まず、ガンからアルミシールドを取り外し、ターゲット材料をカバーの中央に配置します。マグネトロンホルダーのカバーをしっかりと締め、アルミシールドを再度取り付けます。チャンバー本体、ガン、サンプルホルダーをアルミホイルで包みます。
マルチメーターを使用して、チャンバー本体、チャンバー本体とガン、およびチャンバー本体とターゲットの間のソート回路をチェックします。次に、ドアを閉め、チャンバー内で15〜30分間真空引きプロセスを開始します。掃除機をかけ始めたら、ドアと本体をしっかりと押して、しっかりと密閉します。
圧力計を監視して、圧力の低下を確認します。次に、クーラーシステムをアクティブにして、摂氏15度に設定します。ポンプと冷凍ボタンをオンにし、スパッタリング装置に接続されているバルブを開きます。
次に、アルゴンガスの流量を毎分4標準立方センチメートルに調整し、ガストグルスイッチを作動させます。回転速度を10RPMに設定し、回転トグルスイッチをオンにします。電源ボタンを押して、自動マッチングネットワークコントローラーと無線周波数電源をアクティブにします。
自動マッチングネットワークコントローラーで、最小/最大ボタンを使用し、負荷を調整し、それぞれ50%に調整します。次に、モードを手動から自動に切り替えます。無線周波数電源装置で、無線周波数電力を 50 ワットに設定し、スタート ボタンを押します。
タイマーを15分に設定します。次に、RF電源と回転をオフにします。アルゴンヌフローをゼロに設定し、トグルスイッチをオフにします。
その後、掃除機のスイッチを切ります。損傷を防ぐために、チャンバーを通気する前にターボ分子ポンプをオフにしてください。次に、チャンバーを開き、準備した基板を回転するサンプルホルダーの外側の角にロードして、最適な堆積を実現します。
チャンバーのドアを閉め、最低6時間真空にします。先ほどのようにクーラーシステムを作動させ、スパッタリング装置に連動したバルブを開きます。前に示したように、回転速度、アルゴンフロー、自動マッチング、ネットワークコントローラー、および無線周波数を設定します。
スタートボタンを押してから、チャンバーにプラズマが存在するかどうかを調べます。RF 電力が 75 ワットに達するまで、10 秒ごとに 5 ワットずつ段階的に増やします。タイマーを60分に設定しますその後、無線周波数電源と回転システムをオフにします。
また、自動マッチングネットワークコントローラと無線周波数電源をシャットダウンします。アルゴンガスの流れをゼロに調整し、ガストグルスイッチをオフにします。次に、真空のスイッチを切り、チャンバーを換気して開きます。
ピンセットを使用して、チャンバーからすべてのサンプルを取り出し、清潔なペトリ皿に入れます。チャンバーを清掃し、10〜15分間真空にして、不純物のない真空状態を維持します。
