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Microfabrication via photolithographie

Vue d'ensemble

La fabrication de dispositifs BioMEMs est souvent faite en utilisant une technique de microfabrication appelée photolithographie. Cette méthode utilisée utilise la lumière pour transférer un motif sur une plaquette de silicium et fournit la base pour la fabrication de nombreux types de dispositifs BioMEMs.

Cette vidéo présente la technique de photolithographie, montre comment le processus est effectué dans la salle blanche et présente quelques applications du processus.

Procédure

Le besoin croissant pour les appareils portables avec le volume des échantillons extrêmement petits, a poussé la miniaturisation des dispositifs appelés BioMEMS. BioMEMS sont produits par l’intermédiaire de microfabrication. Un processus de fabrication de structures d’échelle microscopique à l’aide de la technologie des semi-conducteurs. Une technique de microfabrication appelée photolithographie, est souvent utilisé pour des motifs complexes motif sur un substrat à l’aide de la lumière. Cette vidéo va

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