Mikrofabrikation mittels Photolithographie

Überblick

Die Herstellung von BioMEMs Geräten geschieht oft mit einer Microfabrication Technik namens Photolithographie. Diese weit verbreitete Methode nutzt Licht, um ein Muster auf einem Silizium-Wafer übertragen und bildet die Grundlage für die Herstellung von vielen Gerätetypen BioMEMs.

Dieses Video präsentiert die Photolithographie-Technik, zeigt, wie der Prozess im Reinraum durchgeführt wird, und einige Anwendungen des Prozesses führt.

Verfahren

Der gestiegenen Bedarf an tragbaren Geräten mit extrem kleinen Probenvolumina, trieb die Miniaturisierung der Geräte genannt BioMEMS. BioMEMS werden über Mikro-Fertigung produziert. Ein Prozess der Herstellung von Mikro-Strukturen mit Halbleiter-Technologie. Eine Mikro-Fertigung-Technik namens Photolithographie, wird oft verwendet, um Muster komplexe Muster auf einem Substrat mit Licht. Dieses Video wird einzuführen, den Prozess der Photolithographie, zeigen die Technik im Labor und geben einen Einblic

Log in or to access full content. Learn more about your institution’s access to JoVE content here

Tags
Leerer WertProblem

pringen zu...

0:07

Overview

0:47

Principles of Photolithography

2:49

Photolithography with Positive Resist

4:11

Pattern Etching and Cleaning

5:16

Applications

7:19

Summary

Videos aus dieser Sammlung:

article

Now Playing

Mikrofabrikation mittels Photolithographie

Bioengineering

11.0K Ansichten

article

Übersicht von Biomaterialien

Bioengineering

73.8K Ansichten

article

Kollagen-Hydrogele

Bioengineering

52.9K Ansichten

article

Elektrospinnen von Biomaterialien aus Seide

Bioengineering

8.9K Ansichten

article

Überblick über BioMEM-Geräte

Bioengineering

15.9K Ansichten

article

Weiche Lithographie

Bioengineering

10.8K Ansichten

article

Überblick über die Bioverfahrenstechnik

Bioengineering

18.0K Ansichten

article

Synthetische Biologie

Bioengineering

9.8K Ansichten

article

Batch- und kontinuierliche Bioreaktoren

Bioengineering

48.9K Ansichten

article

Überblick über Biosensoren

Bioengineering

11.6K Ansichten

article

Elektrochemische Biosensoren

Bioengineering

15.8K Ansichten

article

Optische Biosensoren

Bioengineering

13.0K Ansichten

article

Übersicht des Tissue Engineering

Bioengineering

12.7K Ansichten

article

Histotypische Gewebekulturen

Bioengineering

11.3K Ansichten

article

Organkulturen

Bioengineering

13.9K Ansichten

JoVE Logo

Datenschutz

Nutzungsbedingungen

Richtlinien

Forschung

Lehre

ÜBER JoVE

Copyright © 2025 MyJoVE Corporation. Alle Rechte vorbehalten