시작하려면 건에서 알루미늄 실드를 제거하고 대상 재료를 덮개 중앙에 놓습니다. 마그네트론 홀더의 덮개를 단단히 조이고 알루미늄 실드를 다시 부착합니다. 챔버 본체, 건 및 샘플 홀더를 알루미늄 호일로 감쌉니다.
멀티미터를 사용하여 챔버 본체, 챔버 본체와 총, 챔버 본체와 표적 사이의 정렬 회로를 확인합니다. 그런 다음 문을 닫고 챔버에서 15-30분 동안 진공 청소기로 청소하는 과정을 시작합니다. 진공 청소를 시작할 때 도어와 본체를 함께 단단히 눌러 단단히 밀봉하십시오.
압력 게이지를 모니터링하여 압력 감소를 확인합니다. 이제 쿨러 시스템을 활성화하고 섭씨 15도로 설정하십시오. 펌프와 냉동 버튼을 켜고 스퍼터링 기기에 연결된 밸브를 엽니다.
이제 아르곤 가스 유량을 분당 4 표준 입방 센티미터로 조정하고 가스 토글 스위치를 활성화하십시오. 회전 속도를 10RPM으로 설정하고 회전 토글 스위치를 켭니다. 전원 버튼을 눌러 자동 매칭 네트워크 컨트롤러와 무선 주파수 전원 공급 장치를 활성화합니다.
자동 매칭 네트워크 컨트롤러에서 최소/최대 버튼을 사용하여 부하를 조정하고 각각 50%로 조정합니다. 그런 다음 모드를 수동에서 자동으로 전환합니다. 무선 주파수 전원 공급 장치에서 무선 주파수 전원을 50와트로 설정하고 시작 버튼을 누릅니다.
타이머를 15분으로 설정합니다. 그런 다음 RF 전원 및 회전을 끕니다. 아르곤 유량을 0으로 설정하고 토글 스위치를 끕니다.
그런 다음 진공 청소기를 끄십시오. 손상을 방지하기 위해 챔버를 환기시키기 전에 터보 분자 펌프를 끄십시오. 다음으로, 챔버를 열고 최적의 증착을 위해 회전하는 샘플 홀더의 바깥쪽 모서리에 준비된 기판을 로드합니다.
챔버 도어를 닫고 최소 6시간 동안 진공 청소기로 청소합니다. 앞과 같이 쿨러 시스템을 활성화하고 스퍼터링 기기에 연결된 밸브를 엽니다. 앞에서 설명한 대로 회전 속도, 아르곤 흐름, 자동 일치 네트워크 컨트롤러 및 무선 주파수를 설정합니다.
시작 버튼을 누른 다음 챔버에 플라즈마가 있는지 검사합니다. RF 전력이 75와트에 도달할 때까지 10초마다 5와트씩 점진적으로 증가시킵니다. 타이머를 60분으로 설정 그런 다음 무선 주파수 전원과 회전 시스템을 끕니다.
또한 자동 매칭 네트워크 컨트롤러와 무선 주파수 전원 공급 장치를 종료합니다. 아르곤 가스 유량을 0으로 조정하고 가스 토글 스위치를 끕니다. 그런 다음 진공 청소기를 끄고 챔버를 환기시켜 엽니다.
핀셋을 사용하여 챔버에서 모든 샘플을 제거하고 깨끗한 페트리 접시에 넣습니다. 챔버를 청소하고 불순물이 없는 진공 상태를 유지하기 위해 10-15분 동안 진공 청소기로 청소합니다.
