Формирование толстых плотных железоиттриевого гранатов Использование аэрозоля осаждения

В этом докладе описывается использование заказного системы для выполнения аэрозольного осаждения толстых пленок железо-иттриевого граната на сапфировых подложках при комнатной температуре. Осажденные пленки характеризуются использованием сканирующей электронной микроскопии, профилометрию и ферромагнитного резонанса, чтобы дать репрезентативную обзор возможностей техники.