Microfabricação via Fotolitografia

Overview

A fabricação de dispositivos BioMEM é frequentemente feita usando uma técnica de microfabização chamada fotolitografia. Este método amplamente utilizado utiliza a luz para transferir um padrão para um wafer de silício, e fornece a base para a fabricação de muitos tipos de dispositivos BioMEM.

Este vídeo apresenta a técnica de fotolitografia, mostra como o processo é realizado na sala de limpeza e introduz algumas aplicações do processo.

Procedure

A necessidade aumentada de dispositivos portáteis com volumes de amostra extremamente pequenos, impulsionou a miniaturização de dispositivos chamados BioMEMs. BioMEMs são produzidos por microfabricação. Um processo de fabricação de estruturas de microescala usando tecnologia de semicondutores. Uma técnica de microfabricação chamada fotolithografia, é frequentemente usada para padronizar padrões complexos em um substrato usando luz. Este vídeo introduzirá o processo de fotolitografia, de...