Name: compact lens-less digital holographic microscope for mems inspection and characterization
Uploaded: 2016-07-05T15:00:00
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1. मापन की प्रारंभिक तैयारी नोट: प्रयोग के लिए इस्तेमाल नमूना एक एमईएमएस इलेक्ट्रोड है। सोने इलेक्ट्रोड एक सिलिकॉन वेफर प्रक्रिया लिफ्ट बंद के प्रयोग पर गढ़े हैं। नमूना 1 मिमी की अवधि के साथ आवधिक सं?...

<ol>
	<li>Maluf, N. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=.">.</a> An introduction to Microelectromechanical Systems. , (2002).</li><li>Novak, E. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=MEMS+metrology+techniques.">MEMS metrology techniques.</a> Proc. SPIE. 5716, 173-181 (2005).</li><li>Gabor, D. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=A+New+Microscopic+Principle.">A New Microscopic Principle.</a> Nature. 161 (4098), 777-778 (1948).</li><li>Schnars, U., J&#252;ptner, W. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Direct+recording+of+holograms+by+a+CCD+target+and+numerical+reconstruction.">Direct recording of holograms by a CCD target and numerical reconstruction.</a> Appl. Opt. 33 (2), 179-181 (1994).</li><li>Schnars, U., J&#252;ptner, W. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Digital+recording+and+numerical+reconstruction+of+holograms.">Digital recording and numerical reconstruction of holograms.</a> Meas. Sci. Technol. 13 (9), 85-101 (2002).</li><li>Pedrini, G., Schedin, S., Tiziani, H. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Lensless+digital+holographic+interferometry+for+the+measurement+of+large+objects.">Lensless digital holographic interferometry for the measurement of large objects.</a> Opt. Commun. 171 (1-3), 29-36 (1999).</li><li>Dubois, F., Joannes, L., Legros, J. C. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Improved+three-dimensional+imaging+with+a+digital+holography+microscope+with+a+source+of+partial+spatial+coherence.">Improved three-dimensional imaging with a digital holography microscope with a source of partial spatial coherence.</a> Appl. Opt. 38 (34), 7085-7094 (1999).</li><li>Lei, X., Xiaoyuan, P., Jianmin, M., Asundi, A. K. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Studies+of+digital+microscopic+holography+with+applications+to+microstructure+testing.">Studies of digital microscopic holography with applications to microstructure testing.</a> Appl. Opt. 40 (28), 5046-5051 (2001).</li><li>Cuche, E., Bevilacqua, F., Depeursinge, C. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Digital+holography+for+quantitative+phase-contrast+imaging.">Digital holography for quantitative phase-contrast imaging.</a> Opt. Lett. 24 (5), 291-293 (1999).</li><li>Qu, W., Yu, Y., Chee Oi, C., Raj Singh, V., Asundi, A. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Quasi-physical+phase+compensation+in+digital+holographic+microscopy.">Quasi-physical phase compensation in digital holographic microscopy.</a> J. Opt. Soc. Am. 26 (9), 2005-2011 (2009).</li><li>Schedin, S., Pedrini, G., Tiziani, H. J., Santoyo, F. M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Simultaneous+three-dimensional+dynamic+deformation+measurements+with+pulsed+digital+holography.">Simultaneous three-dimensional dynamic deformation measurements with pulsed digital holography.</a> Appl. Opt. 38 (34), 7056-7062 (1999).</li><li>Lei, X., Xiaoyuan, P., Jianmin, M., Asundi, A. K. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Development+and+validation+of+digital+microholo+interferometric+system+for+micromechanical+testing.">Development and validation of digital microholo interferometric system for micromechanical testing.</a> Proc. SPIE. 4778, 11-20 (2002).</li><li>Qu, W., Bhattacharya, K., Choo, C. O., Yu, Y., Asundi, A. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Transmission+digital+holographic+microscopy+based+on+a+beam-splitter+cube+interferometer.">Transmission digital holographic microscopy based on a beam-splitter cube interferometer.</a> Appl. Opt. 48 (15), 2778-2783 (2009).</li><li>Potcoava, M. C., Kim, M. K. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Fingerprint+biometry+applications+of+digital+holography+and+low-coherence+interferography.">Fingerprint biometry applications of digital holography and low-coherence interferography.</a> Appl. Opt. 48 (34), 9-15 (2009).</li><li>Kolman, P., Chmel&#236;k, R. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Coherence-controlled+holographic+microscope.">Coherence-controlled holographic microscope.</a> Opt. Express. 18 (21), 21990-22003 (2010).</li><li>Lee, M., Yaglidere, O., Ozcan, A. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Field-portable+reflection+and+transmission+microscopy+based+on+lensless+holography.">Field-portable reflection and transmission microscopy based on lensless holography.</a> Biomed. Opt. Express. 2 (9), 2721-2730 (2011).</li><li>Mico, V., Zalevsky, Z., Garc&#236;a, J. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Common-path+phase-shifting+digital+holographic+microscopy:+a+way+to+quantitative+phase+imaging+and+superresolution.">Common-path phase-shifting digital holographic microscopy: a way to quantitative phase imaging and superresolution.</a> Opt. Commun. 281 (17), 4273-4281 (2008).</li><li>Singh, V. R., Miao, J., Wang, Z., Hedge, G. M., Asundi, A. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Dynamic+characterization+of+MEMS+diaphragm+using+time+averaged+in-line+digital+holography.">Dynamic characterization of MEMS diaphragm using time averaged in-line digital holography.</a> Opt. Commun. 280 (2), 285-290 (2007).</li><li>Singh, V. R., Anderi, A., Gorecki, C., Nieradko, L., Asundi, A. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Characterization+of+MEMS+cantilevers+lensless+digital+holographic+microscope.">Characterization of MEMS cantilevers lensless digital holographic microscope.</a> Proc. SPIE. 6995, 69950F-1 (2008).</li><li>Schmidt, J. D. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Numerical+Simulation+of+Optical+Wave+Propagation+with+Examples+in+MATLAB.">Numerical Simulation of Optical Wave Propagation with Examples in MATLAB.</a> SPIE PRESS BOOK. , (2010).</li><li>Zhao, M., Huang, L., Zhang, Q. C., Su, X. Y., Asundi, A., Qian, K. M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Quality-guided+phase+unwrapping+technique:+comparison+of+quality+maps+and+guiding+strategies.">Quality-guided phase unwrapping technique: comparison of quality maps and guiding strategies.</a> Appl. Opt. 50 (33), 6214-6224 (2011).</li><li>Wang, Z., Qu, W., Yang, F., Wen, Y., Asundi, A. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=A+new+autofocus+method+based+on+angular+spectrum+method+in+digital+holography.">A new autofocus method based on angular spectrum method in digital holography.</a> Proc. SPIE. 9449, 2-7 (2015).</li></ol>

इस समीक्षा में, हम सही ढंग से डिजिटल होलोग्रफ़ी पर भरोसा एक कॉम्पैक्ट प्रणाली का उपयोग करके विभिन्न एमईएमएस उपकरणों की मात्रात्मक आकृति विज्ञान की वसूली के लिए एक प्रोटोकॉल प्रदान करते हैं। दोनों स्?...

माइक्रो और नैनो वस्तुओं की मेट्रोलोजी दोनों उद्योग और शोधकर्ताओं के लिए बहुत महत्व का है। दरअसल, वस्तुओं के miniaturization ऑप्टिकल मैट्रोलोजी के लिए एक नई चुनौती का प्रतिनिधित्व करता है। माइक्रो इलेक्ट्रो मैकेनिकल सिस्टम (एमईएमएस) आम तौर पर परिभाषित कर रहे हैं विद्युत प्रणाली छोटी हो गया है और आम तौर पर इस तरह के सूक्ष्म सेंसर, माइक्रो actuators, माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक और microstructures के रूप में घटक शामिल हैं। यह इस तरह के जैव प्रौद्योगिकी, चिकित्सा, संचार और संवेदन 1 के रूप में विविध क्षेत्र में कई आवेदन मिल गया है। हाल ही में, बढ़ती जटिलता के साथ ही परीक्षण वस्तु के प्रगतिशील miniaturization एमईएमएस के लिए उपयुक्त लक्षण वर्णन तकनीक के विकास के लिए कॉल की सुविधा है। इन जटिल माइक्रोसिस्टम्स के उच्च throughput विनिर्माण विशेषता मानकों और प्रक्रिया की स्थिति की वजह से 2 संबंधित दोषों यों की, उन्नत इनलाइन माप तकनीक के कार्यान्वयन की आवश्यकता है। उदाहरण के लिए, ज्यामितीय परम का विचलनएक एमईएमएस डिवाइस में eters सिस्टम गुण को प्रभावित करता है और विशेषता किया जाना है। इसके अलावा, उद्योग में इस तरह के पूर्ण तीन आयाम (3 डी) मैट्रोलोजी, बड़े फाई देखने के लिए, उच्च इमेजिंग संकल्प की वृद्धावस्था, और वास्तविक समय विश्लेषण के रूप में उच्च संकल्प माप प्रदर्शन की आवश्यकता है। इस प्रकार, यह एक विश्वसनीय गुणवत्ता नियंत्रण और निरीक्षण की प्रक्रिया को सुनिश्चित करने के लिए आवश्यक है। इसके अलावा, यह माप प्रणाली की आवश्यकता है एक उत्पादन लाइन पर आसानी से लागू है और इस तरह अपेक्षाकृत कॉम्पैक्ट मौजूदा infrastructures पर स्थापित करने के लिए किया जाना है। होलोग्रफ़ी है, जो पहले गेबर 3 से पेश किया गया था, एक तकनीक है कि एक संदर्भ और एक सहज माध्यम में एक वस्तु लहर के बीच हस्तक्षेप रिकॉर्डिंग से एक वस्तु का पूरा मात्रात्मक जानकारी की वसूली की अनुमति देता है। इस प्रक्रिया रिकॉर्डिंग के रूप में जाना जाता है के दौरान, आयाम, चरण और एक क्षेत्र के ध्रुवीकरण माध्यम में जमा हो जाती है। फिर वस्तु लहर क्षेत्र मुझ पर संदर्भ बीम भेजने के द्वारा ठीक किया जा सकताdium, एक प्रक्रिया होलोग्राम के ऑप्टिकल पढ़ने के रूप में जाना जाता है। चूंकि एक पारंपरिक डिटेक्टर केवल लहर की तीव्रता रिकॉर्ड, होलोग्रफ़ी पिछले पचास वर्षों में बहुत रुचि का विषय रहा है, क्योंकि यह बिजली के क्षेत्र पर अतिरिक्त जानकारी के लिए पहुँच देता है। हालांकि, पारंपरिक होलोग्रफ़ी के कई पहलुओं को यह उद्योग अनुप्रयोगों के लिए अव्यावहारिक हैं। दरअसल, सहज सामग्री महंगी होती हैं और रिकॉर्डिंग प्रक्रिया आम तौर पर स्थिरता के एक उच्च डिग्री की आवश्यकता है। इस तरह का आरोप लगाया युग्मित उपकरणों (सीसीडी) के रूप में उच्च संकल्प कैमरा सेंसर के क्षेत्र में अग्रिम डिजिटल मैट्रोलोजी के लिए एक नया दृष्टिकोण खोल दिया है। उन तकनीकों में से एक डिजिटल होलोग्रफ़ी 4 के रूप में जाना जाता है। डिजिटल होलोग्रफ़ी (डीएच) में, होलोग्राम एक कैमरा (रिकॉर्डिंग मध्यम) पर दर्ज की गई है और संख्यात्मक प्रक्रियाओं चरण और तीव्रता जानकारी को फिर से संगठित करने के लिए इस्तेमाल कर रहे हैं। के रूप में दिखाया गया फाई रिकॉर्डिंग और पुनर्निर्माण: पारंपरिक होलोग्रफ़ी साथ के रूप में, परिणाम दो मुख्य प्रक्रियाओं के बाद प्राप्त किया जा सकताआंकड़ा 1। हालांकि, अगर रिकॉर्डिंग पारंपरिक होलोग्रफ़ी के समान है, पुनर्निर्माण केवल संख्यात्मक 5 है। संख्यात्मक पुनर्निर्माण प्रक्रिया चित्रा 2 में दिखाया गया है। दो प्रक्रियाओं के पुनर्निर्माण की प्रक्रिया में शामिल रहे हैं। सबसे पहले, वस्तु लहर क्षेत्र होलोग्राम से लिया गया है। होलोग्राम एक संख्यात्मक संदर्भ लहर होलोग्राम विमान में वस्तु wavefront प्राप्त करने के साथ गुणा किया जाता है। दूसरे, जटिल वस्तु wavefront संख्यानुसार छवि विमान को प्रचारित किया जाता है। हमारी प्रणाली में, इस कदम कनवल्शनफ़िल्टर्स विधि 6 का उपयोग किया जाता है। खंगाला प्राप्त क्षेत्र एक जटिल कार्य है और इस प्रकार चरण और तीव्रता ब्याज की वस्तु पर मात्रात्मक ऊंचाई में जानकारी प्रदान निकाला जा सकता है। होलोग्रफ़ी विधि में पूरे फाई वृद्धावस्था जानकारी भंडारण की क्षमता है और तेजी से डाटा प्रोसेसिंग के लिए कंप्यूटर प्रौद्योगिकी का उपयोग प्रयोगात्मक विन्यास में अधिक लचीलापन प्रदान करते हैं और काफी spee में वृद्धिप्रयोगात्मक प्रक्रिया के डी, नई संभावनाओं को खोलने एमईएमएस और माइक्रो सिस्टम 7.8 के लिए एक गतिशील metrological उपकरण के रूप में विकसित करने के लिए डीएच। चरण विपरीत इमेजिंग में डिजिटल होलोग्रफ़ी का उपयोग अब अच्छी तरह से स्थापित किया गया है और पहले से अधिक दस साल पहले 9 पेश किया गया। दरअसल, डिजिटल होलोग्रफ़ी और माइक्रोस्कोपी के संयोजन से सूक्ष्म उपकरणों की जांच कई अध्ययनों से 10, 11, 12, 13 में किया गया है। उच्च जुटना 14 और कम जुटना 15 स्रोतों के आधार पर कई सिस्टम के साथ ही ज्यामिति 13, 16 के विभिन्न प्रकार, 17 (लाइन में, अक्ष, आम रास्ता बंद ...) प्रस्तुत किया गया है। इसके अलावा, लाइन में डिजिटल होलोग्रफ़ी एमईएमएस डिवाइस 18, 19 के लक्षण वर्णन में पहले से इस्तेमाल किया गया है। हालांकि, उन प्रणालियों, आम तौर पर लागू करने के लिए मुश्किल और भारी हैं उन्हें औद्योगिक अनुप्रयोगों के लिए अनुपयुक्त बना रही है। इस अध्ययन में, हम दूर AXI पर आधारित एक कॉम्पैक्ट, सरल और लेंस मुक्त प्रणाली का प्रस्ताववास्तविक समय एमईएमएस निरीक्षण और लक्षण वर्णन के लिए डिजिटल होलोग्रफ़ी सक्षम है। कॉम्पैक्ट डिजिटल होलोग्राफिक माइक्रोस्कोप (CDHM) एक लेंस कम डिजिटल होलोग्राफिक प्रणाली विकसित की है और सूक्ष्म आकार specular वस्तुओं के 3 डी आकृति विज्ञान प्राप्त करने के लिए पेटेंट कराया है। हमारी प्रणाली, एक 10 मेगावाट, अत्यधिक स्थिर, तापमान नियंत्रित डायोड लेजर 638 एनएम पर काम कर रही एक मोनो मोड फाइबर में युग्मित है। के रूप में 3 चित्र में दिखाया, diverging बीम फाइबर से उत्पन्न एक संदर्भ और एक बीम फाड़नेवाला द्वारा एक वस्तु बीम में विभाजित है। संदर्भ किरण पथ एक झुका दर्पण बंद अक्ष ज्यामिति का एहसास करने के शामिल हैं। वस्तु बीम बिखरे हुए हैं और नमूना से परिलक्षित होता है। दो मुस्कराते हुए सीसीडी होलोग्राम देने पर हस्तक्षेप। हस्तक्षेप पैटर्न छवि पर अंकित एक स्थानिक वाहक कहा जाता है और केवल एक ही छवि के साथ मात्रात्मक चरण जानकारी की वसूली परमिट है। संख्यात्मक पुनर्निर्माण एक आम फूरियर और स्टेशन के रूप में कनवल्शनफ़िल्टर्स कलन विधि का उपयोग किया जाता हैटेड पहले। लेंस-कम विन्यास कई इसे आकर्षक बनाने के फायदे हैं। के रूप में कोई लेंस इस्तेमाल कर रहे हैं, इनपुट किरण अपसारी लहर एक प्राकृतिक ज्यामितीय बढ़ाई प्रदान करने और इस प्रकार प्रणाली संकल्प में सुधार है। इसके अलावा, यह ठेठ ऑप्टिकल सिस्टम में आई aberrations के लिए स्वतंत्र है। चित्रा 3 बी में देखा जा सकता है, इस प्रणाली कॉम्पैक्ट (55x75x125 3 मिमी), हल्के (400 ग्राम) बनाया जा सकता है, और इस तरह आसानी से औद्योगिक उत्पादन लाइनों में एकीकृत किया जा सकता है।

<table border="0" cellpadding="0" cellspacing="0" width="1228">
	<tbody>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:216px;">2 MP Camera</td>
			<td style="width:251px;">Imaging Source</td>
			<td style="width:251px;">DMX 41BU02</td>
			<td style="width:512px;">used to record the hologram. 4.65 microns pixel size</td>
		</tr>
		<tr height="42">
			<td height="42" style="height:42px;width:216px;">Motorized X,Y,Z Translation Stage</td>
			<td style="width:251px;">Zaber Technology&#160;</td>
			<td style="width:251px;">TLS28-M</td>
			<td>Holder for the system&#160;</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:216px;">Beam splitter</td>
			<td style="width:251px;">Edmund optics</td>
			<td style="width:251px;">49-003</td>
			<td>Cube Beam splitter. Separate and recombine the object and reference beam</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:216px;">Laser&#160;</td>
			<td style="width:251px;">Micro Laser Systems, Inc.</td>
			<td>SRT-F635S-20/OSYS</td>
			<td>Diode laser</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:216px;">Mirror</td>
			<td style="width:251px;">Edmund Optics</td>
			<td style="width:251px;">#43-412-566</td>
			<td>1&#34; Dia. Protected Gold, &#955;/20 Flat Zerodur</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:216px;">monomode Fiber</td>
			<td style="width:251px;">Thorlabs</td>
			<td style="width:251px;">S405-XP</td>
			<td style="width:512px;">Single Mode Optical Fiber, 400 - 680 nm, &#216;125 &#181;m Cladding</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:216px;">Sample holder</td>
			<td style="width:251px;">Edmund Optics</td>
			<td style="width:251px;">#39-930</td>
			<td>Ideal Positioning Platform,&#177;35mm Travel in Both X and Y</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:216px;">Hotplate</td>
			<td style="width:251px;">Thermolyne Mirak hotplate</td>
			<td style="width:251px;">Barnstead International HP72935-60</td>
			<td>temperature range&#160;&#160; 40-370 &#176;C</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:216px;">Holoscope Software</td>
			<td style="width:251px;">d&#39;Optron Pte Ltd</td>
			<td style="width:251px;">NA</td>
			<td>software developed by the NTU researchers&#160;</td>
		</tr>
	</tbody>
</table>

compact lens-less digital holographic microscope for mems inspection and characterization

A micro-electro-mechanical-system (MEMS) is a widely used component in many industries, including energy, biotechnology, medical, communications, and automotive. However, effective inspection and characterization metrology systems are needed to ensure the functional reliability of MEMS. This study presents a system based on digital holography as a tool for MEMS metrology. Digital holography has gained increasing attention in the past 20 years. With the fast development and decreasing cost of sensor arrays, resolution of such systems has increased broadening potential applications. Thus, it has attracted attention from both research and industry sides as a potential reliable tool for industrial metrology. Indeed, by recording the interference pattern between an object beam (which contains sample height information) and a reference beam on a CCD camera, one can retrieve the quantitative phase information of an object. However, most of digital holographic systems are bulky and thus not easy to implement on industry production lines. The novelty of the system presented is that it is lens-less and thus very compact. In this study, it is shown that the Compact Digital Holographic Microscope (CDHM) can be used to evaluate several characteristics typically consider as criteria in MEMS inspections. The surface profiles of MEMS in both static and dynamic conditions are presented. Comparison with AFM is investigated to validate the accuracy of the CDHM.

ऊपर वर्णित प्रोटोकॉल का निरीक्षण किया और एमईएमएस और माइक्रो डिवाइसेस CDHM प्रणाली का उपयोग कर चिह्नित करने के लिए डिजाइन किया गया था। हमारी प्रणाली में, एक मोनो मोड फाइबर एक डायोड लेजर एक 633 ए?...

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Compact Lens-less Digital Holographic Microscope for MEMS Inspection and Characterization

हम निरीक्षण और एमईएमएस उपकरणों के लक्षण वर्णन के लिए एक कॉम्पैक्ट डिजिटल प्रतिबिंब होलोग्राफिक प्रणाली (CDHM) प्रस्तुत करते हैं। प्राकृतिक ज्यामितीय बढ़ाई उपलब्ध कराने के एक diverging इनपुट लहर का उपयोग कर एक लेंस कम डिजाइन प्रदर्शन किया है। दोनों स्थिर और गतिशील के अध्ययन प्रस्तुत कर रहे हैं।

कॉम्पैक्ट लेंस-कम डिजिटल होलोग्राफिक एमईएमएस निरीक्षण और विशेषता के लिए माइक्रोस्कोप

A micro-electro-mechanical-system (MEMS) is a widely used component in many industries, including energy, biotechnology, medical, communications, and ...

Research

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Engineering

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