Per iniziare, rimuovere lo scudo in alluminio dalla pistola e posizionare il materiale target al centro del coperchio. Serrare saldamente il coperchio sul supporto del magnetron e riattaccare lo schermo in alluminio. Avvolgere il corpo della camera, le pistole e il portacampioni con un foglio di alluminio.
Utilizzando un multimetro, verificare la presenza di un circuito di smistamento tra i corpi della camera, il corpo della camera e la pistola, e il corpo della camera e il bersaglio. Quindi chiudere la porta e avviare il processo di aspirazione nella camera per 15-30 minuti. All'inizio dell'aspirazione, premere saldamente la porta e il corpo insieme per garantire una tenuta ermetica.
Monitorare il manometro per confermare una diminuzione della pressione. Ora attiva il sistema di raffreddamento e impostalo a 15 gradi Celsius. Accendere i pulsanti della pompa e della refrigerazione e aprire la valvola collegata allo strumento di sputtering.
Ora regola il flusso di gas argon a quattro centimetri cubi standard al minuto e attiva l'interruttore a levetta del gas. Impostare la velocità di rotazione su 10 giri/min e accendere l'interruttore a levetta di rotazione. Premere il pulsante di accensione per attivare il controller di rete di corrispondenza automatica e l'alimentazione a radiofrequenza.
Sul controller di rete a corrispondenza automatica, utilizzare il pulsante min/max, regolare il carico e sintonizzare al 50% ciascuno. Quindi cambia la modalità da manuale ad automatica. Sull'alimentatore a radiofrequenza, impostare la potenza a radiofrequenza a 50 watt e premere il pulsante di avvio.
Impostare il timer per 15 minuti. Quindi spegnere l'alimentazione RF e la rotazione. Impostare il flusso di argonne a zero e spegnere l'interruttore a levetta.
Dopodiché, spegni l'aspirapolvere. Assicurarsi di spegnere la pompa turbomolecolare prima di sfiatare la camera per evitare danni. Successivamente, aprire la camera e caricare i substrati preparati nell'angolo esterno del portacampioni rotante per una deposizione ottimale.
Chiudere lo sportello della camera e aspirare per almeno sei ore. Attivare il sistema di raffreddamento come mostrato in precedenza e aprire la valvola collegata allo strumento di sputtering. Impostare la velocità di rotazione, il flusso di argon, il controller di rete di corrispondenza automatica e la frequenza radio come dimostrato in precedenza.
Premere il pulsante di avvio, quindi ispezionare la camera per verificare la presenza di plasma. Aumentare gradualmente la potenza RF di cinque watt ogni 10 secondi fino a raggiungere i 75 watt. Impostare il timer per 60 minuti Successivamente, spegnere l'alimentazione a radiofrequenza e il sistema di rotazione.
Spegnere anche il controller di rete di corrispondenza automatica e l'alimentazione a radiofrequenza. Regolare il flusso di gas argon a zero e spegnere l'interruttore a levetta del gas. Quindi spegnere l'aspirapolvere e ventilare la camera per aprirla.
Usando una pinzetta, rimuovere tutti i campioni dalla camera e metterli in una capsula di Petri pulita. Pulire la camera e aspirarla per 10-15 minuti per mantenere una condizione di vuoto priva di impurità.
