JoVE Logo

Sign In

Microfabricación mediante Fotolitografía

Overview

La fabricación de dispositivos BioMEMs se realiza usando una técnica de microfabricación llamada Fotolitografía. Este método ampliamente utilizado utiliza la luz para transferir un patrón sobre una oblea de silicio y proporciona la base para la fabricación de muchos tipos de dispositivos BioMEMs.

Este video presenta la técnica de fotolitografía, muestra cómo el proceso se realiza en la sala limpia y presenta algunas aplicaciones del proceso.

Procedure

La necesidad creciente de dispositivos portátiles con volúmenes de muestra muy pequeña, ha llevado a la miniaturización de los dispositivos llamados BioMEMS. BioMEMS se producen a través de microfabricación. Un proceso de fabricación de estructuras de microempresas con tecnología de semiconductores. Una técnica de microfabricación llamada Fotolitografía, se utiliza a menudo a patrones complejos de patrón sobre un sustrato utilizando luz. Este video introducir el proceso de fotolitografía, ...

Log in or to access full content. Learn more about your institution’s access to JoVE content here

Tags
Valor vac otema

Skip to...

0:07

Overview

0:47

Principles of Photolithography

2:49

Photolithography with Positive Resist

4:11

Pattern Etching and Cleaning

5:16

Applications

7:19

Summary

JoVE Logo

Privacy

Terms of Use

Policies

Research

Education

ABOUT JoVE

Copyright © 2024 MyJoVE Corporation. All rights reserved