Name: growth and electrostatic/chemical properties of metal/laalo3/srtio3 heterostructures
Uploaded: 2018-02-08T14:00:00
Description: Watch this Scientific Journal Video about Growth and Electrostatic/chemical Properties of Metal/LaAlO3/SrTiO3 Heterostructures at JoVE.com

이 작품 ERC 통합 부여 #615759 "민트"에서 지원, 지역 일 드 프랑스 "Oxymore" ("NEIMO" 프로젝트) DIM ANR 프로젝트 "NOMILOPS"를 받았다. H.N.는 EPSRC JSP 코어 대 코어 프로그램 JSP 특정에 대 한 과학적 연구 (B) (#15 H 03548)에 의해 부분적으로 지원 되었다. A.S.는 도이치 가운데 (호 53461-1; A.S. 박사 친목)에 의해 지원 되었다. D.C.V.는 그의 박사 논문의 융자에 대 한 CNRS 고 등 교육 및 연구의 프랑스 정부를 감사 합니다. 제 대학 파리-샤 클레 (달랑 베 르 프로그램) 및 CNRS CNRS/탈 레 스에서 그의 체재를 융자에 대 한 감사.

참고: 이 프로토콜에서 설명 하는 모든 5 단계 일시 중지 하 고 샘플 단계 3.4-5에서에서 높은 진공 아래 유지 됩니다 단일 조건으로 언제 든 지 다시 시작할 수 있습니다.
1. STO(001) 기판 종료:
<ol><li>물 (와 함께 40 kHz 변환기) 초음파 세탁 기술자를 60 ° c가 열 아세톤과 붕 규 산 유리 비 커를 채우십시오. 비이 커 크기에 관계 없이 그것을 채우기 위해 적어도 20%는 기...

<ol>
	<li>Ohtomo, A., Hwang, H. Y. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=A+high-mobility+electron+gas+at+the+LaAlO3/SrTiO3+heterointerface.">A high-mobility electron gas at the LaAlO3/SrTiO3 heterointerface.</a> Nature. 427, 423-426 (2004).</li><li>Stornaiuolo, D., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Tunable+spin+polarization+and+superconductivity+in+engineered+oxide+interfaces.">Tunable spin polarization and superconductivity in engineered oxide interfaces.</a> Nat. Mater. 15 (3), 278-283 (2015).</li><li>Chen, Y. Z., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Extreme+mobility+enhancement+of+two-dimensional+electron+gases+at+oxide+interfaces+by+charge-transfer-induced+modulation+doping.">Extreme mobility enhancement of two-dimensional electron gases at oxide interfaces by charge-transfer-induced modulation doping.</a> Nat. Mater. 14 (8), 801-806 (2015).</li><li>R&amp;ouml;del, T. C., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Universal+Fabrication+of+2D+Electron+Systems+in+Functional+Oxides.">Universal Fabrication of 2D Electron Systems in Functional Oxides.</a> Adv. Mater. 28 (10), 1976-1980 (2016).</li><li>Xie, Y., Hikita, Y., Bell, C., Hwang, H. Y. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Control+of+electronic+conduction+at+an+oxide+heterointerface+using+surface+polar+adsorbates.">Control of electronic conduction at an oxide heterointerface using surface polar adsorbates.</a> Nat. Commun. 2, 494 (2011).</li><li>Scheiderer, P., Pfaff, F., Gabel, J., Kamp, M., Sing, M., Claessen, R. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Surface-interface+coupling+in+an+oxide+heterostructure:+Impact+of+adsorbates+on+LaAlO3/SrTiO3.">Surface-interface coupling in an oxide heterostructure: Impact of adsorbates on LaAlO3/SrTiO3.</a> Phys. Rev. B. 92 (19), (2015).</li><li>Vaz, D. C., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Tuning+Up+or+Down+the+Critical+Thickness+in+LaAlO3/SrTiO3+through+In+Situ+Deposition+of+Metal+Overlayers.">Tuning Up or Down the Critical Thickness in LaAlO3/SrTiO3 through In Situ Deposition of Metal Overlayers.</a> Adv. Mater. 29 (28), 1700486 (2017).</li><li>Schlom, D. G. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Perspective:+Oxide+molecular-beam+epitaxy+rocks.">Perspective: Oxide molecular-beam epitaxy rocks.</a> APL Mater. 3 (6), 1-6 (2015).</li><li>Segal, Y., Ngai, J. H., Reiner, J. W., Walker, F. J., Ahn, C. H. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=X-ray+photoemission+studies+of+the+metal-insulator+transition+in+LaAlO3/SrTiO3+structures+grown+by+molecular+beam+epitaxy.">X-ray photoemission studies of the metal-insulator transition in LaAlO3/SrTiO3 structures grown by molecular beam epitaxy.</a> Phys. Rev. B. 80 (24), 241107 (2009).</li><li>Dildar, I. M., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Growing+LaAlO3/SrTiO3+interfaces+by+sputter+deposition.">Growing LaAlO3/SrTiO3 interfaces by sputter deposition.</a> AIP Adv. 5 (6), 67156 (2015).</li><li>Kawasaki, M., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Atomic+control+of+the+SrTiO3+crystal+surface.">Atomic control of the SrTiO3 crystal surface.</a> Science (80-). 266, 1540 (1994).</li><li>Zhang, J., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Depth-resolved+subsurface+defects+in+chemically+etched+SrTiO3.">Depth-resolved subsurface defects in chemically etched SrTiO3.</a> Appl. Phys. Lett. 94 (9), 1-4 (2009).</li><li>Connell, J. G., Isaac, B. J., Ekanayake, G. B., Strachan, D. R., Seo, S. S. A. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Preparation+of+atomically+flat+SrTiO3+surfaces+using+a+deionized-water+leaching+and+thermal+annealing+procedure.">Preparation of atomically flat SrTiO3 surfaces using a deionized-water leaching and thermal annealing procedure.</a> Appl. Phys. Lett. 101 (25), 98-101 (2012).</li><li>van der Heide, P. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=.">.</a> X-ray Photoelectron Spectroscopy: An introduction to Principles and Practices. 2011, (2011).</li><li>Wagner, C. D., Riggs, W. M., Davis, L. E., Moulder, J. F. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=.">.</a> Handbook of X-ray Photoelectron Spectroscopy. , (1979).</li><li>van der Pauw, L. J. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=A+method+of+measuring+the+resistivity+and+Hall+coefficient+on+lamellae+of+arbitrary+shape.">A method of measuring the resistivity and Hall coefficient on lamellae of arbitrary shape.</a> Philips Tech. Rev. 20, 220-224 (1958).</li><li>Brinks, P., Siemons, W., Kleibeuker, J. E., Koster, G., Rijnders, G., Huijben, M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Anisotropic+electrical+transport+properties+of+a+two-dimensional+electron+gas+at+SrTiO3-LaAlO3+interfaces.">Anisotropic electrical transport properties of a two-dimensional electron gas at SrTiO3-LaAlO3 interfaces.</a> Appl. Phys. Lett. 98 (24), 242904 (2011).</li><li>Lesne, E. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=.">.</a> Non-Equilibrium Spin Accumulation Phenomenon at the LaAlO3/SrTiO3(001) Quasi-Two-Dimensional Electron System. , (2015).</li><li>Sato, H. K., Bell, C., Hikita, Y., Hwang, H. Y. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Stoichiometry+control+of+the+electronic+properties+of+the+LaAlO3/SrTiO3+heterointerface.">Stoichiometry control of the electronic properties of the LaAlO3/SrTiO3 heterointerface.</a> Appl. Phys. Lett. 102 (25), 251602 (2013).</li><li>Warusawithana, M. P., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=LaAlO3+stoichiometry+is+key+to+electron+liquid+formation+at+LaAlO3/SrTiO3+interfaces.">LaAlO3 stoichiometry is key to electron liquid formation at LaAlO3/SrTiO3 interfaces.</a> Nat. Commun. 4, (2013).</li><li>Arras, R., Ruiz, V. G., Pickett, W. E., Pentcheva, R. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Tuning+the+two-dimensional+electron+gas+at+the+LaAlO3/SrTiO3(001)+interface+by+metallic+contacts.">Tuning the two-dimensional electron gas at the LaAlO3/SrTiO3(001) interface by metallic contacts.</a> Phys. Rev. B. 85 (12), (2012).</li><li>Fu, Q., Wagner, T. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Interaction+of+nanostructured+metal+overlayers+with+oxide+surfaces.">Interaction of nanostructured metal overlayers with oxide surfaces.</a> Surf. Sci. Rep. 62 (11), 431-498 (2007).</li><li>Chen, Y., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Metallic+and+Insulating+Interfaces+of+Amorphous+SrTiO3-based+Oxide+Heterostructures.">Metallic and Insulating Interfaces of Amorphous SrTiO3-based Oxide Heterostructures.</a> Nano Lett. 11 (9), 3774-3778 (2011).</li><li>Posadas, A. B., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Scavenging+of+oxygen+from+SrTiO3+during+oxide+thin+film+deposition+and+the+formation+of+interfacial+2DEGs.">Scavenging of oxygen from SrTiO3 during oxide thin film deposition and the formation of interfacial 2DEGs.</a> J. Appl. Phys. 121 (10), (2017).</li><li>Sing, M., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Profiling+the+interface+electron+gas+of+LaAlO3/SrTiO3+heterostructures+with+hard+x-ray+photoelectron+spectroscopy.">Profiling the interface electron gas of LaAlO3/SrTiO3 heterostructures with hard x-ray photoelectron spectroscopy.</a> Phys. Rev. Lett. 102 (17), (2009).</li><li>Hasegawa, S. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Reflection+High-Energy+Electron.">Reflection High-Energy Electron.</a> Charact. Mater. , 1925-1938 (2012).</li><li>Wrobel, F., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Comparative+study+of+LaNiO3/LaAlO3+heterostructures+grown+by+pulsed+laser+deposition+and+oxide+molecular+beam+epitaxy.">Comparative study of LaNiO3/LaAlO3 heterostructures grown by pulsed laser deposition and oxide molecular beam epitaxy.</a> Appl. Phys. Lett. 110 (4), 0 (2017).</li><li>Blank, D. H. A., Dekkers, M., Rijnders, G. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Pulsed+laser+deposition+in+Twente:+from+research+tool+towards+industrial+deposition.">Pulsed laser deposition in Twente: from research tool towards industrial deposition.</a> J. Phys. D. Appl. Phys. 47 (3), 34006 (2014).</li><li>Preziosi, D., Sander, A., Barth&#233;l&#233;my, A., Bibes, M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Reproducibility+and+off-stoichiometry+issues+in+nickelate+thin+films+grown+by+pulsed+laser+deposition.">Reproducibility and off-stoichiometry issues in nickelate thin films grown by pulsed laser deposition.</a> AIP Adv. 7 (1), (2017).</li><li>Hensling, F. V. E., Xu, C., Gunkel, F., Dittmann, R. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Unraveling+the+enhanced+Oxygen+Vacancy+Formation+in+Complex+Oxides+during+Annealing+and+Growth.">Unraveling the enhanced Oxygen Vacancy Formation in Complex Oxides during Annealing and Growth.</a> Sci. Rep. 7, 39953 (2017).</li><li>Xu, C., B&#228;umer, C., Heinen, R. A., Hoffmann-Eifert, S., Gunkel, F., Dittmann, R. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Disentanglement+of+growth+dynamic+and+thermodynamic+effects+in+LaAlO3/SrTiO3+heterostructures.">Disentanglement of growth dynamic and thermodynamic effects in LaAlO3/SrTiO3 heterostructures.</a> Sci. Rep. 6, 22410 (2016).</li><li>Breckenfeld, E., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Effect+of+growth+induced+(non)stoichiometry+on+interfacial+conductance+in+LaAlO3/SrTiO3.">Effect of growth induced (non)stoichiometry on interfacial conductance in LaAlO3/SrTiO3.</a> Phys. Rev. Lett. 110 (19), (2013).</li></ol>

기판 종료 동안 하나 HF 솔루션에서 submerging 시간으로 매우 조심 해야 한다. 우리는 다양 한 그냥 5 아래 그리고에 etched 표면 관찰 원래의 제조 법에 관한 s. 또한, 기판 스텝 크기와 잠수 시간 사이 의존을 관찰 합니다. 작은 단계 크기에 대 한 (100 미만 nm) 30 잠수 후 어 닐 링 절차 제대로 표면 재구성 하기에 충분 한 수 있습니다 비록 s-에칭 이어질 수도 있습니다. 기반으로 HF 산을 사용 하 여 위험 ?...

즉 2D 전자 시스템 (q2DES) 광범위 하 게 사용 되었습니다 놀이터로 다양 한 저 차원 연구 및 양자 현상. (라오스/STO)1, 새로운 계면 전자 단계를 호스트 하는 다른 시스템의 LaAlO3/SrTiO3 시스템에 정액 종이에서 출발 생성 되었습니다. 다른 재료를 결합 하 여 전기 분야 가변 스핀 분극2, 매우 높은 전자 mobilities3 또는 ferroelectricity 결합 현상4같은 추가 속성을 가진 q2DESs의 발견에 지도 했다. 작품의 엄청난 몸 푸는 생성 및 이러한 시스템의 조작에 전념 하고있다, 비록 여러 실험 및 기술 나타났습니다 모순 된 결과, 오히려 비슷한 조건에서 조차. 또한, 정전기와 화학 상호 작용 사이의 균형에서 물리학 게임5,,67제대로 알아야이 필수적인 것으로 발견 되었다.
이 문서에서는, 우리가 철저 하 게 설명 다른 금속/라오스/스토 heterostructures의 성장을 펄스 레이저 증 착 (PLD)의 조합을 사용 하 여 현장에서 마 그 네트 론 스퍼터 링 및. 그런 다음, 라오스/스토 인터페이스에 묻혀 q2DES에 다른 표면 상태의 영향을 이해 하는 전자 및 화학 연구 수행 됩니다, 전송 및 전자 분광학 실험을 사용 하 여.
여러 방법을 사용 되어 왔습니다 이전 STO에 결정 라오어 성장, 적절 한 증 착 기법에 대 한 선택 이므로 고품질 산화물 heterostructures의 제조에 중요 한 단계 (가능한 비용 및 시간 제한). PLD에서 강렬 하 고 짧은 레이저 펄스는 다음 연기나는 얇은 필름으로 기판에 입금 되 면 원하는 자료의 대상을 수 있습니다. 이 방법의 주요 장점 중 하나 영화, 원하는 단계 형성을 달성 하기 위해 핵심 요소를 대상의 산출할을 안정적으로 전송 하는 기능입니다. 또한, 챔버 내부에 동일한 시간 (에서 여러 대상의 가능성 복잡 한 산화물의 광대 한 수의 층에 의해 층 성장 (반영 고 에너지 전자 회절-RHEED를 사용 하 여 실시간으로에서 모니터링)를 수행 하는 능력 진공을 깨지 않고 다른 물질의 성장을 허용) 설정의 단순 확인이 기술을 가장 효과적이 고 다양 한 중 하나.
그러나, 분자 빔 피 (MBE) 같은 다른 기술을 더 높은 품질 코피 성장의 성장을 수 있습니다. 특정 자료의 목표는 대신, MBE에 각 특정 요소는 sublimed 기판, 어디 그들은 서로를 잘 정의 된 원자 층 형성 반응으로. 또한, 높게 정력적 인 종과 더 균일 한 에너지 분포의 부재는 매우 날카로운 인터페이스8의 제조 수 있습니다. 그러나이 기술은 PLD 때 보다 훨씬 더 복잡 한 산화물의 성장에 초고에서 수행 되어야 합니다 이후 진공 조건 (되도록 긴 무료 경로 파괴 되지 의미) 이며 큰 투자, 비용-일반적 요구와 가깝기. 첫 번째 라오스/스토 발행물에 사용 하는 성장 과정은 PLD, 유사한 특성을 가진 샘플 MBE9성장 되어 있다. 그것은 또한 라오스/스토 heterostructures 스퍼터 링10을 사용 하 여 재배 되어 있다 지적 가치가 있어요입니다. 원자적 날카로운 인터페이스는 높은 온도 (920 ° C) 및 높은 산소 압력 (0.8 mbar)에 달성 했다, 비록 계면 전도도 하지 달성 했다.
금속 레이어 상한의 성장에 대 한 사용 마 그 네트 론 스퍼터 링, 품질과 유연성 간의 좋은 균형을 제공 합니다. 그러나 다른 화학 증기 증 착 기반 기술을 수도 유사한 결과 달성 하는 데 사용.
마지막으로,이 문서에서 전송 및 분광학 기술 조합 crosschecking 완전히 이해에 다른 접근의 중요성을 강조, 전자 및 화학 상호 작용의 체계적인 방법을 보여준다합니다 이러한 종류의 시스템의 많은 기능이 있습니다.

<table border="0" cellpadding="0" cellspacing="0" style="width:1433px;" width="1433">
	<colgroup>
		<col />
		<col />
		<col />
		<col />
	</colgroup>
	<tbody>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:407px;">Pulsed Laser Deposition</td>
			<td style="width:200px;">SURFACE</td>
			<td style="width:305px;">PLD Workstation + UHV Cluster System</td>
			<td style="width:521px;"></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:407px;">KrF Excimer Laser</td>
			<td style="width:200px;">Coherent</td>
			<td style="width:305px;">Compex Pro 201F</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:407px;">Reflection High-Energy Electron Diffraction (electron gun)</td>
			<td style="width:200px;">R-Dec Co., Ltd.</td>
			<td style="width:305px;">RDA-003G</td>
			<td>Distributed in Europe by SURFACE.</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:407px;">Reflection High-Energy Electron Diffraction (CCD camera)</td>
			<td style="width:200px;">k-Space Associates, Inc.</td>
			<td style="width:305px;">kSA 400</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:407px;">Variable Laser Beam Attenuator</td>
			<td style="width:200px;">Metrolux</td>
			<td style="width:305px;">ML 2100</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:407px;">Excimer Laser Sensor</td>
			<td style="width:200px;">Coherent</td>
			<td style="width:305px;">J-50MUV-248</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="25">
			<td height="25" style="height:25px;width:407px;">LaAlO3 target</td>
			<td style="width:200px;">CrysTec</td>
			<td style="width:305px;"></td>
			<td>Single-crystal target</td>
		</tr>
		<tr height="25">
			<td height="25" style="height:25px;width:407px;">SrTiO3 subtrates</td>
			<td style="width:200px;">CrysTec</td>
			<td style="width:305px;"></td>
			<td>Several different sizes. Possibility to order TiO2 terminated.</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:407px;">Buffered HF Acid</td>
			<td style="width:200px;">Technic</td>
			<td style="width:305px;">BOE 7:1</td>
			<td>buffered hydrofluoric acid = BOE 7:1 (HF : NH4F = 12.5 : 87.5%) in&#160;VLSI-quality.</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:407px;">Silver Paste</td>
			<td style="width:200px;">DuPont</td>
			<td style="width:305px;">4929N</td>
			<td>Conductive Silver Composite.</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:407px;">Ultrasonic Cleaner</td>
			<td style="width:200px;">Bransonic</td>
			<td style="width:305px;">12</td>
			<td>Ultrasonic Cleaning Bath</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:407px;">Tube Furnace</td>
			<td style="width:200px;">AET Technologies</td>
			<td style="width:305px;">Heat Treatment Furnace</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:407px;">Borosilicate Glass Beaker</td>
			<td style="width:200px;">VWR</td>
			<td>213-1128</td>
			<td>Iow form</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:407px;">PTFE Beaker</td>
			<td style="width:200px;">Dynalon</td>
			<td style="width:305px;">PTFE Beaker</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:407px;">Substrate holder &#34;dipper&#34;</td>
			<td style="width:200px;">Eberl&#233;</td>
			<td style="width:305px;"></td>
			<td>Custom made dipper</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:407px;">Magnetron Sputtering</td>
			<td style="width:200px;">PLASSYS</td>
			<td style="width:305px;">Sputtering system</td>
			<td>5 chambers for targets.</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:407px;">Metal targets</td>
			<td style="width:200px;">Neyco S.A.</td>
			<td style="width:305px;"></td>
			<td>Purity &#62; 99.9%</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:407px;">X-Ray Photoelectron Spectroscopy System</td>
			<td style="width:200px;">Omicron</td>
			<td style="width:305px;">Custom XPS System</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:407px;">X-Ray Source</td>
			<td style="width:200px;">Omicron</td>
			<td style="width:305px;">DAR 400</td>
			<td>Twin Anode X-Ray Source.</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:407px;">Energy Analyser</td>
			<td style="width:200px;">Omicron</td>
			<td style="width:305px;">EA 125</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:407px;">Atomic Force Microscopy</td>
			<td style="width:200px;">Bruker</td>
			<td style="width:305px;">Innova AFM</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:407px;">Atomic Force Microscopy Probes</td>
			<td style="width:200px;">Olympus</td>
			<td style="width:305px;">OMCL-AC160TS-R3</td>
			<td>Micro Cantilevers</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:407px;">Wire bonding</td>
			<td style="width:200px;">Kulicke &#38; Soffa</td>
			<td style="width:305px;">4523AD</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:407px;">PPMS</td>
			<td style="width:200px;">Quantum Design</td>
			<td style="width:305px;">PPMS Dynacool</td>
			<td>9T magnet.</td>
		</tr>
	</tbody>
</table>

growth and electrostatic/chemical properties of metal/laalo3/srtio3 heterostructures

즉 2D 전자 시스템 (q2DES) LaAlO3 (라오스)와 SrTiO3 (STO) 사이의 인터페이스에서 형성 하는 산화물 전자 커뮤니티에서 많은 관심을 끌고있다. 그것의 전형적인 특징 중 하나 등장 하 계면 전도도 대 한 4 단위-세포 (uc)의 중요 한 라오스 두께의 실존 이다. 이 중요 한 두께의 존재를 설명 하기 위해 과거에 정전기 메커니즘 제안 되었습니다, 비록 화학 결함의 중요성 최근 두 드러 것. 여기, 우리는 초고 진공 (UHV) 클러스터 시스템에 펄스 레이저 증 착 (하는 라오스 성장), 마 그 네트 론 (성장 금속)를 스퍼터 링 및 엑스레이 광전자 분광학 (XPS) 결합 금속/라오스/스토 heterostructures의 성장을 설명 합니다. 우리는 q2DES와 화학 사이의 상호 작용에 발생 하는 금속 및 라오스/STO의 진화와 형성 단계적으로 공부. 또한, magnetotransport 실험 전송에는 q2DES의 전자 속성을 명료 하 게. 이 체계적인 작업 뿐만 아니라 정전기와 화학는 q2DES와 그것의 환경 사이 상호 작용을 공부 하는 방법을 보여 줍니다 하지만 또한 2 차원에서 풍부한 물리학 몇 다기능 상한 레이어에 가능성을 잠금 해제 전자 시스템, 새로운 유형의 장치 제조를 허용.

전체 실험 시스템 성장 및 특성에 사용 되는 그림 2에 표시 됩니다. UHV에서 배포 챔버를 통해 연결 된 다른 설정 하는 데 좋습니다 되도록 샘플의 표면 후 각 성장 과정 깨끗 한 유지 됩니다. PLD 챔버 (그림 3), 마 그 네트 론 스퍼터 링 (그림 7) 및 XPS 챔버 (그림 8)도 자세히 설명 합니다....

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Growth and Electrostatic/chemical Properties of Metal/LaAlO3/SrTiO3 Heterostructures

우리는 금속/LaAlO3/SrTiO3 heterostructures 펄스 레이저 증 착 및 현장에서 마 그 네트 론 스퍼터 링의 조합을 사용 하 여 조작. Magnetotransport와 제자리에서 엑스레이 광전자 분광학 실험을 통해 우리는이 시스템에 준 2 차원 전자 가스의 정전기와 화학 현상 사이 상호 작용 조사.

성장 및 정전기/화학 속성의 금속/LaAlO3/SrTiO3 Heterostructures

The quasi 2D electron system (q2DES) that forms at the interface between LaAlO3 (LAO) and SrTiO3 (STO) has attracted much attention from the oxide ...

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