ייצור ואפיון של מכשירי פיזואלקטריים במצב עובי לאטוביזציה

Summary

ייצור של התמרה במצב עובי פיזואלקטריים באמצעות התזה הנוכחי ישיר של אלקטרודות צלחת על ליתיום niobate מתואר. בנוסף, הפעולה המהימנה מושגת עם בעל מתמר ומערכת אספקת נוזלים ואפיון מומחש באמצעות ניתוח עכבה, דופלר לייזר וויברמטריה, הדמיה במהירות גבוהה, ו-droplet גודל התפלגות באמצעות פיזור לייזר.

Abstract

אנו מציגים טכניקה כדי להמציא במצב פשוט עובי מכשירים פיזואלקטריים באמצעות ליתיום niobate (in). התקנים כאלה הוכחו נוזלי האטוציזציה ביעילות רבה יותר, במונחים של שיעור הזרימה לכל קלט כוח, מאשר אלה המסתמכים על גלי ריילי ומצבים אחרים של רטט ב-LN או להוביל בחומצה טיטנאט (PZT). המכשיר המלא מורכב מתמר, בעל מתמר, ומערכת אספקת נוזלים. היסודות של הידוד נוזלי אקוסטי אינם ידועים, ולכן טכניקות לאפיון המכשירים וללימוד התופעות מתוארות גם. דופלר לייזר ויברמטריה (LDV) מספק מידע רטט חיוני השוואת מתמרים אקוסטיים, במקרה זה, מציין אם המכשיר יבצע גם רטט עובי. זה יכול לשמש גם כדי למצוא את תדירות התהודה של המכשיר, אם כי מידע זה מתקבל במהירות רבה יותר באמצעות ניתוח עכבה. האטומיזציה של נוזלים רציפה, כיישום לדוגמה, דורשת בקרת זרימה זהירה, ואנו מציגים שיטה כזו עם הדמיה במהירות גבוהה והפצת מדידות בגודל droplet באמצעות פיזור לייזר.

Introduction

האטווניזציה אולטרסאונד כבר נחקרו כמעט מאה ולמרות שיש יישומים רבים, יש מגבלות להבנת הפיסיקה הבסיסית. התיאור הראשון של התופעה נעשתה על ידי ווד ולומיס ב 1927¹, ומאז היו התפתחויות בתחום עבור יישומים החל אספקת נוזלים aerosolized² כדי הזרקת דלק³. למרות שהתופעה פועלת היטב ביישומים אלה, הפיסיקה הבסיסית אינה מובנת היטב^4,5,6.

מגבלה מפתח בתחום של אולטראסאונד אטוזציה היא הבחירה של חומר בשימוש, להוביל זיקונוס החומצה (pzt), חומר היסטראטי נוטה חימום⁷ ולהוביל זיהום עם עופרת אלמנטלים הזמינים מגבולות בין-דגנים^8,9. גודל הדגנים מאפיינים מכניים ואלקטרוניים של גבולות הדגן גם להגביל את התדירות שבה PZT יכול להפעיל¹⁰. לעומת זאת, ליתיום niobate היא ללא עופרת ומציג ללא היסטרזיס¹¹, והוא יכול לשמש כדי להפוך את הנוזלים לסדר גודל ביעילות רבה יותר מאשר אחרים רססים מסחרי¹². החתך המסורתי של ליתיום niobate המשמש לתפעול במצב עובי הוא מ36-מעלות Y לגזור מראש, אבל 127.86-מעלות Y מסובבת, X-הפצת לחתוך (128YX), בדרך כלל משמש הדור גל אקוסטי לפני השטח, הוכח שיש הזחה משטח גבוה יותר בהשוואה^{לגזור 36} -מעלות זה גם הוכח כי הפעולה מצב עובי מציע סדר של שיפור בגודל ביעילות atomizer ב על מצבים אחרים של רטט¹³, גם בעת שימוש ב-LN.

תדירות התהודה של מכשיר פיזואלקטריים הפעלה במצב עובי נשלטת על ידי עובי שלה t: את אורך הגל λ = 2t/n כאשר n = 1, 2,... הוא מספר הצמתים. עבור מצע עבה 500 יקרומטר, זה מתאים לאורך הגל של 1 מ"מ עבור מצב היסוד, אשר ניתן להשתמש בו כדי לחשב את תדירות התהודה הבסיסית, f = v/λ אם מהירות הגל, v, ידוע. מהירות הקול באמצעות עובי של 128YX LN היא כ 7,000, ולכן f = 7 MHz. בניגוד לצורות אחרות של רטט, במיוחד מצבים מאוגדים למשטח, זה פשוט לרגש גבוה יותר הרמוניה מצב עובי הרמוני לתדרים גבוהים בהרבה, כאן כדי 250 MHz או יותר, אם כי רק מצבים אי-זוגיים ממוספרים יכול להיות נרגש על ידי שדות חשמליים אחיד¹⁴. כתוצאה מכך, ההרמוניה השני (n = 2) ליד 14 mhz לא יכול להיות נרגש, אבל הרמוני השלישי ב 21 mhz (n = 3) יכול. ייצור של התקנים יעילים במצב עובי מחייב הפקדת אלקטרודות על פרצופים מנוגדים של מתמר. אנו משתמשים הזרם הנוכחי (DC) העומס כדי להשיג את זה, אבל העדות קרן אלקטרון ושיטות אחרות ניתן להשתמש. ניתוח עכבה שימושי כדי לאפיין את המכשירים, במיוחד במציאת תדרי התהודה וצימוד אלקטרו-מכאני בתדרים אלה. דופלר לייזר ויברמטריה (LDV) שימושי כדי לקבוע את משרעת רטט הפלט ומהירות ללא מגע או כיול¹⁵, ו, באמצעות סריקה, ldv מספק את ההתפלגות המרחבית של המשטח דפורמציה, חשיפת מצב של רטט הקשורים תדר נתון. בסופו של דבר, למטרות לימוד הדינמיקה האטומית ומתן, הדמיה במהירות גבוהה יכול להיות מועסק כטכניקה כדי ללמוד את ההתפתחות של גלי קפילר על פני השטח של שחרור sessile^16,17. ב האטומיזציה, כמו תופעות רבות אחרות, טיפות קטנות מיוצרות בקצב מהיר, למעלה מ-kHz במיקום נתון, מהר מדי עבור מצלמות במהירות גבוהה כדי להתבונן בנאמנות מספקת ובשדה התצוגה כדי לספק מידע שימושי על פי גודל מספיק גדול של droplet. פיזור לייזר עשוי לשמש למטרה זו, העברת טיפות דרך קרן לייזר מורחבת (Mie) פיזור כמה אור בהשתקפות ושבירה כדי לייצר אות אופייני שעשוי לשמש להערכת סטטיסטית התפלגות גודל droplet.

זה פשוט להמציא פיזואלקטריים במצב עובי מדידה, אבל את הטכניקות הדרושות המכשיר ואפיון האטווניזציה לא הוכרז בבירור בספרות עד היום, התקדמות מתוך המשמעת. על מנת מתמר מצב עובי להיות יעיל במכשיר האטווניזציה, זה חייב להיות מבודד מכני, כך הרטט שלה הוא לא החומר הנוזלי והוא חייב להיות אספקת נוזלים רציפה עם קצב הזרימה שווה לקצב האטווניזציה, כך שאין התייבשות או הצפה להתרחש. שני שיקולים מעשיים אלה לא היו מכוסים ביסודיות בספרות משום שהפתרונות שלהם הם תוצאה של טכניקות הנדסיות ולא חדשנות מדעית טהורה, אך הם מאוד קריטיים לחקר התופעה. אנו מציגים מחזיק מתמר הרכבה ומערכת החירור נוזל כפתרונות. פרוטוקול זה מציע גישה שיטתית לייצור ואפיון ה, להקלה על מחקר נוסף בפיסיקה הבסיסית ובמגוון יישומים.

Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.

Protocol

1. מתמר במצב עובי ייצור באמצעות התזה DC

1. תכשיר וופל
   1. מניחים 100 מ"מ 128YX בתוך וופל בצלחת זכוכית נקייה של לפחות 125 מ"מ קוטר. Sonicate וופל ב לפחות 200 mL של אצטון עבור 5 דקות.
   2. חזרו על הsonication עם אלכוהול איזופרופילי ושוב עם מים מפולים במשך 5 דקות.
   3. להסיר מים גלויים מן המשטח באמצעות חנקן יבש.
   4. להסיר לחלוטין את המים מן המשטח על ידי הצבת וופל על פלטה ב 100 ° c עבור 5 דקות. ודא כי יש גיליון של רדיד אלומיניום על פלטת המים כי זה עוזר בפיזור של הצטברות המטען על הפרוסת.
2. תצהיר של אלקטרודה
   1. מניחים את הפרוסת וופל בחדר הריק של מערכת התצהיר הספריות ומשאבה במורד החדר כדי 5 x 10^-6 mTorr. הגדר את הלחץ הארגון כדי 2.3 mTorr ואת מהירות הסיבוב כדי 13 סל ד.
      הערה: אם נעשה שימוש בפרמטרים עבור המכשיר המסוים שנוצרו כתוצאה מסרטים איכותיים, השתמש באלה במקום זאת.
   2. הפקדה 5-10 ננומטר של טיטניום בשעה 1.2-1.6 A/s.
      הערה: לפני תחילת תהליך זה עם וופל המיועד, לבדוק את שיעור התצהיר עם כוח פלזמה להגדיר 200 W והפקדת עבור 1 דקות. לאחר מכן, מדדו את גובה השכבה בעזרת מד-זווית. עשה זאת בנפרד עבור כל מתכת. הגדר את העוצמה לפי בדיקה זו כדי להשיג את שיעור התצהיר שצוין.
   3. הפקדה 1-1.2 יקרומטר של זהב ב 7 עד 9 A/s.
      הערה: התצהיר בשיעור גבוה יותר בשל כוח פלזמה מוגבר או לחץ חלקי של ארגון מוגבר עשוי להפחית את איכות הסרט.
   4. הסר את הפרוסת וופל 1.2.1 ל1.2.3 עבור הצד השני של הפרוסת.
3. קוצצת
   1. השתמש במסור מסור לקוביות וופל כולו לפי הצורך.
      הערה: ניתן להחיל התנגדות מגן על המצע לפני הקוצצת, ואת המערכת (הטבלה של חומרים) משמש כאן מיישם סרט UV לריפוי רק לפני הדגימות נטען על הבמה. הוא נמצא כי הקוצצת את הדגימות עם מסור הנקרא אוטומטית אינו מסכן את שלמות הדגימות. ניתן לזהות את הסופר הידני של LN, אם כי מייגע ומועדים לחוסר עקביות.

2. יצירת קשר חשמלי ומכני עם מתמר

הערה: מספר שיטות מתוארות להלן (שלבים 2.1-2.4), והיא מודגשת מאוחר יותר בפרוטוקול שהשיטה מתאימה ביותר לכל צעד אחריו.

1. מניחים מתמר קצוץ על צלחת פלדה מגנטית. הר אחד פוגו-לחקור במגע עם הצלחת ועוד פוגו-לחקור במגע עם המשטח העליון של מתמר. לאחר מכן זה נקרא ליצור לוחית פוגו.
2. מניחים את התמר בין שני ברגשים פוגו. להלן התייחסו למגע פוגו-פוגו.
3. תיל הלחמה לכל פנים של מתמר. להלן המכונה קשר הלחמה.
4. להרכיב בעל מתמר מותאם אישית.
   1. הזמנת לוחות מעגלים מודפסים מותאמים אישית (Pcb) אשר קבצי ה-גרבר סופקו.
   2. הלחמה שני פני השטח הר אנשי קשרהאביב (טבלת חומרים) לכל PCB מותאם אישית. לחץ להתאים את הקוצים לתוך החורים מצופים על Pcb מותאם אישית, כך שהם מצביעים הרחק זה מזה.
   3. חבר את שני Pcb המותאם אישית עם מרווח וברגים של לוח כך שאנשי הקשר יהיו בקשר ביניהם. כוונן את הריווח עם דיסקיות מפלסטיק במידת הצורך.
   4. שקופית 3 מ"מ x 10 מ"מ מתמר בין זוג פנימי של אנשי קשר. גזור את אנשי הקשר החיצוניים כך שלא לקצר את המעגל.
      הערה: איור 1 מציג את ההרכבה כולה.

3. זיהוי תדר תהודה באמצעות ניתוח עכבה

1. ודא שבוצעה כיול יציאה בהתאם להוראות היצרן עבור שיטת איש הקשר הספציפית הנמצאת בשימוש.
2. חבר מתמר ליציאה הפתוחה של מנתח הרשת (טבלת חומרים) עם אחת משיטות הקשר המתוארות בשלבים 2.1-2.4.
   הערה: ניתן לאלף לחזור על ניתוח זה עם שיטות מרובות של אנשי קשר חשמליים ולהשוות את התוצאות.
3. בחר את הפרמטר מקדם השתקפות, s11, באמצעות ממשק המשתמש של מנתח הרשת, בחר את טווח השכיחות של הריבית, ובצע את לסרוק את התדר.
   הערה: s11 הוא מקדם השתקפות הקלט ויש לו ערך מינימלי בתדירות התהודה של הפעולה. עבור 500 טיפוסי יקרומטר בעובי 128 בתוך וופל, תדר התהודה העיקרי יהיה קרוב ל -7 mhz וההרמוניה השנייה תהיה קרובה ל -21 מגה-הרץ, כפי שמודגם באיור 2. העלילה העכבה בחלל התדר המוצג על המכשיר יציג קיצון מקומית בתדרי התהודה.
4. יצא את הנתונים על-ידי בחירת שמירה/אחזור | שמור נתוני מעקב על ממשק המשתמש לבדיקה מקרוב באמצעות תוכנת עיבוד נתונים כדי לזהות את המיקומים קיצון מדויק.

4. אפיון רטט באמצעות LDV

1. מניחים מתמר בקשר לוחית פוגו על הבמה LDV. חבר את הפוגו-בדיקה המובילה למחולל האותות. ודא כי המטרה בשימוש נבחרה בתוכנת הרכישה (טבלת חומרים) והדגש את המיקרוסקופ על פני השטח של מתמר.
2. הגדירו את נקודות הסריקה על-ידי בחירה באפשרות ' הגדר נקודות סריקה ' או המשיכו לשלב 4.3 אם תבצעו סריקה רציפה.
3. בחר באפשרות ההגדרות ותחת הכרטיסיה כללי , בחר באפשרות FFT or Time , בהתאם לעובדה שהסריקה מבוצעת בתחום התדר או הזמן. בחר את מספר הממוצעים בסעיף זה.
   הערה: מספר הממוצעים משפיע על זמן הסריקה. חמישה ממוצעים עבור המתמרים המתוארים בפרוטוקול זה הראו להעניק יחס אות/רעש מספיק.
4. בכרטיסיה ערוץ , ודא שהתיבות הפעילות נבדקות, המתאימות להפניה ולאות המשתקף מהתמר. כוונן את ערוצי הייחוס והאירועים על-ידי בחירת ערך מתח מהתפריט הנפתח כדי להשיג עוצמת אות מקסימלית מהמצע.
5. בכרטיסיה מחולל , אם המדידה מבוצעת תחת אות תדר יחיד, בחר סינוס מתוך הרשימה הנפתחת של צורת גל ; אם הוא מתחת לאות להקה, בחר באפשרות מרובה-מסלולי cw.
6. שנה את רוחב הפס ואת שורות FFT בכרטיסיה תדירות כדי לכוונן את רזולוציית הסריקה עבור סריקת תחום תדירות. באופן דומה, שנה את התדירות לדוגמה בכרטיסיה זמן בעת ביצוע מדידות של תחום זמן.
   הערה: רוחב הפס המשמש בדרך כלל הוא 40 MHz ומספר השורות FFT הוא 32,000. ניתן להשתמש בתוכנת המצגת (טבלת חומרים) כדי לעבד ולנתח את הנתונים שהתקבלו מהסריקה. ספקטרום תזוזה אופייני מסופק באיור 3.

5. אספקת נוזלים

1. להשיג 25 מ"מ הפתיל קוטר 1 מ"מ מורכב צרור של סיבים של פולימר הידרופילי שנועד להעביר נוזל מימית לאורך אורכו כגון אלה הזמינים עבור plug-in מטהרי אוויר. חתוך קצה אחד שנוצר מנקודת מרכז.
2. הכניסו את הפתיל לתוך מזרק בקוטר פנימי המספק התאמה מתאימה ואורך המאפשר לפתיל להאריך 1-2 מ"מ מעבר לכל קצה. נעל את הקצה על מזרק עם הקיבולת הרצויה (1-10 מ"ל).
3. הר הפתיל/מזרק הרכבה כך הפתיל הוא 10 °-90 ° מ אופקי (בהתאם לקצב החומר האנכי הרצוי, אשר גם תלוי מתח הוחל) ואת הקצה של הפתיל הוא רק במגע עם קצה של מתמר כפי שמוצג באיור 1C.
4. למלא את המזרק עם מים ולהחיל אות מתח רציפה (החל עם 20 Vpp) בתדר התהודה נקבע באמצעות מנתח עכבה. התאימו את רמת המתח עד שהנוזל יהיה מאוזן ברציפות מבלי שהמכשיר מוצף או מתייבש.

6. התבוננות בדינמיקה באמצעות הדמיה במהירות גבוהה

1. בצורה נוקשה מצלמה במהירות גבוהה אופקית על הטבלה האופטית, מקום מתמר במגע פוגו פוגו או בקשר פוגו-צלחת על הבמה x-y-z ליד אורך המוקד של המצלמה, ומיקום מקור אור מפוזר לפחות אורך מוקד אחד בצד הנגדי של מתמר מהמצלמה.
2. ליצירת קשר פוגו-פוגו, הצב את אספקת הנוזלים כך שהיא לא תחסום את תצוגת המצלמה או את מקור האור. ליצירת קשר עם לוחית פוגו, החל נוזל ישירות על המצע עם פיפטה.
3. כוונן את מוקד המצלמה ואת מיקום x-y-z כדי להביא את דגימת הנוזל למוקד חדות.
4. העריכו את תדירות התופעה הספציפית שנלמדת בהתבסס על הספרות. בחר קצב מסגרות לפחות פי שניים מתדר זה בהתאם לקצב נייקוויסט כדי להימנע מהחלקה.
   הערה: לדוגמה, שקול גלי נימי המתרחשים בירידה מלאה בטווח תדרים. מצלמות מוגבלות ברזולוציה מרחבית יכול רק להבחין גלים עם משרעת מינימלית. במקרה זה משרעת המינימום מתרחשת סביב 4 kHz כך קצב מסגרת של 8,000 מסגרות לשנייה (fps) נבחר.
5. כוונן את עוצמת האור, את תריס המצלמה, או את שניהם כדי לייעל את הניגוד בין הנוזל לבין הרקע.
   הערה: ניתן להוסיף לנוזל צבע אטום כדי להגביר את הניגודיות.
6. חברו את קליפי התנין ממחולל האותות הוגבר אל מוביל הגששים-פוגו.
7. לכידת וידאו בתוכנת המצלמה בו עם הופעה באמצעות אות מתח או על ידי הפעלה ידנית הן באותו זמן או על ידי חיבור פלט ההדק ממחולל אותות למצלמה.
   הערה: קצב המסגרות האופייני המשמש הוא 8,000 fps ומטרה CF4 משמש.
8. שמור רק את המסגרות המכילות את התופעה כדי למנוע אחסון מבוזבז, הרלוונטי במיוחד לתעריפי מסגרת גדולים, כדי להפיק תוצאה כמוצג באיור 4.
   הערה: הקפד לשמור את הקובץ בתבנית התואמת לתוכנת עיבוד התמונה של הבחירה כך שניתן יהיה לחלץ נתונים שימושיים.

7. מדידת גודל Droplet באמצעות ניתוח פיזור לייזר

1. מערכת פיזור לייזר (טבלת חומרים) יש מודול שמעביר את הלייזר ואחד שמקבל את האות לייזר מפוזרים. הצב את המודולים לאורך המסילה המסופקת עם המערכת, עם פער של 20 עד 25 ס מ ביניהן.
2. הר מאוד פלטפורמה בפער זה, כך, כאשר הרכבות מתמר ואספקת נוזלים מונחים על זה, ערפל אטומי יהיה נפלט לתוך הנתיב קרן לייזר. להקל על יישור זה על-ידי הפעלת קרן הלייזר באמצעות בחירת כלים | בקרת לייזר. .. | . לייזר כאינדיקטור חזותי
3. תקן את מחזיק מתמר על הפלטפורמה ולתקן את מכלול אספקת הנוזלים לזרוע שנוסח (טבלת חומרים). הצב את מכלול אספקת הנוזלים כך שקצה הפתיל הוא רק במגע עם קצה התמר.
4. צור פרוצדורת הפעלה סטנדרטית (SOP) בתוכנה על-ידי לחיצה על סמל ה- sop החדש . קבע את תצורת ה-SOP עם ההגדרות הבאות: תבנית = ברירת מחדל רציפה, תקופת דגימה (s) = 0.1, תחת טיפול בנתונים, לחץ על עריכה... והגדר בפרופיל תרסיס | אורך הנתיב (mm) כדי 20.0, לחץ על אזעקות כדי לבטל את סימון השתמש בערכי ברירת המחדל ולהגדיר מינימום שידור (%) - 5 ו- 1 ולהגדיר מינימום פיזור כדי 50 ו 10. השאר את כל ההגדרות האחרות כברירות מחדל.
   הערה: עיין במדריך התוכנה שצורף לכלי הנגינה.
5. הפעל את המדידה בתוך התוכנה על-ידי לחיצה על מדידה | הפעל את sop ובחירת ה-sop שנוצר בשלב 7.4. המתן עד שכיול הרקע יושלם. ממלאים את מאגר אספקת הנוזלים, המזרק, עם מים עד לרמה הרצויה ולשים לב לנפח. הפעל את אות המתח כדי להתחיל להפעיל את הנוזל. הפעל את סטופר ולהתחיל את המדידה על ידי לחיצה על התחל.
6. התוכנה מייצרת התפלגות גודל בהתבסס על האות לייזר מפוזרים במקלט בשל התיאוריה של Mie ו אלגוריתם פיזור מרובים. לאחר הנפח הרצוי של נוזל כבר האטומה, לכבות את אות מתח, לעצור את סטופר, ולהקליט את הנפח הסופי, ולהפסיק את הקלטת נתונים על ידי לחיצה על stop.
   הערה: מערכת פיזור הלייזר מסוגלת למדוד מעט כמו 1 μL של נוזל ואין לו מגבלה עליונה עבור נפח נוזל. ניתן פשוט לחשב את קצב הזרימה האטוביזציה על-ידי חלוקת אמצעי האחסון במשך הזמן.
7. בהיסטוגרמה למדידה, בחרו בחלק הנתונים שבמהלכו מתרחשות האטווניזציה כמצופה, והאות במקלט היה חזק דיו כדי להיות משמעותי מבחינה סטטיסטית. לחץ על ממוצע | Ok כדי ליצור התפלגות המבוססת על הנתונים שנבחרו.
   הערה: כל המדידות עם טכניקה זו הן ממוצעים סטטיסטיים ולכן, אם יש מעט טיפות, אז האות הפזורים יהיה חלש, והמדידה תהיה משמעות סטטיסטית.
8. שמור את ההתפלגות הממוצעת על-ידי בחירת החלון ולחיצה על עריכה | העתק טקסט ולאחר מכן הדבקת התוצאה בקובץ טקסט ושמירתו עם שם מתאים.
   הערה: ניתן להשתמש כעת בנתוני הפצה אלה עם תוכנות אחרות (לדוגמה, MATLAB) כדי ליצור את ההתוויה באיור 5.

Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.

תוצאות

מצב עובי פיזואלקטריים התקנים היו מפוברק מ-128 ליתיום niobate. איור 1 מראה הרכבה מלאה להחזיק את מתמר במקום עם בעל מתמר מותאם אישית בשימוש עם מערכת האספקה פסיבי נוזלים שפותחה עבור האטוזציה רציפה. צעדי האפיון של התקנים אלה כוללים קביעת תדירות התהודה וההרמוניה באמצעות מנתח עכבה (

Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.

Discussion

הממדים ואת יחס הגובה של מתמר משפיע על מצבי רטט שהוא מייצר. בגלל הממדים לרוחב הם סופיים, יש תמיד מצבי לרוחב בנוסף מצבי עובי הרצוי. ניתן להשתמש בשיטות LDV לעיל כדי לקבוע מצבים דומיננטיים בטווח התדרים הרצוי עבור מתמר נתון. ריבוע עם ממדים מתחת 10 מ"מ בדרך כלל נותן קירוב קרוב למצב עובי. שלושה על ידי ?...

Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.

Materials

Name	Company	Catalog Number	Comments
Amplifier	Amplifier Research, Souderton, PA, USA	5U1000
Articulating arm	Fisso, Zurich, Switzerland
CF4 Objective	Edmund Optics, Barrington, NJ, USA		Objective used for high speed imaging
Dicing saw	Disco, Tokyo, Japan	Disco Automatic Dicing Saw 3220
Fiber Fragrance Diffuser Wick	Weihai Industry Co., Ltd., Weihai, Shandong, China	https://www.weihaisz.com/Fiber-Fragrance-Diffuser-Wick_p216.html
High Speed Camera	Photron, San Diego, USA	Fastcam Mini
Laser Doppler Vibrometer	Polytec, Waldbronn, Germany	UHF120	Non-contact laser doppler vibrometer
Laser Scattering Droplet size measurement system	Malvern Panalytical, Malvern, UK	STP5315
Lithium niobate substrate	PMOptics,Burlington, MA, USA	PWLN-431232	4” double-side polished 0.5 mm thick 128°Y-rotated cut lithium niobate
Luer-lock syringes	Becton Dickingson, New Jersey, USA
Nano3 cleanroom facility	UCSD, La Jolla, CA, USA		Fabrication process is performed in it.
Network Analyzer	Keysight Technologies, Santa Rosa, CA, USA	5061B
Oscilloscope	Keysight Technologies, Santa Rosa, CA, USA	InfiniiVision 2000 X-Series
PSV Acquistion Software	Polytec, Waldbronn, Germany	Version 9.4	LDV Software
PSV Presentation Software	Polytec, Waldbronn, Germany	Version 9.4	LDV Software
Signal generator	NF Corporation, Yokohama, Japan	WF1967 multifunction generator
Single Post Connector	DigiKey, Thief River Falls, MN	ED1179-ND
Sputter deposition	Denton Vacuum, NJ, USA	Denton 18	Denton Discovery 18 Sputter System
Surface Mount Spring Contacts	DigiKey, Thief River Falls, MN	70AAJ-2-M0GCT-ND
Teflon wafer dipper	ShapeMaster, Ogden, IL, USA	SM4WD1	Wafer Dipper 4"
XYZ Stage	Thor Labs, Newton, New Jersey, USA	MT3	Optical table stages