Le besoin croissant pour les appareils portables avec le volume des échantillons extrêmement petits, a poussé la miniaturisation des dispositifs appelés BioMEMS. BioMEMS sont produits par l’intermédiaire de microfabrication. Un processus de fabrication de structures d’échelle microscopique à l’aide de la technologie des semi-conducteurs. Une technique de microfabrication appelée photolithographie, est souvent utilisé pour des motifs complexes motif sur un substrat à l’aide de la lumi?...