Method Article
מעגלים משולבים קוונטית (QICs) המורכב של מערך של הצמתים Josephson מישורי ובליסטיים (JJs) מבוסס ב0.75Ga0.25כמו גז אלקטרוני דו מימדי (2deg עלות) מוצג. שתי שיטות שונות לייצור דו מימדי (2D) JJs ו QICs נדונים ואחריו הפגנה של מדידות הובלה קוונטית בטמפרטורות sub-קלווין.
כדי ליצור הובלה קוונטית קוהרנטית בצמתים היברידית מוליכים למחצה (S-Sm), היווצרות ממשק הומוגנית ונטול מכשולים בין שני חומרים שונים הוא הכרחי. הצומת S-Sm עם שקיפות ממשק גבוה לאחר מכן להקל על התבוננות של פער מוליך הקשה המושרה, שהיא הדרישה המפתח כדי לגשת לשלבים טופולוגי (המיתאר) וצפייה של quasiparticles אקזוטיים כגון מיראנה אפס מצבים (MZM) במערכות היברידיות. פלטפורמה חומרית שיכולה לתמוך בהתבוננות במיתאר ומאפשרת מימוש מורכב ומסועף ולכן מאוד תובענית בעיבוד קוונטי ובמדעי המחשוב והטכנולוגיה. כאן, אנו מציגים מערכת החומרים דו מימדי וללמוד את הקירבה הנגרמת על-ידי וליכים גז אלקטרוני דו מימדי (2deg עלות) כי הוא בסיס של מעגל היברידית קוונטית משולבת (QIC). 2DEG עלות הוא 30 ננומטר עבה ב0.75Ga0.25כמו הבאר הקוונטית שנקבר בין שניים ב0.75אל0.25כמו מחסומים בהטרולבנה. ניאוביום (Nb) סרטים משמשים כאלקטרודות סופר מוליך לטופס Nb-ב0.75Ga0.25כמו-Nb josephson צמתים (jjs) כי הם סימטריים, מישורי ובליסטיים. שתי גישות שונות שימשו ליצירת ה-JJs ו-QICs. הצמתים הארוכים היו פוטוליגרפיה מפוברק, אך השימוש בקורות הקרן האלקטרוני היה לייצור צמתים קצרים. מדידות התחבורה הקוונטית הקוהרנטית כפונקציה של טמפרטורה בנוכחות/היעדרות של שדה מגנטי B נדונים. בשתי גישות ייצור המכשיר, הקירבה המושרה מאפייני הביצוע נצפו ב0.75Ga0.25כ 2 מעלות. נמצא כי הקרן האלקטרוני ליטוגרפי בדוגמת JJs של התוצאה באורכים קצרים יותר התבוננות של פער המושרה על השפעת בטווח טמפרטורות גבוהות בהרבה. התוצאות שניתן לגלות ונקי מציע כי היברידית 2D JJs ו QICs על בסיס ב0.75Ga0.25כמו בארות הקוונטים יכול להיות פלטפורמת חומר מבטיח להגשים את המערכת האמיתית מורכבת ומדרגיים הקוונטים אלקטרונית ופוטוטוניק מעגלים ומכשירים.
הצומת ג'וזפסון (JJ) נוצר על ידי sandwiching שכבה דקה של חומר לא מוליך (רגיל) בין שני סופר מנצחים1. שונים הרומן הקוונטי מעגלים אלקטרוניים, פוטוני ומכשירים ניתן לבנות על בסיס ג ' ורג '2,3,4,5,6,7,8, 9,10,11,12,13,14,15,16. ביניהם, הג עם מוליך למחצה כמו החלק הלא-מוליכים שלהם (נורמלי), או superconducting נצח-מוליך למחצה-superconducting נצח (S-Sm-S) JJs, קיבלו הרבה תשומת לב בשנים האחרונות לאחר זיהוי לכאורה של חלקיקי מיראנה אקזוטיים עם אפס חיובים חשמליים בממשק של סופר מנצח ומוליכים חד-מימדי (1d) ננו-חוט17,18,19,20,21, 22. ננו-מבוססי התקנים היברידיים מוגבלים לגיאומטריה התלת-ממדית של הננו-חוט והייצור של Y ו/או T-מבנים מתוכם-דרישה הכרחית לקליעת ברכינה-מאתגרת22. הכוונון המשובח של הפוטנציאל הכימי של הננו-חוט, לגישה לשלבים טופולוגי, דורש JJs עם מספר שערים אלקטרוסטטית הגורמת די הרבה בעיות בייצור המכשיר מורכב מתוך ננו-חוט. כדי להתגבר על בעיות המדרגיות של חוטי התלת-ממד, פלטפורמות חומר דו-ממדי (2d) מאוד רצויות19,22.
בין החומרים 2D, גז אלקטרונים דו מימדי (2D עלות) פלטפורמה-טפסים כאשר האלקטרונים מוגבלים ממשק בין שני חומרים שונים הטרומיבנה מוליך למחצה-הוא המועמד המבטיח ביותר22. השילוב של 2 מעלות עם מנצחים על ויוצרים היברידית 2Deg JJs פותח שדרה חדשה לקראת פיתוח של מערכות קוואנטיות מדרגי הדור הבא כגון עיבוד קוונטי ומחשוב. הם יכולים לתמוך הובלה קוונטית קוהרנטית הפאזה, ומוליכות על קרבה המושרה עם הסתברות שידור גבוהה, אשר הדרישה הבסיסית להתבוננות בפאזה טופולוגית. בהקשר זה, אנו להדגים QIC על שבב אשר מורכב מערך של 2D בליסטיים JJs כי ניתן לשלוט על ידי 20 חוטים. כל צומת יש שני אלקטרודות Nb כחלק מוליך על ו ב0.75Ga0.25כמו בארות קוואנטום בוליכים הטרוקשן כמו החלק הרגיל. וופל יכול להיות בקלות בדוגמת ליצור מבנים מורכבים QICs ברשת.
היתרונות של ב0.75Ga0.25כמו 2 מעלות כוללים: (i) גדול יחסית g-פקטור, (ii) חזקה רשבה ספין-מסלול הצימוד, (iii) המסה היעילה אלקטרון נמוך, ו (iv) כי הרכב אינדיום ניתן לכוונן המאפשר היווצרות של jjs עם ממשק גבוה שקיפות23,24,25. וופל יכול להיות גדל כדיסק של עד 10 ס מ dimeter, המאפשר ייצור של אלפי היברידית 2D JJs ורשתות QICs מורכבים כך להתגבר על אתגרי המדרגיות של התקנים אלה הקוונטים.
אנו דנים בשתי גישות שונות לגבי התקנים: עבור התקן 1, מעגל הכולל שמונה הג הזהה והסימטרי של 850 באורך nm ו 4 יקרומטר רוחב הם בדוגמת פוטוליתוגרפיה23,24. ההתקן 2 כולל שמונה צמתים עם אורכים שונים. לכולם יש את אותו רוחב של 3 μm. הג מתבנית על ידי e-bam ליתוגרפיה25. מדידות התחבורה בטמפרטורה sub-קלווין טווחים בהעדר/נוכחות של שדה מגנטי יוצגו. QICs על שבב מורכב מערך של 2D Nb-ב0.75Ga0.25כמו-Nb jjs. הצמתים ארוך וקצר נמדדים במקרר דילול עם טמפרטורת הבסיס של 40 mK ו נוזל 3הוא מקורר קריוסטט עם טמפרטורת הבסיס של 300 mK, בהתאמה. התקנים מוטים עם אות acשל 5 μv ב 70 Hz אשר מונח על גבי הטיית מתח dc הצומת. טכניקת נעילה בשתי מסופים סטנדרטית משמשת למדידת פלט ההתקן ac-נוכחי23,24,25.
הערה: הטרומבנייה מוליך למחצה וייצור היברידית S-Sm Josephson מוצגים.
1. הטרווליכים בייצור
הערה: הקרן המולקולרית (mbe) גדל ב0.75Ga0.25כמו בארות הקוונטים משמשים במחקר זה23,24,25,26. איור 1 מתאר את רצף השכבות הנפרדות:
2. ייצור משני מימדי של הצומת ג'וזפסון
הערה: כאן, תהליך הייצור של qics היברידית עם שתי גישות שונות נדונו23,24,25. מכשיר 1 עם שמונה הצמתים הזהים הארוכים של Josephson היה מפוברק רק עם כמה צעדים של עיבוד פוטוליטוגרפיה. הנוהל ייצור המכשיר השני היה דומה למכשיר 1 עד היווצרות של ג ' ל איזה שלב את השימוש האלקטרוני ליתוגרפיה.
איור 2 מציג את התמונה של מיקרוסקופ אלקטרוני סריקה (SEM) של המכשיר 1. ניתן לראות מעגל קוונטי עם 20 חוטי חשמל. העיצוב מאפשר מדידה של אחת או סדרה של ג ' י Js על שבב במקרר אחד קריר למטה. תמונת ה-SEM של צומת אחד על המעגל של מכשיר 2, כי היה מפוברק על ידי ליתוגרפיה הקרן האלקטרונית, מוצג באיור 2ב. המרחק בין שני סרטים Nb בכל צד של Nb-ב0.75Ga0.25As-Nb הצומת הוא L= 550 nm בנתיב הקצר ביותר. איור 2 c מציג את התמונה SEM של צומת אחד של התקן 1-שהוא פוטוליטוגרפית מפוברק. כאן, שני אלקטרודות Nb מופרדים במרחק של L= 850 nm.
התאוריה של בלונדר-טינטקאם-קלירווייק (BTK) היא מודל מקובל לתאר את התעבורה הקוונטית בצמתי ה-S-Sm ההיברידית27. ההשפעה של הפרמטרים של הזמנת מוליך-העל ב-וליכים 2DEG עלות גורמת לקבלת הוראה בעלת מוליכות לא לינארית. בטמפרטורות נמוכות, ישנם שני מנגנוני השתקפות אפשריים ב-Nb-In0.75Ga0.25כמו ממשקים: השתקפות רגילה מה שגורם לא שידור התשלום דרך הממשק ואת הרהורים andreev, אשר משדר שני מטען קוויטה 2א, עם הפתח של חור23,24,25. כמו עיבוי סופר מורכב של ספין סינגתן זוגות קופר, החור משתקף יש ספין הפוך כמו אלקטרון נכנסות. תרשים הקריקטורה של שני תהליכים אלה מוצג באיור 3א, ב, בהתאמה28.
אם הממשק בין ה-Nb לבין ב-0.75Ga0.25כאיש קשר אינו שקוף, קיים דו-קיום של אלקטרונים משתקפים הן נורמליים והן אנדרייב. לפיכך, ההתנגדות עולה והשיא בתוך הפער נוצר. כזה שיא בפער ב- dV/dI (VSD) אינו נצפה בצמתים שלנו. עם זאת, עבור ממשק הומוגנית ומכשול חופשי (Z= 0) בין הסרט Nb ו ב0.75Ga0.25כאיש קשר, כל האירועים אלקטרונים עוברים השתקפות andreev. במצב כזה, הזרם העודף Iללא נוצר בצומת בשל יחסים באמצעות אלקטרון וחור כמו quasiparticles. לכן, ההתנגדות הדיפרנציאלית בתוך הפער מצטמצם ולטבול שטוח U-צורה ב- dV/dI (VSD) הוא נצפתה. לפי דגם BTK, ניתן להסיק כי לא נוצר מחסום מינהור ב-Nb-ב-0.75Ga0.25כממשקים של שני ההתקנים. לפיכך, חוזק המכשול מוערך כ-Z < 0.2 בצמתים שלנו23,24,25.
בגלל ההשפעה קרבה, הפער המושרה של כ Δind ≈ 100 μev, ו 650 μev נמדדים במכשירים 1 ו-2, בהתאמה. התלות בטמפרטורה הנגרמת פער מוליך על עם מבנים מבטאים הפער אנרגיה הרמוני (SGS) פסגות מטבלים עבור המכשיר 1 מוצגים באיור 4א. הרהורים מרובים של Andreev (MAR) בממשקים של Nb-ב0.75Ga0.25כמו הצומת כתוצאה מכך התבוננות של sgs במסגרת מוליכות הדיפרנציאלי. בטמפרטורה נמדד הנמוך ביותר T= 50 mK (עקום אדום), sgs מופיע עם שלוש פסגות (בשם P1, P2 ו P3) ושלושה מטבלים (בשם d1, d2 ו d3). התפתחות הטמפרטורה של הפסגות והטבלים בשל דיכוי המוליכות העל הנגרמת עם עליית הטמפרטורה מוצגים באיור 4ב. מיקומי שיא SGS לציית הביטוי V = 2Δ/Ne (Δ הוא הפער Nb אנרגיה, n = 1, 2, 3,... הוא מספר שלם, ו- e הוא המטען אלקטרון: P1, P2, P3 ו P4 משרות בקירוב 2Δ/3E, 2Δ/4E, 2Δ/6e ואת קצה הפער המושרה אבל תנוחות לטבול לא לעקוב אחר הביטוי. כל התכונות הן תלויות באופן משמעותי בטמפרטורה, והחזקים (החלשים ביותר) SGS פסגות (מטבלים) נצפו ב T= 50 mK (800 mk). כדאי להזכיר כי גם בטמפרטורות מעל T= 500 mK שבו הזרם העילי לא יכול עוד להיראות, sgs נצפתה אבל זה נעלם ב T> 800 mK-כאשר מוליכות-על הנגרמת נשטף החוצה.
עבור התקן זה עם מערך של שמונה 2d jjs, ב 4 מתוך 7 הצמתים, פער מוליך על המושרה קשה ב0.75Ga0.25כמו 2 מעלות נמצא23,24. עם זאת, שלושה צמתים הראו חתימת פער רך ולא מבנה קשה ולא מרווח רך נצפה לצומת האחרון בגלל הכשל בחוט הקשר בין המכשיר לבין הלוח.
פער הניצוח כפונקציה של מתח VSD שהוחלו והטמפרטורה של המכשיר 2 מוצג באיור 5א. התקן זה נמדד על 3הוא קריוסטט עם טמפרטורת הבסיס של T= 280 mK. הטמפרטורה והשדה המגנטי תלויים מדידות התחבורה של המכשיר 2 לא מראים שום סימן של הפער או הפער משנה התנודות אשר נצפו עבור המכשיר 1 (ראה איור 5א, ב). זה יכול להיות בגלל הגיאומטריה בצורת החץ של הצומת אשר עלול לגרום הפרעה הרסנית של MAR. תכונות כאלה עשויות להופיע באמצעי המבצע הדיפרנציאלי אם ההתקן נמדד בטמפרטורות נמוכות בהרבה (טמפרטורת הבסיס של המקרר דילול). הפער המושרה מודחק והוזז לכיוון אפס הטיית מתח והגברה שלהם פוחתת עם הגדלת הטמפרטורה המוחלת והשדה המגנטי.
איור 1 . ב0.75Ga0.25כמו/ב0.75אל0.25כמו/gaas הטרובנהו. התצוגה הסכמטית של הטרולקשן שבו ב0.75Ga0.25כמו בבאר קוונטית עם 30 עובי ננומטר נוצר \u2012120 nm מתחת למשטח וופל. Nb שימש את אנשי הקשר (המוצג בשחור) כדי ליצור Nb היברידית ובליסטיים – ב0.75Ga0.25כמו 2 מעלות – Nb josephson הצומת. אנא לחץ כאן כדי להציג גירסה גדולה יותר של איור זה.
איור 2 : היברידית על שבב וליכים מעגלים קוונטית. (א) SEM תמונה של המכשיר qics המראה העליון של מעגל קוונטי עם 20 חוטי בקרה, ו-8 ג ' י מישורי ו סימטרי על שבב. התמונה SEM של Nb-ב0.75ga0.25כמו-Nb jjs עם ב0.75ga0.25כפער של 2 מעלות האורך L= 550 nm ו-850 nm עבור e-קרן ליטוגרפית (ב) ו פוטוליגרפית (c) מפוברק צמתים . אנא לחץ כאן כדי להציג גירסה גדולה יותר של איור זה.
איור 3 . רגיל ואנדרייב הרהורים בצמתים וליכים היברידית-מוליך. (א) השתקפות משתקפים quasiparticle ללא חיוב באמצעות הממשק. (ב) השתקפות אנדרייב ואילו האלקטרון הנכנס משתקף כחור הפוכה ספין הלהקה ולהעביר את הטעינה 2e לתוך האלקטרודה מוליך. אנא לחץ כאן כדי להציג גירסה גדולה יותר של איור זה.
איור 4 . מוליכות-על ו SGS המושרה ב0.75Ga0.25כמו בארות קוואנטים בפוטוליליגרפית מפוברק הצומת. (a) התלות בטמפרטורה הנגרמת פער הניצוח על פסגות sgs מבוטא עקב השתקפויות אנדרייב מרובים. SGS ואת פסגות הפער המושרה הקצוות, מסומנים על ידי P1 כדי P4 בעוד מטבלים SGS מסומנים על ידי d1 כדי d3. (ב) פסגות sgs ומטבלים המוצג (א) כפונקציה של טמפרטורה. SGS מדוכאים באופן משמעותי ב- T≫ 400 mK המוביל לתזוזה לכיוון אפס הטיה. אנא לחץ כאן כדי להציג גירסה גדולה יותר של איור זה.
איור 5 . הטמפרטורה והתלות בשדה המגנטי של מוליכות-על שנגרמה באמצעות הקרן ליטוגרפית מפוברק. (א) המושרה מוליך על הפער לעומת מקור החלת מתח VSD בטמפרטורות בין 300 mK ו 1.5 K. העקומות מוסטות אנכית לבהירות. (ב) צבע-התנגדות דיפרנציאלית מקודדת כפונקציה של VSD ואת השדה המגנטי הניצב ב T= 300 mK. אנא לחץ כאן כדי להציג גירסה גדולה יותר של איור זה.
על-ידי שבב QICs הכולל מערך של JJs מבוסס על הנהלת האינדינום גליום ארסניד (ב0.75Ga0.25As) בארות הקוונטים הוכחו. שני אתגרים חשובים של היברידית מערכות חומרים S-Sm כגון מדרגיות ושקיפות ממשק טופלו. שני צעדים קריטיים לילל את הפרוטוקול, כולל הצמיחה של איכות גבוהה וניידות גבוהה ב0.75Ga0.25כמו גז אלקטרוני דו מימדי בוליכים הטרובנים וקירבה המושרה על מוליכות על 2 מעלות היו . שוחחנו על23,24,25
צמיחה של0.75Ga0.25כמו עם צעד-מדורגים שכבות מאגר במצע gaas וגם היווצרות של ממשקים הומוגנית ונטול מחסום בין וליך נצח ו מוליך למחצה הוא צעד מכריע במעגל קוונטי 2d היברידית כגון פיתוח. זה הוכח כי עם תחריט זהיר הסרט מוליך על-ידי הרוק יכול להפוך את אנשי הקשר שקופים מאוד ב0.75Ga0.25כמו בארות הקוונטים וכתוצאה מכך זיהוי פער המושרה על ידי מוליכים למחצה23 , בת 24 , . עשרים וחמש
המשמעות ביחס לשיטות הקיימות היא כי הטכניקה המוצגת עבור 2D היברידית ומימוש מעגל אינו דורש את ההצהרה בלתי מקומית של סופר מנצח על מוליכים למחצה בחדר MBE לאחר הצמיחה מוליך למחצה כבר . הושלם23,24,25 המשמעות השנייה היא כי וופל הטרוסקסואלים ניתן לגדל כשולחן של עד 10 ס"מ קוטר, המאפשר הייצור של אלפי צמתים היברידית 2D ומעגלים, כך להתגבר על אתגרי המדרגיות של היברידית S-Sm מעגלים ומכשירים קוונטית מיכל בן 22 , מיכל בן 23 , בת 24 , . עשרים וחמש
מוליכות העל הנגרמת בבארות קוואנטים, sgs על מוליכות המשלים של הצמתים הדו, ואת התחבורה הקוונטית בליסטיים קוהרנטית הפאזה נמדד בצמתים שלנו מראים מאוד כי היברידית 2d צמתים ומעגלים מבוסס על מוליך על ב 0.75 Ga0.25כמו 2 מעלות לממן מערכת חומר מבטיח לעיבוד קוונטי מדרגי טכנולוגיות מיחשוב. הגישה שלנו עשויה לפתוח כביש חדש לכיוון טכנולוגיית קוואנטום ומסייעת לסלול את הדרך לפיתוח מעגלי הקוונטים הטופולוגי של השבב על מנת להגשים את הדור הבא של מעבדי הקוונטים23,24,25.
. למחברים אין מה לגלות
המחברים מכירים בתמיכה הפיננסית מ-EPSRC, הענק MQIC.
Name | Company | Catalog Number | Comments |
CompactDAQ Chassis | National Instruments | NI cDAC-9178 | |
DSP Lock-in Amplifier | AMETEK 7265 | 190284-A-MNL-C | |
Dilution refrigerator | Blueforce | Buttom loaded fridge | |
Dilution refrigerator | Oxford | KelvinoxMX40 | Wet-fridge |
Diamond scriber MICROTEC | Karl Suss | HR 100 | |
Dektak Surface Profilometer | Veeco | 3ST | |
Evaporator | Edwards | AUTO 306 | |
Evaporator | Edwards | Coating system E306A | |
3He Cryostat | Oxford | ||
Photoresist Spinner | Headway Research Inc. | EC101DT-R790 | |
Matlab | |||
Mask Aligner | Karl Suss | MJB 3 | |
Source meter | Keithley | 2614B | |
Semiconducting heterostructure | MBE Veeco | Gen III system | MBE Grown wafers |
Wire Bonder | K&S | 4524 |
Request permission to reuse the text or figures of this JoVE article
Request PermissionThis article has been published
Video Coming Soon
Copyright © 2025 MyJoVE Corporation. All rights reserved