Kapasitif basınç sensörünü monte etmek için, yumuşak elektrodu ara ditjijasyonlu bir saçak efekti tasarımıyla imal edin. Platin silikon esnek köpüğün iki bileşenini bire bir ve altıya bir ağırlık oranlarında karıştırın ve iki dökme boyutuna sahip yumuşak silikon köpüğün dielektrik katmanlarını hazırlamak için hızlıca karıştırın. Karışımı 3D baskılı bir kalıba dökün ve birkaç delikli bir tahta kullanarak örtün.
Karışım kürlendikten sonra, deliklerden gelen silikon köpüğü kesin ve tahtayı çıkarın. Son olarak, basınç sensörü imalatını tamamlamak için hazırlanan dielektrik köpüğü birbirine dikilileştirilmiş yumuşak elektrot tabakasına yerleştirin. 200 mikrometre hat genişliğine sahip cihaz, daha güçlü bir saçak alanı etkisi nedeniyle daha yüksek bir hassasiyete sahipti.
Ve daha yüksek bir parça A ila Kısım B ağırlık oranına sahip köpük, daha düşük bir hava fraksiyonuna sahip köpükten daha yüksek hassasiyete sahipti. Döngüsel bir test, üretilen yumuşak kapasitif sensörün 1000 döngüsel basınç yüklemesi ile yüksek tekrarlanabilirliği koruduğunu ortaya koymuştur.
