מיקרו-פיבריות באמצעות פוטוליתוגרפיה

Overview

הייצור של מכשירי BioMEM נעשה לעתים קרובות באמצעות טכניקת מיקרו-פיבריות הנקראת פוטוליתוגרפיה. שיטה נפוצה זו משתמשת באור כדי להעביר תבנית על רקיק סיליקון, ומספקת את הבסיס לייצור סוגים רבים של התקני BioMEM.

סרטון זה מציג את טכניקת הצילום, מראה כיצד מתבצע התהליך בחדר הנקי ומציג כמה יישומים של התהליך.

Procedure

הצורך המוגבר במכשירים ניידים עם נפחי דגימה קטנים במיוחד, הניע את מזעור המכשירים הנקראים BioMEMs. BioMEMs מיוצרים באמצעות מיקרו-פייבר. תהליך של ייצור מבנים מיקרו-קנה מידה באמצעות טכנולוגיית מוליכים למחצה. טכניקת מיקרו-פיכחון הנקראת פוטוליתוגרפיה, משמשת לעתים קרובות ליצירת דפוסים מורכ...