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00:45 min
May 17th, 2024
DOI :
10.3791/66248-v
Transcript
熱電発電装置で廃熱を回収し、電気に変える高品質な薄膜を作製する研究を行っています。高密度で堅牢な薄膜を作製し、密着性が高く均一性が高い高周波マグネトロンスパッタリングなど、さまざまな薄膜堆積技術が研究開発されています。この方法は、ターゲット材料の溶融と蒸発を必要としないため、溶融温度に関係なくほとんどの材料を蒸着できるため、他の物理蒸着技術よりも優れています。
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