एकल अंक नैनोमीटर इलेक्ट्रॉन-बीम एक वाकया के साथ लिथोग्राफी-सही स्कैनिंग संचरण इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप

हम इलेक्ट्रॉन के विस्तार का प्रदर्शन-बीम लिथोग्राफी एक विचलन को रोजगार द्वारा एक अंक नैनोमीटर आयामों को पारंपरिक विरोध और पैटर्न हस्तांतरण प्रक्रियाओं का उपयोग कर-जोखिम उपकरण के रूप में संचरण इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप स्कैनिंग सही । यहां, हम दो व्यापक रूप से इस्तेमाल किया इलेक्ट्रॉन बीम का विरोध करता है के एकल अंक नैनोमीटर पैटर्न के परिणाम प्रस्तुत: पाली (मिथाइल methacrylate) और हाइड्रोजन silsesquioxane । विधि में पॉली (मिथाइल methacrylate) और हाइड्रोजन silsesquioxane में उप-10 नैनोमीटर रेजोल्यूशन के उप-5 नैनोमीटर फीचर्स प्राप्त होते हैं । चुनाव के लक्ष्य सामग्री में इन नमूनों की उच्च निष्ठा हस्तांतरण का उपयोग किया जा सकता है धातु लिफ्ट बंद, प्लाज्मा खोदना, और organometallics के साथ घुसपैठ का विरोध ।