Silver/Silver Chloride Electrodes with Finely Controlled Single Layer Silver Chloride

Fabricage van dunne film zilver / zilverchloride elektroden met fijn gecontroleerde enkele laag zilverchloride

This paper aims to present a protocol to form smooth and well-controlled films of silver/silver chloride (Ag/AgCl) with designated coverage on top of thin ...