بروتوكول لدينا يوضح خطوات تصنيع بنية شبكة مرنة وعملية الترابط لجعل البوليمر القائم على حصادة الطاقة الاهتزاز. وميزة هذه التقنية، هو أن التصوير الفوتوغرافي 3D يمكن بسهولة تصنيع هيكل شبكة، وهذا هو فعال في حصادة الطاقة الاهتزاز لتطبيقات التردد المنخفض للبدء، وإعداد 30 ملليمتر من قبل 40 ملليمتر ركائز الزجاج. تعيين الركيزة الزجاجية في رقصة تفلون لتنظيف.
ارتدي نظارات واقية وملابس وقفازات. ثم، تظهر في الرقصة في حل البيرانا لمدة دقيقة واحدة. تعيين الركيزة الزجاجية في غرفة آلة RF magnetron الخفقان.
تعيين قوة الترددات اللاسلكية إلى 250 واط، والوقت الخفقان إلى 11 دقيقة، ومعدل تدفق غاز الأرجون إلى 12 sccm، وضغط الغرفة إلى 0.5 باسكال. الآن، شكل 100 إلى 200 نانومتر من فيلم الكروم على الركيزة الزجاجية، من قبل RF magnetron التخبط. المقبل، تعيين الركيزة على مرحلة تحديد في غرفة المغلفة تدور.
إسقاط صورة إيجابية مقاومة كما 1A13 على فيلم الكروم، ومعطف واحد إلى اثنين من ميكرون رقيقة الفيلم عن طريق طلاء تدور في 4000 دورة في الدقيقة لمدة 30 ثانية. بعد الخبز الركيزة كما هو موضح في بروتوكول النص، اتصل الصورة مقاومة الركيزة المغلفة مع قناع الصورة. تعرض الأشعة فوق البنفسجية عموديا على قناع الصورة.
تأكد من أن جرعة التعرض هي 80 ملليجول لكل سنتيمتر مربع، وأن الطول الموجي هو 405 نانومتر. غمر الركيزة في 150 ملليلتر من حل TMAH، وتطوير مقاومة الصورة لمدة 30 ثانية إلى دقيقة واحدة. بعد شطف الركيزة بالماء النقي ، غمر الركيزة في 150 ملليلتر من محلول نقش الكروم ، وحفر الكروم لمدة دقيقة إلى دقيقتين.
ثم إزالة مقاومة الصورة كما هو موضح في بروتوكول النص. الآن، تعيين الركيزة على مرحلة تحديد في غرفة اللف المعطف. إسقاط ما يقرب من ملليلتر من حل الراتنج الاكريكل على جانب نمط الكروم من الركيزة للافراج عن هيكل ملفقة كطبقة الأضاحي.
ثم، تشكيل فيلم رقيقة من قبل تدور طلاء في 2000 دورة في الدقيقة لمدة 30 ثانية. بعد الخبز الركيزة في 100 درجة مئوية لمدة 10 دقائق، تعيين الركيزة على لوحة المرفقة في معطف رذاذ. تغطية الركيزة مع غطاء حافة لمنع فوز الحافة.
صب الصورة السلبية مقاومة SU8-3005 في الحقنة. تعيين قطر فوهة، سرعة حركة فوهة، ضغط الانحلال، ضغط السوائل، مسافة الملعب، ووقت الفاصل الزمني لكل طبقة كما هو مبين في بروتوكول النص. أيضا، تعيين المسافة بين فوهة والركيزة إلى 40 ملليمتر.
رش SU8 متعدد الطبقات على الركيزة. كرر الطلاء 10 مرات بنفس الطريقة. ثم، خبز الركيزة على لوحة ساخنة في 95 درجة مئوية لمدة 60 دقيقة.
بعد تحديد سمك الفيلم لكل طبقة ، كما هو موضح في بروتوكول النص ، رش متعدد الطبقات لتحقيق سمك الفيلم المستهدف. في هذا البحث، يتم تطبيق 40 طبقة لسمك 200 ميكرون. الآن، ضع الركيزة على جدول تعديل زاوية عن طريق التقليب الركيزة فوق.
إمالة زاوية جدول التكيف إلى 45 درجة. ضع جدول تعديل الزاوية تحت مصدر ضوء الأشعة فوق البنفسجية. تطبيق الأشعة فوق البنفسجية عموديا على الركيزة بجرعة التعرض من 150 ملليجول لكل سنتيمتر مربع، و طول موجة من 365 نانومتر.
بعد التعرض، والعودة زاوية الجدول التكيف إلى درجة الصفر، وإمالة إلى 45 درجة في الاتجاه المعاكس. تطبيق الأشعة فوق البنفسجية ضوء عموديا في نفس الطريقة، قبل تنفيذ الخبز بعد التعرض كما هو موضح في بروتوكول النص. الآن، تطوير الركيزة لمدة 20 إلى 30 دقيقة تقريبا في SU-8 المطور.
إذا كان الوقت النامي لا يكفي، فإنه يؤدي إلى فتح غير كاف للفراغات شبكة. بعد الشطف في IPA ، كما هو موضح في بروتوكول النص ، غمر الركيزة في حل Toluene لمدة ثلاث إلى أربع ساعات تقريبًا. ضمان، أن يتم edgeed طبقة الأضاحي من راتنج الاكريليك وهيكل SU-8 مع هيكل شبكة يتم تحريرها من الركيزة.
لتحضير الفيلم الكهروضوئي، قم بقص ورقة PVDF على شكل الجهاز مع ورقة 360 مليمتر مربع. ضع أفلام PVDF المقطوعة على طبق بيتري مع تمريرة خلوية. تخزينها في مجففات.
الآن، صب 10 ملليلتر من العامل الرئيسي من PDMS، وميليلتر واحد من عامل علاج، في أنبوب الطرد المركزي. تعيين أنبوب الطرد المركزي في آلة تخزين الكواكب والتفريغ، وخلط كلا الحلين لمدة دقيقة واحدة. الآن، إعداد اثنين من 30 ملليمتر من قبل 40 ملليمتر ركائز الزجاج.
تعيين الركيزة الزجاجية على مرحلة تحديد في غرفة اللف المعطف. إسقاط حل PDMS على الركيزة الزجاجية. ثم، تشكيل الفيلم PDMS عن طريق طلاء تدور في 4000 دورة في الدقيقة، وخبز الركيزة كما هو موضح في بروتوكول النص.
ضع أفلام PVDF المقطوعة واحدة تلو الآخر على ركائز PDMS مختلفة. ضمان، أنه فقط من خلال وضع أفلام PVDF على سطح PDMS، فإنها تلتزم بعضها البعض. إذا كانت التجاعيد ينظر على أفلام PVDF، تمديد لهم مع الأسطوانة.
إسقاط SU-8 على فيلم PVDF واحد، وضعت على PDMS الركيزة واحد. ثم، تشكيل SU-8 رقيقة الفيلم عن طريق طلاء تدور في 4000 دورة في الدقيقة. ضع بنية شبكة SU-8 على فيلم PVDF واحد والسندات لهم.
الآن، إسقاط SU-8 على فيلم PVDF اثنين، وضعت على الركيزة PDMS اثنين. شكل SU-8 رقيقة من قبل طبقة طلاء تدور في 4000 دورة في الدقيقة. Peal قبالة PVDF فيلم اثنين من الركيزة PDMS اثنين، ومن ثم وضع على رأس هيكل شبكة SU-8، وضعت على فيلم PVDF واحد.
تخزين الجهاز الملتزم مع الدولة المستعبدين في وعاء مع انخفاض الرطوبة، مثل مجفف لمدة 12 ساعة تقريبا. بعد 12 ساعة، ووضع الملاقط في الجانب السفلي من أدنى طبقة، PVDF فيلم واحد. ثم، في وقت واحد قشر قبالة الطبقات الثلاث المستعبدين من فيلم PVDF واحد، SU-8 هيكل شبكة، والفيلم PVDF اثنين من الركيزة.
يتم عرض حصادة الطاقة اهتزاز نوع ثنائي الشكل، تتألف من طبقتين من الأفلام PVDF وطبقة وسيطة، تتألف من بنية شبكة SU-8. يتم توصيل الأقطاب الكهربائية من PVDF العلوي والسفلى في سلسلة للحصول على الجهد الناتج. الصورة البصرية والصور SEM اثنين تظهر طبقات مرنة مع هيكل شبكة.
وفقا للصور، طبقة مرنة، معالجتها من قبل التعرض يميل المؤخر، ويبدو أن لديها أنماط شبكة 3D غرامة، دون فشل التنمية. في اختبارات الاهتزاز، يتم تقييم جهازين، أحدهما مع طبقة مرنة متشابكة، والآخر مع طبقة مرنة بنية صلبة، للتحقق من صحة جهاز نوع الأساسية المتشابكة. عندما يتم تعيين الأجهزة على شاكر الاهتزاز ومتحمس، على حد سواء، نوع المتشابكة الأساسية وأجهزة نوع الصلبة الأساسية، وأظهرت الإخراج الجيوب الأنفية متزامنة مع إدخال الجيوب الأنفية.
جهاز نوع النواة المتشابكة أظهرت 42.6٪ أعلى الناتج الجهد من جهاز نوع الصلبة الأساسية. يظهر هنا هو استجابة التردد من قوة الانتاج القصوى. أظهر جهاز نوع core المتناغم تردد رنين 18.7 هرتز، وهو أقل بنسبة 15.8٪ من جهاز نوع النواة الصلبة.
كما أظهرت قوة انتاج 24.6 microwatts، وهو 68.5٪ أعلى من جهاز نوع الصلبة الأساسية. على التعرض يميل، من المؤخر من الركيزة، ووقت النامية كافية مهمة لجعل مطبوعات غرامة من هيكل شبكة. في عملية الترابط رقيقة، يمكننا أيضا استخدام الغراء لحظة.
ومع ذلك، فإن الغراء ملء الفراغ من هيكل شبكة، ويسبب زيادة في صلابة الجهاز. لذلك، يزيد تردد الرنين أيضا. جميع استخدام أنظمة حصاد الطاقة، يمكننا تطبيق التصوير الفوتوغرافي 3D على أنها تطبيقات نانو الصغيرة، مثل النظم البيولوجية والبصرية وmicrofluidic.
