Name: characterization of sin integrated optical phased arrays on a wafer-scale test station
Uploaded: 2020-04-01T13:00:00
Duration: 5 min 57 s
Description: Watch this Scientific Journal Video about Characterization of SiN Integrated Optical Phased Arrays on a Wafer-Scale Test Station at JoVE.com

Эта работа финансировалась французским направлением «Генерале де Энтреприс» (DGE) в рамках проекта DEMO3S.

<ol>
	<li>Heck, M. J. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Highly+integrated+optical+phased+arrays:+Photonic+integrated+circuits+for+optical+beam+shaping+and+beam+steering.">Highly integrated optical phased arrays: Photonic integrated circuits for optical beam shaping and beam steering.</a> Nanophotonics. 6 (1), 93-107 (2017).</li><li>Vasey, F., Reinhart, F. K., Houdr&#233;, R., Stauffer, J. M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Spatial+optical+beam+steering+with+an+AlGaAs+integrated+phased+array.">Spatial optical beam steering with an AlGaAs integrated phased array.</a> Applied Optics. 32 (18), 3220-3232 (1993).</li><li>Van Acoleyen, K., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Off-chip+beam+steering+with+a+one-dimensional+optical+phased+array+on+silicon-on-insulator.">Off-chip beam steering with a one-dimensional optical phased array on silicon-on-insulator.</a> Optics Letters. 34 (9), 1477-1479 (2009).</li><li>Guo, W., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Two+dimensional+optical+beam+steering+with+InP-based+photonic+integrated+circuits.">Two dimensional optical beam steering with InP-based photonic integrated circuits.</a> IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics. 19 (4), 6100212 (2013).</li><li>Jalali, B., Fathpour, S. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Silicon+photonics.">Silicon photonics.</a> Journal of Lightwave Technology. 24 (12), 4600-4615 (2006).</li><li>Hulme, J. C. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Fully+integrated+hybrid+silicon+two+dimensional+beam+scanner.">Fully integrated hybrid silicon two dimensional beam scanner.</a> Optics Express. 23 (5), 5861-5874 (2015).</li><li>Chung, S., Abediasl, H., Hashemi, H. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=A+monolithically+integrated+large-scale+optical+phased+array+in+silicon-on-insulator+CMOS.">A monolithically integrated large-scale optical phased array in silicon-on-insulator CMOS.</a> IEEE Journal of Solid-State Circuits. 53 (1), 275-296 (2018).</li><li>Poulton, C. V., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Large-scale+silicon+nitride+nanophotonic+phased+arrays+at+infrared+and+visible+wavelengths.">Large-scale silicon nitride nanophotonic phased arrays at infrared and visible wavelengths.</a> Optics Letters. 42 (1), 21-24 (2017).</li><li>Poulton, C. V., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Coherent+solid-state+LIDAR+with+silicon+photonic+optical+phased+arrays.">Coherent solid-state LIDAR with silicon photonic optical phased arrays.</a> Optics Letters. 42 (20), 4091-4094 (2017).</li><li>Martin, A., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Photonic+integrated+circuit+based+FMCW+coherent+LiDAR.">Photonic integrated circuit based FMCW coherent LiDAR.</a> Journal of Lightwave Technology. 36 (19), 4640-4645 (2018).</li><li>Subramanian, A. Z., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Low-Loss+Single+mode+PECVD+Silicon+Nitride+Photonic+Wire+Waveguides+for+532-900+nm+Wavelength+Window+Fabricated+Within+a+CMOS+Pilot+Line.">Low-Loss Single mode PECVD Silicon Nitride Photonic Wire Waveguides for 532-900 nm Wavelength Window Fabricated Within a CMOS Pilot Line.</a> IEEE Photonics Journal. 5 (6), 2202809 (2013).</li><li>Baets, R., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Silicon+Photonics:+silicon+nitride+versus+silicon-on-insulator.">Silicon Photonics: silicon nitride versus silicon-on-insulator.</a> Optical Fiber Communication Conference, OSA Technical Digest (online) (Optical Society of America). , (2016).</li><li>Sabouri, S., Jamshidi, K. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Design+Considerations+of+Silicon+Nitride+Optical+Phased+Array+for+Visible+Light+Communications.">Design Considerations of Silicon Nitride Optical Phased Array for Visible Light Communications.</a> IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics. 24 (6), (2018).</li><li>Zadka, M., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=On-chip+platform+for+a+phased+array+with+minimal+beam+divergence+and+wide+field-of-view.">On-chip platform for a phased array with minimal beam divergence and wide field-of-view.</a> Optics Express. 26 (3), 2528-2534 (2018).</li><li>Tyler, N. A., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=SiN+Integrated+Photonics+for+near-infrared+LIDAR.">SiN Integrated Photonics for near-infrared LIDAR.</a> 2018 IEEE CPMT Symposium Japan (ICSJ). , 63-66 (2018).</li><li>Tyler, N. A., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=SiN+integrated+optical+phased+arrays+for+2-dimensional+beam+steering+at+a+single+near-infrared+wavelength.">SiN integrated optical phased arrays for 2-dimensional beam steering at a single near-infrared wavelength.</a> Optics Express. 27 (4), 5851-5858 (2019).</li></ol>

Авторам нечего раскрывать.

Мы представили метод для характеристики интегрированной ОПА. Основным преимуществом метода является возможность легко зондировать несколько умирает через вафельу, искать вариации изготовления и идентифицировать высокопроизводительные устройства. Это можно увидеть на рисунке 8B. Из вафельного сканирования становится ясно, что нижняя половина экспонатов устройств с нижней пучка расхождений. Это может быть объяснено более высоким качеством волноводов в этой области, что уменьшает случайные фазовые сдвиги и, следовательно, расхождение пучка.
Использование большой площади CCD датчик для изображения дальнего выхода поля является удобным методом для изображения свободного пространства выход интегрированных схем, так как он может быть легко добавлен в большинстве характеристик настройки из-за их компактный размер по сравнению с часто используемых, громоздких, Фурье-изображения систем6.
Для того, чтобы гарантировать высокую точность измерения угла луча и измерения расхождения, особую осторожность необходимо проявлять во время камеры - выравнивание OPA. Кроме того, ответ ОПА чувствителен к фазовой и поляризации неустойчивости во время калибровки. Поэтому необходимо контролировать все источники возмущения: движение/вибрацию внучённого волокна, температуру лазера, поляризацию входящих ламп и т.д.
Таким образом, был представлен метод характеристики интегрированных ОПО. Подробная информация о том, как соединить свет, как контролировать фазовые сменщики в цепи и как изображение вывода в ближнем и дальнем поле были даны. Были показаны типичные изображения выходных лучей нескольких схем OPA, включая результаты рулевого управления пучка в двух измерениях на одной длине волны в ближнем инфракрасном диапазоне. Кроме того, мы показываем результаты измерения нескольких устройств с той же конструкцией через пластину с точки зрения расхождения пучка. Была обнаружена тенденция к производительности в отношении положения на вафельном представлении, определяющих области с высококачественными свойствами изготовления.

Оптические фазированные массивы (OPA) выгодны благодаря своей способности формировать и управлять оптическими лучами немеханически - это полезно в широком диапазоне технологических применений, таких как обнаружение света и диапазон (LIDAR), свободная космическая связь и голографические дисплеи1. Интеграция OPA в фотонные схемы представляет особый интерес, поскольку она обеспечивает низкозатратное решение для их изготовления с небольшим физическим следом. Интегрированные OPA были успешно продемонстрированы с использованием ряда различных материальных систем, включая InP, AlGaAs и кремния2,3,4. Из этих систем кремниевая фотоника, пожалуй, наиболее удобна, благодаря высокой рефракционной контрастности и совместимости с CMOS5. Действительно, схемы OPA были широко продемонстрированы в кремниевой платформе6,,7,788,9,,10; однако применение этих схем ограничено как окном прозрачности длины волны кремния, так и высокими нелинейными потерями, которые приводят к ограничению имеющейся выходной оптической мощности. Вместо этого мы сосредоточиваемся на OPAs, интегрированном в SiN, материале с аналогичными свойствами кремния с точки зрения возможностей CMOS и размера следа11,12. В отличие от кремния однако, SiN, как ожидается, будет подходит для более широкого спектра приложений, так как окно прозрачности шире, до по крайней мере 500 нм, и благодаря возможно высокой оптической мощности благодаря относительно низким нелинейным потерям.
Принципы интеграции OPA недавно были продемонстрирована с помощью SiN88,13,,14. Здесь мы расширим эти принципы, чтобы продемонстрировать метод характеристики и эксплуатации интегрированных ОПД для двухмерного рулевого управления пучка. По сравнению с предыдущими демонстрациями луча рулевого управления в двух измерениях, которые полагаются на настройку длины волны6,наша схема может работать на одной длине волны. Сначала мы предоставляем краткий обзор принципов работы, лежащих в основе ОПД. За этим следует введение в схемы, используемые в этой работе. Наконец, описан метод характеристики и представлены и обсуждены типичные изображения выходных лучей OPA.
OPA состоят из массива тесно расположенных излучателей, которые могут быть адресованы индивидуально для управления оптической фазой. Если линейная фаза взаимосвязана между массивом эмиттера, структура интерференции в дальнем поле дает несколько четко разделенных максима - по аналогии с принципами многоразового вмешательства. Контролируя величину фазовой разницы, положение максимы может быть скорректировано, а значит, и рулевое управление лучом выполнено. В интегрированных OPA, излучатели состоят из тесно расположенных дифракционных решеток, где свет рассеян и излучается из плоскости чипа. Схематическая иллюстрация интегрированного устройства OPA показана на рисунке 1A,B. Свет в сочетании с чипом, в данном случае через оптическое волокно, а затем делится на несколько каналов, каждый из которых содержит интегрированный фазовый сменщик. На другом конце оптической цепи волноводы заканчиваются в решетках и объединяются в OPA. Полученный выходной луч состоит из нескольких интерференций максимы, самая яркая из которых называется основной долей и является наиболее часто используемой в приложениях рулевого управления пучка. Направление выбросов основной доли определяется двумя azimuthal углы ортогональной проекции чип плоскости, q и q, перпендикулярно и параллельно ориентации решетки соответственно. В этом документе, й и К, будут называться "перпендикулярными" и "параллельными" углами выбросов, соответственно. Перпендикулярный угол, определяемый фазовой разницей между каналами OPA, а параллельный угол - зависит от периода выходных решеток.
Наши интегранные схемы изготовлены с использованием Si3N4 волнорезов с поперечным сечением 600 х 300 нм2, дизайн, который был оптимизирован для фундаментального поперечного электрического режима поляризации света на длине волны 905 нм. Под волноводами лежит 2,5 мкм SiO2 буферный слой поверх кремниевой пластины. Термальные фазы переключения были сделаны из 10 (100) нм толщиной Ti (TiN) слой, используемый для формирования 500 мкм в длину и 2 мкм широкий резистивные провода. В наших схемах электрическая мощность 90 мВт необходима для достижения фазового сдвига кв. Выпускные решетки OPA состоят из 750 полностью вытравленных периодов с номинальным коэффициентом заполнения 0,5 и периодом решетки между 670 нм и 700 нм. Более подробная информация о дизайне платформы и изготовлении приведена в Тайлер и др.15,16.
В этой работе, два различных типа схем характеризуются, пассивная схема без возможностей фазового смещения, и более сложная схема, предназначенная для выполнения луча рулевого управления в двух измерениях. Двухмерная схема рулевого управления пучка показана на рисунке 2. Рисунок 2А содержит схему цепи, а на рисунке 2B показан амбиец с изображением сфабрикованных устройств. Свет входит в контур на вхоложской решетке. Затем он достигает коммутационной сети, где его можно избирательно направить к одной из четырех подзаголовок. Каждая подзамы разделяет свет на четыре канала с помощью многорежимных интерференционных устройств (MMI). Каналы содержат термальный сменщик фазы и образуют OPA в конце цепи. Четыре OPA, происходящие из четырех подсхем, каждая из которых состоит из разного периода решетки между 670 нм и 700 нм. Эти периоды соответствуют азимуталу, параллельным оси решетки, между 7 и 10 градусами. Более подробное описание схемы можно найти в Тайлер и др.16.
Представленная настройка характеристик основана на автоматизированной зондирующим станциях, способной выполнять ряд измерений на многих схемах по всей вафле. Это позволяет изучить изменение производительности относительно положения на вафельке и выбрать устройства с оптимальными свойствами. Однако использование пробер-станции предполагает некоторые физические ограничения в схеме характеристик ОПА из-за относительно небольшого имеющегося пространства над вафельной. Характеристика оптических фазированных массивов требует визуализации вывода OPA в дальней области, которая может быть выполнена несколькими способами. Например, серия линз может быть использована в системе визуализации Фурье6 или изображение дальнего поля, образованное на поверхности Ламбертиана, может быть просмотрено в отражении или передаче. Для нашей системы мы выбрали то, что мы считали самым простым и компактным решением размещения большой поверхности 35 мм х 28 мм датчика CMOS без линз, расположенных примерно на 50 мм над поверхностью вафель. Несмотря на возросшую стоимость такого большого датчика CCD, это решение позволяет достаточное поле зрения без использования линз.

<table border="1" fo:keep-together.within-page="1" fo:keep-with-next.within-page="always">
	<tbody>
		<tr>
			<td>25 ch electrical Probe</td>
			<td>Cascade Microtech</td>
			<td>InfinityQuad 25ch</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>35 mm CCD sensor</td>
			<td>Allied Vision</td>
			<td>Prosilica GT 6600</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Arduino uno</td>
			<td>Arduino</td>
			<td>A100066</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>laser</td>
			<td>Qphotonics</td>
			<td>QFLD-905-10S</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>optical fibre</td>
			<td>Corning</td>
			<td>HI780</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>polarization controller</td>
			<td>ThorLabs</td>
			<td>FPC023</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>prober station</td>
			<td>Cascade Microtech</td>
			<td>Elite 300</td>
			<td></td>
		</tr>
	</tbody>
</table>

characterization of sin integrated optical phased arrays on a wafer-scale test station

Оптические фазированные массивы (OPA) могут производить лазерные лучи с низким уровнем расхождения и могут использоваться для управления углом выбросов в электронном виде без необходимости перемещения механических деталей. Эта технология особенно полезна для применения рулевого управления пучка. Здесь мы сосредоточиваемся на OPA, интегрированных в фотонные схемы SiN для длины волны в ближнем инфракрасном диапазоне. Представлен метод характеристики таких схем, который позволяет формировать и управлять выходным лучом интегрированных ОПС. Кроме того, используя настройку характеристик масштаба вафель, несколько устройств могут быть легко протестированы на нескольких умирает на. Таким образом, можно изучить вариации изготовления и определить высокопроизводительные устройства. Типичные изображения лучей OPA показаны, в том числе пучки, излучаемые из OPA с и без равномерной длины волнопередачи, и с различным количеством каналов. Кроме того, представлена эволюция выходных лучей в процессе фазовой оптимизации и рулевого управления пучка в двух измерениях. Наконец, проводится исследование вариации расхождения в лучах идентичных устройств в отношении их положения на вафельном.

Watch this Scientific Journal Video about Characterization of SiN Integrated Optical Phased Arrays on a Wafer-Scale Test Station at JoVE.com

Characterization of SiN Integrated Optical Phased Arrays on a Wafer-Scale Test Station

Здесь мы описываем работу интегрированной фотонической цепи SiN, содержащей оптические фазированные массивы. Схемы используются для излучать лазерные лучи с низкой дивергенцией в ближнем инфракрасном диапазоне и направлять их в двух измерениях.

Характеристика интегрированных оптических фазированных массивов SiN на испытательной станции Вафель-Шкала

Optical phased arrays (OPAs) can produce low-divergence laser beams and can be used to control the emission angle electronically without the need for ...

Для разработки фотональных интегральных схем, построенных на кремнии, нам нужен метод характеристики, который быстро, автоматизирован и в вафельном масштабе. Наш протокол позволяет нам оценить наши цепи рулевого управления лучом на пластине с помощью слегка модифицированной станции зонда, которая является стандартной частью оборудования в микроэлектроники промышленности. Демонстрируя процедуру, у нас есть Сильвен Гербер, пост-док исследователь из нашей лаборатории.Для начала загрузите пластину на станцию зонда. Чтобы выровнять волокна, используйте световой микроскоп, чтобы тщательно снизить волокна, пока он не коснется поверхности пластины, вдали от ввода решетки парпер, прежде чем двигаться волокна около 20 микрометров. Чтобы максимизировать интенсивность света на выходных решетках, начните подметать положение волокна над оптическим фазируемым массивом входной решетки.Свет, выходящий на оптические фазеные решетки выходного массива, должен быть виден на изображении. Когда свет наблюдается от оптических фазовых антенн массива, настроить поляризацию, чтобы максимизировать интенсивность света на выходе решетки, заботясь, чтобы избежать каких-либо движений или вибрации входного волокна. Для вывода изображения OPA переключитесь на датчик изображения дальнего поля и тщательно отрегулируйте как время экспозиции датчика, так и мощность лазера таким образом, чтобы выход OPA был хорошо виден на камере, но луч не насыщает датчик.При необходимости накройте установку так, чтобы фоновый свет не мешал изображению из оптического фазового луча массива. Чтобы заблокировать отражения, поместите высоко отражающий лист между отражением и камерой. OPA по определению чрезвычайно чувствительна к фазовой вариации.Таким образом, все источники шумов должны быть подавлены, в том числе вибрации входного волокна, поляризация нестабильности, и паразитический свет. Для выполнения рулевого управления лучом в двух направлениях, сначала подключите электрическую цепь для фазового управления к многоканальный электрический зонд и использовать микроскоп для подключения булавки электрического зонда к металлическим контактным колодки оптической цепи. Затем переключитесь на датчик дальнего поля для изображения вывода.Чтобы выбрать параллельный угол излучения, используя коммутающая сеть, наблюдайте за изображением дальнего поля вывода, изменяя напряжение, применяемое к фазовым переключателям на кольцевых ресонаторах. При правильном напряжении, применяемом к каждому ресонатору, будет освещена другая область датчика, соответствующая определенному значению темы. Чтобы выбрать ортогональный угол излучения phi путем оптимизации оптических фазных фаз массива, выберите небольшую пиксельную область, соответствующую желаемому углу фи, которая должна быть освещена сфокусированным выходным лучом, и сдвинуть фазу одного из оптических фазируемых каналов массива небольшими шагами.После каждой смены замыкайте интеграл яркости в пиксельной области внутри и за пределами выбранной области и вычисляйте соотношение внутреннего света, разделенного внешним светом. После полного цикла сдвига фазы между нулем и двумя пи, применить сдвиг фазы с самым высоким зарегистрированным соотношением яркости. Затем переключитесь на следующий канал и повторите предыдущие шаги до тех пор, пока процесс оптимизации не будет насыщен и не будет виден сфокусированный выходной луч.Чтобы направить выходный луч под другим углом фи, выберите новую область пикселей и повторите процесс оптимизации. После того, как оптимизация была выполнена для нескольких выходных углов фи, луч может управляться. Чтобы изображение дивергенции луча, оптимизировать положение входного волокна и записать изображение выхода OPA в дальнем поле.Убедитесь, что по крайней мере два четких максимы помех видны и использовать систему выравнивания для перемещения пластины, чтобы выровнять следующее устройство к входной волокна. Используя высокоточные позиционеры, свет от волокна способен эффективно сочетаться со интегрированной оптической цепью для получения высокоинтенсивного выходного луча. Использование многоканального зонда позволяет осуществлять все электрические соединения одновременно.Используя алгоритм оптимизации, приятно формы пучка могут быть получены на фи доступа. Использование выключателя на кольцевой основе позволяет правильно ответь угол выбросов и направление тьи. После калибровки OPA луч может произвольно управляться как в размерах, так и в диапазоне рулевого управления и дивергенции пучка, основные фигуры заслуг в OPA, могут быть точно охарактеризованы.Важно, насколько это возможно, устранить любые электронные, механические или оптические нестабильности во время процедуры калибровки. После того, как удовлетворительные схемы были определены и откалиброваны, мы можем интегрировать их с другими частями системы LIDAR, чтобы выполнить некоторые элементарные специальные изображения.

Research

JoVE Journal

Engineering

Optical Trapping of Nanoparticles

Оптический захват наночастиц

Optical trapping is a technique for immobilizing and manipulating small objects in a gentle way using light, and it has been widely applied in trapping ...

Fabrication and Characterization of Disordered Polymer Optical Fibers for Transverse Anderson Localization of Light

Изготовление и характеристика неупорядоченных полимерных оптических волокон для поперечной Андерсон локализация света

We develop and characterize a disordered polymer optical fiber that uses transverse Anderson localization as a novel waveguiding mechanism. The developed ...

Patterning via Optical Saturable Transitions - Fabrication and Characterization

Создание массивов с помощью оптических насыщающихся переходов - Изготовление и характеристика

This protocol describes the fabrication and characterization of nanostructures using a novel nanolithographic technique called Patterning via Optical ...

Fabrication and Operation of a Nano-Optical Conveyor Belt

Изготовление и эксплуатация нанооптических конвейерной

The technique of using focused laser beams to trap and exert forces on small particles has enabled many pivotal discoveries in the nanoscale biological ...

Experiments on Ultrasonic Lubrication Using a Piezoelectrically-assisted Tribometer and Optical Profilometer

Эксперименты по ультразвуковой смазки Использование пьезоэлектрически содействии Tribometer и оптических профилометром

Friction and wear are detrimental to engineered systems. Ultrasonic lubrication is achieved when the interface between two sliding surfaces is vibrated at ...

Compact Lens-less Digital Holographic Microscope for MEMS Inspection and Characterization

Компактный объектив менее цифровой голографический микроскоп для MEMS осмотра и определения характеристик

A micro-electro-mechanical-system (MEMS) is a widely used component in many industries, including energy, biotechnology, medical, communications, and ...

Using Synchrotron Radiation Microtomography to Investigate Multi-scale Three-dimensional Microelectronic Packages

С использованием синхротронного излучения микротомография Расследования многомасштабном Трехмерные Микроэлектронные пакеты

Synchrotron radiation micro-tomography (SR&#181;T) is a non-destructive three-dimensional (3D) imaging technique that offers high flux for fast data ...

Protocol of Electrochemical Test and Characterization of Aprotic Li-O2 Battery

Protocol of Electrochemical Test and Characterization of Aprotic Li-O2 Battery

Протокол испытаний Электрохимический и характеристика апротонных Li-O<sub&gt; 2</sub&gt; Аккумулятор

We demonstrate a method for electrochemical testing of an aprotic Li-O2 battery. An aprotic Li-O2 battery is made of a Li-metal anode, an aprotic ...

Fabrication of Polymer Microspheres for Optical Resonator and Laser Applications

Изготовление полимерных микросфер для оптического резонатора и лазерных приложений

This paper describes three methods of preparing fluorescent microspheres comprising &#960;-conjugated or non-conjugated polymers: vapor diffusion, ...

Demonstration of a Hyperlens-integrated Microscope and Super-resolution Imaging

Демонстрация Hyperlens интегрированы микроскопа и супер-резолюции изображений

The use of super-resolution imaging to overcome the diffraction limit of conventional microscopy has attracted the interest of researchers in biology and ...