우리의 연구는 폐열을 회수하여 전기로 전환하기 위해 열전 발전기용 고품질 박막을 제작하는 데 중점을 둡니다. 다양한 박막 증착 기술이 연구 개발되었으며, 더 나은 접착력과 높은 균일성을 가진 고밀도의 견고한 박막을 생산할 수 있는 무선 주파수 마그네트론 스퍼터링을 포함합니다. 이 방법은 대상 물질의 용융 및 증발이 필요하지 않으므로 용융 온도에 관계없이 대부분의 재료를 증착할 수 있어 다른 물리적 기상 증착 기술보다 우수합니다.
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