Для начала снимите алюминиевый экран с пистолета и поместите целевой материал в центр крышки. Надежно затяните крышку на держателе магнетрона и снова прикрепите алюминиевый экран. Оберните корпус камеры, пистолеты и держатель образца алюминиевой фольгой.
С помощью мультиметра проверьте схему сортировки между корпусами патронников, корпусом патронника и пушкой, а также корпусом патронника и мишенью. Затем закройте дверцу и начните процесс вакуумирования в камере в течение 15-30 минут. В начале уборки плотно прижмите дверцу и кузов друг к другу, чтобы обеспечить плотное прилегание.
Следите за показаниями манометра, чтобы подтвердить снижение давления. Теперь активируйте систему кулера и установите ее на 15 градусов по Цельсию. Включите насос и кнопки охлаждения и откройте клапан, подключенный к прибору для распыления.
Теперь отрегулируйте расход газа аргона до четырех стандартных кубических сантиметров в минуту и активируйте газовый тумблер. Установите скорость вращения на 10 об/мин и включите тумблер вращения. Нажмите кнопку питания, чтобы активировать автоматический согласованный сетевой контроллер и радиочастотный источник питания.
На сетевом контроллере с автоматическим согласованием используйте кнопку min/max, отрегулируйте нагрузку и настройте на 50% каждый. Затем переключите режим с ручного на автоматический. На радиочастотном блоке питания установите радиочастотную мощность на 50 Вт и нажмите кнопку пуска.
Установите таймер на 15 минут. Затем отключите радиочастотное питание и вращение. Установите расход аргонна на ноль и выключите тумблер.
После этого выключите пылесос. Обязательно выключите турбомолекулярный насос перед вентиляцией камеры, чтобы предотвратить повреждение. Затем откройте камеру и загрузите подготовленные субстраты во внешний угол вращающегося держателя образца для оптимального осаждения.
Закройте дверцу камеры и пылесосьте не менее шести часов. Активируйте систему охлаждения, как показано ранее, и откройте клапан, связанный с инструментом для распыления. Установите скорость вращения, поток аргона, автоматическое согласование сетевого контроллера и радиочастоты, как показано ранее.
Нажмите кнопку запуска, затем осмотрите камеру на наличие плазмы. Постепенно увеличивайте мощность РЧ на пять ватт каждые 10 секунд, пока она не достигнет 75 Вт. Установите таймер на 60 минут После этого отключите радиочастотное питание и систему вращения.
Также отключите автоматический согласованный сетевой контроллер и радиочастотный источник питания. Отрегулируйте расход аргона до нуля и выключите газовый тумблер. Затем выключите пылесос и проветрите камеру, чтобы открыть ее.
С помощью пинцета извлеките все образцы из камеры и поместите их в чистую чашку Петри. Очистите камеру и пылесосьте ее в течение 10–15 минут, чтобы поддерживать вакуум без загрязнений.
