JoVE Logo
Faculty Resource Center

Sign In

0:07

Overview

0:47

Principles of Photolithography

2:49

Photolithography with Positive Resist

4:11

Pattern Etching and Cleaning

5:16

Applications

7:19

Summary

Mikrofabrikation mittels Photolithographie

Die Herstellung von BioMEMs Geräten geschieht oft mit einer Microfabrication Technik namens Photolithographie. Diese weit verbreitete Methode nutzt Licht, um ein Muster auf einem Silizium-Wafer übertragen und bildet die Grundlage für die Herstellung von vielen Gerätetypen BioMEMs.

Dieses Video präsentiert die Photolithographie-Technik, zeigt, wie der Prozess im Reinraum durchgeführt wird, und einige Anwendungen des Prozesses führt.

Der gestiegenen Bedarf an tragbaren Geräten mit extrem kleinen Probenvolumina, trieb die Miniaturisierung der Geräte genannt BioMEMS. BioMEMS werden über Mikro-Fertigung produziert. Ein Prozess der Herstellung von Mikro-Strukturen mit Halbleiter-Technologie. Eine Mikro-Fertigung-Technik namens Photolithographie, wird oft verwendet, um Muster komplexe Muster auf einem Substrat mit Licht. Dieses Video wird einzuführen, den Prozess der Photolithographie, zeigen die Technik im Labor und geben einen Ein...

Log in or to access full content. Learn more about your institution’s access to JoVE content here

Explore More Videos

Leerer Wert
JoVE Logo

Privacy

Terms of Use

Policies

Research

Education

ABOUT JoVE

Copyright © 2024 MyJoVE Corporation. All rights reserved