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03:40 min
October 13th, 2023
DOI :
10.3791/200771-v
Transcript
まず、マイクロ流体チャネル設計用のSU8マスターシリコンウェーハをプラスチック製の14センチメートルペトリ皿の内側にテープで貼り付け、窒素ガスで洗浄します。紙コップにポリジメチルシロキサン(PDMS塩基とPDMS硬化剤)を適量ずつ秤量します。木のヘラを使って、白く濁るまで混ぜます。
PDMS混合物をシリコンウェーハを含むプラスチックシャーレに注ぎます。次に、シャーレを三方活栓を備えた真空デシケーターに入れます。活栓のバルブを回して真空をデシケーターチャンバーに接続し、混合物から
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