Entfernen Sie zunächst den Aluminiumschild von der Pistole und legen Sie das Zielmaterial in die Mitte der Abdeckung. Ziehen Sie die Abdeckung des Magnetronhalters fest an und bringen Sie die Aluminiumabschirmung wieder an. Wickeln Sie den Kammerkörper, die Pistolen und den Probenhalter mit Aluminiumfolie ein.
Mit einem Multimeter auf einen Sortierkreis zwischen den Kammerkörpern, dem Kammerkörper und der Waffe sowie dem Kammerkörper und dem Ziel prüfen. Schließen Sie dann die Tür und starten Sie den Saugvorgang in der Kammer für 15 bis 30 Minuten. Drücken Sie zu Beginn des Staubsaugens die Tür und das Gehäuse fest zusammen, um eine dichte Abdichtung zu gewährleisten.
Überwachen Sie das Manometer, um einen Druckabfall zu bestätigen. Aktivieren Sie nun das Kühlsystem und stellen Sie es auf 15 Grad Celsius ein. Schalten Sie die Pumpen- und Kühltasten ein und öffnen Sie das an das Sputtergerät angeschlossene Ventil.
Stellen Sie nun den Argongasfluss auf vier Standardkubikzentimeter pro Minute ein und aktivieren Sie den Gaskippschalter. Stellen Sie die Drehzahl auf 10 U/min ein und schalten Sie den Rotationskippschalter ein. Drücken Sie den Netzschalter, um den automatisch passenden Netzwerkcontroller und die Hochfrequenz-Stromversorgung zu aktivieren.
Verwenden Sie auf dem automatisch passenden Netzwerkcontroller die Min/Max-Taste, stellen Sie die Last ein und stimmen Sie sie auf jeweils 50% ab. Schalten Sie dann den Modus von manuell auf automatisch um. Stellen Sie am Hochfrequenznetzteil die Hochfrequenzleistung auf 50 Watt ein und drücken Sie die Starttaste.
Stellen Sie den Timer auf 15 Minuten. Schalten Sie dann die HF-Stromversorgung und -Drehung aus. Stellen Sie den Argonnenfluss auf Null und schalten Sie den Kippschalter aus.
Schalten Sie danach den Staubsauger aus. Stellen Sie sicher, dass Sie die Turbomolekularpumpe ausschalten, bevor Sie die Kammer entlüften, um Schäden zu vermeiden. Öffnen Sie anschließend die Kammer und laden Sie die vorbereiteten Substrate an der Außenecke des rotierenden Probenhalters für eine optimale Abscheidung.
Schließen Sie die Kammertür und saugen Sie mindestens sechs Stunden lang. Aktivieren Sie das Kühlersystem wie zuvor gezeigt und öffnen Sie das mit dem Sputtergerät verbundene Ventil. Stellen Sie die Rotationsgeschwindigkeit, den Argonfluss, die automatische Anpassung des Netzwerkcontrollers und die Funkfrequenz ein, wie zuvor gezeigt.
Drücken Sie die Starttaste und untersuchen Sie die Kammer auf Plasma. Erhöhen Sie die HF-Leistung schrittweise alle 10 Sekunden um fünf Watt, bis sie 75 Watt erreicht. Stellen Sie den Timer auf 60 Minuten ein Schalten Sie anschließend die Hochfrequenzleistung und das Rotationssystem aus.
Fahren Sie auch den Netzwerkcontroller für die automatische Anpassung und die Hochfrequenzstromversorgung herunter. Stellen Sie den Argongasfluss auf Null und schalten Sie den Gaskippschalter aus. Schalten Sie dann das Vakuum aus und lüften Sie die Kammer, um sie zu öffnen.
Entfernen Sie mit einer Pinzette alle Proben aus der Kammer und legen Sie sie in eine saubere Petrischale. Reinigen Sie die Kammer und saugen Sie sie 10 bis 15 Minuten lang ab, um einen Vakuumzustand frei von Verunreinigungen zu erhalten.
