Name: design and development of a three-dimensionally printed microscope mask alignment adapter for the fabrication of multilayer microfluidic devices
Uploaded: 2021-01-25T13:00:00
Description: Watch this Scientific Journal Video about Design and Development of a Three-Dimensionally Printed Microscope Mask Alignment Adapter for the Fabrication of Multilayer Microfluidic Devices at JoVE.com

作者感谢德克萨斯理工大学转型本科生体验中心为该项目提供资金。作者还希望感谢得克萨斯理工大学化学工程系的支持。

1. 设计MMAA
<ol><li>获取可用紫外线发射系统的托盘尺寸，作为 图 1中显示的晶圆支架（或紫外线照射单元）尺寸的上界面。如图 2A所示，测量内圆形边缘的直径 （d）、紫外线发射系统托盘的内部高度 （h）、托盘的总宽度 （w） 和长度 （l）。 注：例如，可用的紫外线照射系统具有 5 英寸（"） x 5" x 0.25 英寸的内托盘尺寸，并带有 4 英寸圆形切口。?...

<ol>
	<li>Betancourt, T., Brannon-Peppas, L. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Micro-+and+nanofabrication+methods+in+nanotechnological+medical+and+pharmaceutical+devices.">Micro- and nanofabrication methods in nanotechnological medical and pharmaceutical devices.</a> International Journal of Nanomedicine. 1 (4), 483-495 (2006).</li><li>Wheeler, A. R., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Microfluidic+device+for+single-cell+analysis.">Microfluidic device for single-cell analysis.</a> Analytical Chemistry. 75 (14), 3581-3586 (2003).</li><li>Kong, D. S., Carr, P. A., Chen, L., Zhang, S., Jacobson, J. M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Parallel+gene+synthesis+in+a+microfluidic+device.">Parallel gene synthesis in a microfluidic device.</a> Nucleic Acids Research. 35 (8), 61 (2007).</li><li>Yang, M., Li, C. -. W., Yang, J. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Cell+docking+and+on-chip+monitoring+of+cellular+reactions+with+a+controlled+concentration+gradient+on+a+microfluidic+device.">Cell docking and on-chip monitoring of cellular reactions with a controlled concentration gradient on a microfluidic device.</a> Analytical Chemistry. 74 (16), 3991-4001 (2002).</li><li>Keles, H., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Development+of+a+robust+and+reusable+microreactor+employing+laser+based+mid-IR+chemical+imaging+for+the+automated+quantification+of+reaction+kinetics.">Development of a robust and reusable microreactor employing laser based mid-IR chemical imaging for the automated quantification of reaction kinetics.</a> Organic Process Research &amp; Development. 21 (11), 1761-1768 (2017).</li><li>Losey, M. W., Jackman, R. J., Firebaugh, S. L., Schmidt, M. A., Jensen, K. F. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Design+and+fabrication+of+microfluidic+devices+for+multiphase+mixing+and+reaction.">Design and fabrication of microfluidic devices for multiphase mixing and reaction.</a> Journal of Microelectromechanical Systems. 11 (6), 709-717 (2002).</li><li>Kobayashi, J., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=A+microfluidic+device+for+conducting+gas-liquid-solid+hydrogenation+reactions.">A microfluidic device for conducting gas-liquid-solid hydrogenation reactions.</a> Science. 304 (5675), 1305-1308 (2004).</li><li>Shuler, M. L. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Advances+in+organ-,+body-,+and+disease-on-a-chip+systems.">Advances in organ-, body-, and disease-on-a-chip systems.</a> Lab on a Chip. 19 (1), 9-10 (2019).</li><li>Kimura, H., Sakai, Y., Fujii, T. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Organ/body-on-a-chip+based+on+microfluidic+technology+for+drug+discovery.">Organ/body-on-a-chip based on microfluidic technology for drug discovery.</a> Drug Metabolism and Pharmacokinetics. 33 (1), 43-48 (2018).</li><li>Lee, H., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=A+pumpless+Multi-Organ-on-a-Chip+(MOC)+combined+with+a+Pharmacokinetic-Pharmacodynamic+(PK-PD)+model.">A pumpless Multi-Organ-on-a-Chip (MOC) combined with a Pharmacokinetic-Pharmacodynamic (PK-PD) model.</a> Biotechnology and Bioengineering. 114 (2), 432-443 (2017).</li><li>Kang, S. -. W., Wang, M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Application+of+soft+lithography+for+nano+functional+devices.">Application of soft lithography for nano functional devices.</a> Lithography. , 403-426 (2010).</li><li>Challa, P. K., Kartanas, T., Charmet, J., Knowles, T. P. J. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Microfluidic+devices+fabricated+using+fast+wafer-scale+LED-lithography+patterning.">Microfluidic devices fabricated using fast wafer-scale LED-lithography patterning.</a> Biomicrofluidics. 11, 014113 (2017).</li><li>Li, X., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Desktop+aligner+for+fabrication+of+multilayer+microfluidic+devices.">Desktop aligner for fabrication of multilayer microfluidic devices.</a> Review of Scientific Instruments. 86 (7), 075008 (2015).</li><li>Pham, Q. L., Tong, N. -. A. N., Mathew, A., Voronov, R. S. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=A+compact+low-cost+low-maintenance+open+architecture+mask+aligner+for+fabrication+of+multilayer+microfluidics+devices.">A compact low-cost low-maintenance open architecture mask aligner for fabrication of multilayer microfluidics devices.</a> Biomicrofluidics. 12 (4), 044119 (2018).</li><li>Ravi, T., Ranganathan, R., Shunmugam, M. S., Kanthababu, M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Topology+and+build+path+optimization+for+reducing+cost+in+FDM+uPrint+SE.">Topology and build path optimization for reducing cost in FDM uPrint SE.</a> Advances in Additive Manufacturing and Joining. , 189-198 (2019).</li><li>SU-8 Permanent Negative Epoxy Photoresist. Kayaku Advanced Materials Available from: <a target="_blank" href="https://kayakuam.com/wp-content/uploads/2020/09/KAM-SU-8-50-100-Datasheet-9.3.20-Final.pdf">https://kayakuam.com/wp-content/uploads/2020/09/KAM-SU-8-50-100-Datasheet-9.3.20-Final.pdf</a> (2020)</li></ol>

上述协议概述了 3D 打印 MMAA 并利用系统创建精确、多层、微流体设备主模具的程序。虽然设备易于使用，但协议中仍有关键步骤需要实践和注意，以确保主模具层的正确对齐。第一个关键步骤是MMAA的设计。在设计 MMAA 时，确定设备的精确测量结果至关重要，因为该测量结果将允许在紫外线照射系统内进行适当的安装。设备错位会导致不均匀的紫外线照射，从而造成主模具特征的畸形。第二个关?...

由于采用微流体平台的应用广泛，工程研究领域发展良好，前景广阔，因此微制造领域前景广阔。微制造是一种使用不同化合物产生具有 μm 或较小功能的结构的过程。随着微流体研究在过去30年的发展，软平板学已成为最流行的微制造技术，用来生产由聚（二甲基硅氧烷）或类似物质制成的微芯片。这些微芯片已广泛应用于普通实验室实践1、2、3、4的小型化，并已成为工程师模仿反应过程5、6、7、研究反应机制、模仿人体体外器官（例如芯片上的器官）8、9、10的有力研究工具。但是，随着应用程序的复杂性增加，通常更复杂的微流体设备设计能够更好地复制它要模仿的真实系统。
基本的软平板摄影程序包括用光复剂物质涂覆基板，并在涂层基板上放置光罩，然后让基板受到紫外线照射11。光面罩具有透明区域，可模仿微流体设备通道所需的模式。当涂层基板受到紫外线照射时，透明区域允许紫外线光线穿透光幕，导致光电逆向。曝光步骤后，未交叉链接的光电逆光师使用开发人员冲走，留下具有预期图案的坚固结构。随着微流体设备的复杂性越来越大，它们需要具有极其精确尺寸的多层结构。与单层微制造相比，多层微制造过程要困难得多。
多层微制造需要将第一层特征与第二层面膜的设计精确对齐。通常，此过程使用商业面膜对齐器执行，成本高昂，需要培训才能操作机器。因此，对于缺乏资金或时间进行这种努力的小型实验室来说，多层微制造过程通常无法实现。虽然其他几个定制的口罩对齐器已经开发，这些系统往往需要购买和组装许多不同的零件，仍然可以相当复杂的12，13，14。这不仅对较小的实验室来说成本高昂，而且需要时间和培训来构建、理解和使用系统。本文详细介绍的口罩对齐器旨在缓解这些问题，因为无需购买其他设备，只需要生产和使用微流体设备的实验室中通常已经存在的设备。此外，口罩对齐器由 3D 打印制造，随着 3D 打印技术的最新进步，大多数实验室和大学都以负担得起的成本随时可用。
本文详细介绍的协议旨在创建一个经济高效且操作方便的替代面膜对齐器。此处详细介绍的面膜对齐器可使没有传统制造设施的研究实验室的多层微制造变得可行。使用显微镜面膜对齐适配器 （MMAA），可使用常规紫外光源、光学显微镜和通用实验室设备实现具有复杂功能的功能微芯片。结果表明，使用直立显微镜和紫外线光照射盒的示例系统MMAA性能良好。使用 3D 打印工艺生产的 MMAA 用于获得鱼骨微流体设备的双层主模具，对齐误差极小。使用 3D 打印 MMAA 制造的主模具，用多层结构制备了微流体设备，其中包含 10 μm <对齐错误。<10 μm 的对齐误差极小，不会妨碍微流体设备的应用。
此外，还确认了使用 MMAA 生产的四层主模具的成功对齐，并确定对齐误差为 < 10 μm。微流体设备的功能和最小的对齐错误验证了MMAA在创建多层微流体设备方面的成功应用。可以通过对 3D 打印机中的文件进行细微更改来定制以适应任何显微镜和紫外线照射系统。以下协议概述了微调 MMAA 以适应每个实验室可用设备和 3D 打印符合所需规格的 MMAA 所需的步骤。此外，协议详细说明了如何使用该系统开发多层主模具，然后使用主模具生产 PDMS 微流体设备。然后，生成主模具和微流体芯片，使用户能够测试系统的有效性。

<table border="1" fo:keep-together.within-page="1" fo:keep-with-next.within-page="always">
	<tbody>
		<tr>
			<td>Acrylonitrile Butadiene Styrene (ABS), 3D Printing Filament</td>
			<td></td>
			<td></td>
			<td>Provided by the Texas Tech University 3D printing facility</td>
		</tr>
		<tr>
			<td>BX53, Upright Microscope</td>
			<td>Olympus</td>
			<td></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Form 2, Stereolithography 3D printer</td>
			<td>Formlabs</td>
			<td></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Advanced Hot Plate Stirrer</td>
			<td>VWR</td>
			<td>97042-642</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Isoproyl Alcohol, 70% (v/v)</td>
			<td>VWR</td>
			<td>BDH7999-4</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Light Colored Marker</td>
			<td>Sharpie</td>
			<td></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Magnets, 3 mm x 3 mm</td>
			<td>WOTOY</td>
			<td></td>
			<td>ASIN #: B075PLVW8W</td>
		</tr>
		<tr>
			<td>SYLGARD 184 Silicone Elastomer Kit</td>
			<td>DOW</td>
			<td>4019862</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Petri Dish, 150 mm x 15 mm</td>
			<td>VWR</td>
			<td>25384-326</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Printed Photomasks</td>
			<td>CAD/Art Services, Inc.</td>
			<td></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Aluminum Support Jack - 8&#34; x 8&#34;, Scissor Lift</td>
			<td>VWR</td>
			<td>12620-904</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Silicon Wafer</td>
			<td>University Wafer</td>
			<td>452</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Sodium Hydroxide</td>
			<td>VWR</td>
			<td></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Sonication Bath</td>
			<td>Branson</td>
			<td>CPX3800H</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Spin Coater</td>
			<td>Laurell Technologies Corporation</td>
			<td>Model WS-650MZ-23NPPB</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>STRATASYS SR-30</td>
			<td>MakerBot Industries, LLC</td>
			<td>SR-30</td>
			<td>Dissolvable support material for 3D printing</td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Stratasys uPrint SE 3D Printer</td>
			<td>Computer Aided Technology, LLC</td>
			<td></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>SU-8 50</td>
			<td>Kayaku</td>
			<td>Y131269 0500L1GL</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>SU-8 100</td>
			<td>Kayaku</td>
			<td>Y131273 0500L1GL</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>SU-8 Developer</td>
			<td>Kayaku</td>
			<td>Y020100 4000L1PE</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Super glue</td>
			<td>Gorilla Glue</td>
			<td></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Trichloro(1H,1H,2H,2H-perfluorooctyl)silane</td>
			<td>Sigma-Aldrich</td>
			<td>448931-10G</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Tape</td>
			<td>Scotch</td>
			<td></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Form Cure, UV Curing Chamber</td>
			<td>Formlabs</td>
			<td>FH-CU-01</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>UV-KUB2, UV Light-Exposure Box</td>
			<td>Kloe</td>
			<td>UV-KUB2</td>
			<td></td>
		</tr>
	</tbody>
</table>

design and development of a three-dimensionally printed microscope mask alignment adapter for the fabrication of multilayer microfluidic devices

该项目旨在开发一个易于使用且经济高效的平台，用于制造精确的多层微流体设备，通常只能在洁净室环境中使用昂贵的设备才能实现。平台的关键部分是三维（3D）打印显微镜面罩对齐适配器（MMAA），与常规光学显微镜和紫外线（UV）光照射系统兼容。由于为优化设备设计所做的工作，创建设备的整体过程已大大简化。这个过程需要为实验室中可用的设备找到合适的尺寸，并使用优化的规格对MMAA进行3D打印。实验结果表明，3D打印设计制造的优化MMAA在普通显微镜和光照系统下表现良好。使用由 3D 打印 MMAA 制备的主模具，生成的具有多层结构的微流体设备包含 10 μm <对齐误差，这足以满足普通微芯片的需求。虽然通过将设备转移到紫外线照射系统的人为错误会导致更大的制造错误，但通过实践和小心，本研究中实现的最小错误是可以实现的。此外，可以通过更改 3D 打印系统中的建模文件来定制 MMAA 以适应任何显微镜和紫外线照射系统。该项目为较小的实验室提供了有用的研究工具，因为它只需要使用通常已经为生产和使用微流体设备的实验室提供的设备。以下详细协议概述了 MMAA 的设计和 3D 打印过程。此外，还介绍了使用MMAA采购多层主模具和生产聚（二甲基硅氧烷）（PDMS）微流体芯片的步骤。

通过优化和使用MMAA（图1），制造了对齐误差最小的多层主模具。最后的MMAA是使用融合的灯丝制造（FFF）3D打印工艺（图2）制造的。FFF 流程提高了所需设备尺寸的准确性。MMAA由两个主要部分（图3）：底片和定制紧固件。基件由紫外线照射单元组成，该单元充当晶圆支架。紫外线照射装置允许光面罩和涂层硅晶片正确对齐。第二?...

Watch this Scientific Journal Video about Design and Development of a Three-Dimensionally Printed Microscope Mask Alignment Adapter for the Fabrication of Multilayer Microfluidic Devices at JoVE.com

Design and Development of a Three-Dimensionally Printed Microscope Mask Alignment Adapter for the Fabrication of Multilayer Microfluidic Devices

该项目允许小型实验室开发一个易于使用的平台，用于制造精确的多层微流体设备。该平台由三维打印显微镜面罩对齐适配器组成，使用该适配器实现了多层微流体设备，对齐误差为 <10 μm。

设计和开发用于制造多层微流体设备的三维打印显微镜面膜对齐适配器

This project aims to develop an easy-to-use and cost-effective platform for the fabrication of precise, multilayer microfluidic devices, which typically ...

此协议意义重大，因为它允许生成一个经济高效且易于使用的平台，从而有助于生产精确的多层微流体主模具。该技术的主要优点是，它只需要使用3D打印平台和标准实验室设备，通常发现在实验室生产微流体设备。此协议的视觉演示对于演示如何定制和使用 3D 打印显微镜面罩对齐适配器至关重要。获取可用紫外线发射系统的托盘尺寸，作为晶圆支架尺寸的上界面。测量内圆形边缘的直径、紫外线发射系统托盘的内部高度、托盘的总宽度和长度。使用计算机设计应用程序，应用这些尺寸定制晶圆支架，以适应紫外线发射系统托盘。测量螺丝和螺丝在可用直立显微镜阶段的长度，该阶段将滑动支架保持到位。使用计算机设计应用程序，应用这些尺寸定制磁架，以适应可用的显微镜，使MMAA轻松而精确地固定在显微镜上。使用四英寸硅晶片与您适当的照片电阻创建主模具的第一层，确保厚度大于后续层，以便轻松识别对齐标记。使用浅色标记笔为第一层的对齐标记着色，标记四面。使用照片电阻制造商的说明，通过将照片电阻旋转涂层到晶圆上并执行软烘烤，启动主模具的第二层。将涂层晶圆插入 MMAA 的晶圆支架，然后使用胶带将涂层晶圆固定到 MMAA 上。使用磁性显微镜紧固件将晶圆支架连接到可用的直立显微镜上。使用显微镜阶段的 X 和 Y 方向旋钮移动 MMAA 的位置，直到通过显微镜镜头查看晶圆上的彩色对齐标记之一。将晶圆支架从显微镜阶段移开，将第二层照片面罩插入涂层晶圆顶部的晶圆支架中。确保通过照片面膜上的对齐标记部分看到第一层的彩色对齐标记，并确保照片面膜的直边缘与硅晶圆的直边缘叠加。将晶圆支架固定在显微镜台上，然后用胶带将照片面罩连接到剪刀升降机的侧切口之一。使用剪刀升降机调整照片面膜的 Z 方向位置，直到它位于涂层晶圆的正上方。在保持照片面罩静止的同时，通过显微镜镜头查看，使用显微镜阶段的 X 和 Y 方向旋钮识别照片面罩对齐标记下方的第一层彩色对齐标记，以移动 MMAA 的位置。调整 MMAA 的位置，直到照片面罩上的对齐标记与第一层的彩色对齐标记叠加。小心地对照片面膜施加轻微的力，并使用胶带将照片面膜固定在涂层晶圆的顶部。将照片面罩从剪刀升降机中分离，并确保照片面罩上的所有四个对齐标记与第一层的四个对齐标记一致。对齐后，小心地将晶圆支架从显微镜台分离。将玻璃顶板插入晶圆和照片面罩顶部，以缩小两块之间的间隙。将整个晶圆支架放入可用的紫外线照射系统，并执行第二层的曝光。从紫外线光照射系统中取出晶圆支架，然后从晶圆支架上取下涂层晶圆，将照片面罩从晶圆中分离。按照照片电阻制造商的指示完成第二层的烘烤后和开发。检索主模具并将其放置在直立显微镜的舞台上，以确定第一层和第二层之间的间隙距离。测量第二层从微通道结构上的第一层移动和错位的距离。使用直立显微镜确定 PDMS 芯片是否包含直线清晰设备边缘的通道壁。此外，检查 PDMS 芯片是否有可能妨碍设备功能的缺陷。通过优化和使用 MMAA，制造了具有最小对齐误差的多层主模具。此系统和描述的协议用于将照片面罩上的标记与主模具初始层上的标记对齐。双层SU-8主模具为具有鱼骨图案的微流体装置，经过制造，显示两层之间的间隙距离小于5微米。然后，两层主模具用于制造PDMS微芯片。扫描电子显微镜图像显示，具有鱼骨图案的微流体设备包含清晰的边缘、直通道壁和对齐良好的层，这对适当的设备功能至关重要。此外，还使用 MMAA 创建了具有简单圆形特征的四层主模具，以显示多层主模具的成功对齐。Profilometer 数据证实了主模具的四个不同层。在对齐第一层和第二层的对齐标记并将照片面罩固定到涂层晶圆时，保持耐心并缓慢工作非常重要。此过程可用于生产许多不同的多层主模具，使来自小型实验室的研究人员能够探索更复杂的微流体设备设计。

Research

JoVE Journal

Engineering

Design, Fabrication, and Experimental Characterization of Plasmonic Photoconductive Terahertz Emitters

电浆光电导太赫兹发射器的设计，制造和实验表征

In this video article we present a detailed demonstration of a highly efficient method for generating terahertz waves. Our technique is based on ...

科研

工程学

Fabrication and Testing of Microfluidic Optomechanical Oscillators

制造和微流控光机振荡器测试

Cavity optomechanics experiments that parametrically couple the phonon modes and photon modes have been investigated in various optical systems including ...

In Situ Time-dependent Dielectric Breakdown in the Transmission Electron Microscope: A Possibility to Understand the Failure Mechanism in Microelectronic Devices

In Situ Time-dependent Dielectric Breakdown in the Transmission Electron Microscope: A Possibility to Understand the Failure Mechanism in Microelectronic Devices

在透射电子显微镜原位时间相关的介质击穿：一种可能性，了解微电子器件的失效机理

The time-dependent dielectric breakdown (TDDB) in on-chip interconnect stacks is one of the most critical failure mechanisms for microelectronic devices. ...

Thermal Measurement Techniques in Analytical Microfluidic Devices

在分析微流体装置的热测量技术

Thermal measurement techniques have been used for many applications such as thermal characterization of materials and chemical reaction detection. ...

Fabrication and Operation of Acoustofluidic Devices Supporting Bulk Acoustic Standing Waves for Sheathless Focusing of Particles

制造和Acoustofluidic设备的运营支撑体声波驻波的聚焦鞘颗粒

Acoustophoresis refers to the displacement of suspended objects in response to directional forces from sound energy. Given that the suspended objects must ...

Fabrication of Fully Solution Processed Inorganic Nanocrystal Photovoltaic Devices

全面解决方案处理的无机纳米晶体光伏器件的制造

We demonstrate a method for the preparation of fully solution processed inorganic solar cells from a spin and spray coating deposition of nanocrystal ...

Solvent Bonding for Fabrication of PMMA and COP Microfluidic Devices

溶剂粘接的PMMA的制备和COP微流体装置

Thermoplastic microfluidic devices offer many advantages over those made from silicone elastomers, but bonding procedures must be developed for each ...

Flow-assisted Dielectrophoresis: A Low Cost Method for the Fabrication of High Performance Solution-processable Nanowire Devices

流动辅助介: 一种低成本的制备高性能溶液可纳米线器件的方法

Flow-assisted dielectrophoresis (DEP) is an efficient self-assembly method for the controllable and reproducible positioning, alignment, and selection of ...

Design and Fabrication of an Optical Fiber Made of Water

一种水上光纤的设计与制造

In this report, an optical fiber of which the core is made solely of water, while the cladding is air, is designed and manufactured. In contrast with ...

Fabrication of Refractive-index-matched Devices for Biomedical Microfluidics

生物医学微流体折射率匹配器件的研制

The use of microfluidic devices has emerged as a defining tool for biomedical applications. When combined with modern microscopy techniques, these devices ...