포토리소그래피를 이용한 미세제조

Overview

BioMEM 장치의 제조는 종종 포토리소그래피라는 미세 제조 기술을 사용하여 수행됩니다. 이 널리 사용되는 방법은 빛을 사용하여 패턴을 실리콘 웨이퍼로 전송하고, 많은 유형의 BioMEM 장치의 제조에 대한 기초를 제공한다.

이 비디오는 포토리소그래피 기술을 제시하고, 클린룸에서 프로세스가 수행되는 방식을 보여주며, 프로세스의 일부 응용 프로그램을 소개합니다.

Procedure

매우 작은 샘플 볼륨을 가진 휴대용 장치에 대한 필요성이 증가함에 따라 BioMEM이라는 장치의 소형화가 주도되었습니다. 바이오메미스는 미세 제조를 통해 생산됩니다. 반도체 기술을 사용하여 마이크로 스케일 구조를 제작하는 프로세스입니다. 포토리소그래피라고 불리는 미세 제조 기술은 종종 빛을 사용하여 기판에 복잡한 패턴을 패턴화하는 데 사용됩니다. 이 비디오는 포토?...