Name: compact lens-less digital holographic microscope for mems inspection and characterization
Uploaded: 2016-07-05T15:00:00
Description: Watch this Scientific Journal Video about Compact Lens-less Digital Holographic Microscope for MEMS Inspection and Characterization at JoVE.com

The authors have no acknowledgements.

1. Innledende Utarbeidelse av måle Merk: Prøven brukes for forsøket er en MEMS elektrode. De gullelektroder er fremstilt på en silisiumskive ved bruk av lift off prosess. Prøven er en 18 mm x 18 mm skive med periodiske strukturer (elektroder) med 1 mm periode <ol><li> Logg inn i loggboken før du bruker systemet. </li><li> Slå på datamaskinen, LASER og oversettelse scenen makt. </li><li> Plasser MEMS elektrode / mikro-membran prøven. <ol><li> Plasser MEMS prøven i midten av prøveholderen ved hjelp av...

<ol>
	<li>Maluf, N. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=.">.</a> An introduction to Microelectromechanical Systems. , (2002).</li><li>Novak, E. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=MEMS+metrology+techniques.">MEMS metrology techniques.</a> Proc. SPIE. 5716, 173-181 (2005).</li><li>Gabor, D. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=A+New+Microscopic+Principle.">A New Microscopic Principle.</a> Nature. 161 (4098), 777-778 (1948).</li><li>Schnars, U., J&#252;ptner, W. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Direct+recording+of+holograms+by+a+CCD+target+and+numerical+reconstruction.">Direct recording of holograms by a CCD target and numerical reconstruction.</a> Appl. Opt. 33 (2), 179-181 (1994).</li><li>Schnars, U., J&#252;ptner, W. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Digital+recording+and+numerical+reconstruction+of+holograms.">Digital recording and numerical reconstruction of holograms.</a> Meas. Sci. Technol. 13 (9), 85-101 (2002).</li><li>Pedrini, G., Schedin, S., Tiziani, H. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Lensless+digital+holographic+interferometry+for+the+measurement+of+large+objects.">Lensless digital holographic interferometry for the measurement of large objects.</a> Opt. Commun. 171 (1-3), 29-36 (1999).</li><li>Dubois, F., Joannes, L., Legros, J. C. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Improved+three-dimensional+imaging+with+a+digital+holography+microscope+with+a+source+of+partial+spatial+coherence.">Improved three-dimensional imaging with a digital holography microscope with a source of partial spatial coherence.</a> Appl. Opt. 38 (34), 7085-7094 (1999).</li><li>Lei, X., Xiaoyuan, P., Jianmin, M., Asundi, A. K. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Studies+of+digital+microscopic+holography+with+applications+to+microstructure+testing.">Studies of digital microscopic holography with applications to microstructure testing.</a> Appl. Opt. 40 (28), 5046-5051 (2001).</li><li>Cuche, E., Bevilacqua, F., Depeursinge, C. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Digital+holography+for+quantitative+phase-contrast+imaging.">Digital holography for quantitative phase-contrast imaging.</a> Opt. Lett. 24 (5), 291-293 (1999).</li><li>Qu, W., Yu, Y., Chee Oi, C., Raj Singh, V., Asundi, A. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Quasi-physical+phase+compensation+in+digital+holographic+microscopy.">Quasi-physical phase compensation in digital holographic microscopy.</a> J. Opt. Soc. Am. 26 (9), 2005-2011 (2009).</li><li>Schedin, S., Pedrini, G., Tiziani, H. J., Santoyo, F. M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Simultaneous+three-dimensional+dynamic+deformation+measurements+with+pulsed+digital+holography.">Simultaneous three-dimensional dynamic deformation measurements with pulsed digital holography.</a> Appl. Opt. 38 (34), 7056-7062 (1999).</li><li>Lei, X., Xiaoyuan, P., Jianmin, M., Asundi, A. K. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Development+and+validation+of+digital+microholo+interferometric+system+for+micromechanical+testing.">Development and validation of digital microholo interferometric system for micromechanical testing.</a> Proc. SPIE. 4778, 11-20 (2002).</li><li>Qu, W., Bhattacharya, K., Choo, C. O., Yu, Y., Asundi, A. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Transmission+digital+holographic+microscopy+based+on+a+beam-splitter+cube+interferometer.">Transmission digital holographic microscopy based on a beam-splitter cube interferometer.</a> Appl. Opt. 48 (15), 2778-2783 (2009).</li><li>Potcoava, M. C., Kim, M. K. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Fingerprint+biometry+applications+of+digital+holography+and+low-coherence+interferography.">Fingerprint biometry applications of digital holography and low-coherence interferography.</a> Appl. Opt. 48 (34), 9-15 (2009).</li><li>Kolman, P., Chmel&#236;k, R. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Coherence-controlled+holographic+microscope.">Coherence-controlled holographic microscope.</a> Opt. Express. 18 (21), 21990-22003 (2010).</li><li>Lee, M., Yaglidere, O., Ozcan, A. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Field-portable+reflection+and+transmission+microscopy+based+on+lensless+holography.">Field-portable reflection and transmission microscopy based on lensless holography.</a> Biomed. Opt. Express. 2 (9), 2721-2730 (2011).</li><li>Mico, V., Zalevsky, Z., Garc&#236;a, J. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Common-path+phase-shifting+digital+holographic+microscopy:+a+way+to+quantitative+phase+imaging+and+superresolution.">Common-path phase-shifting digital holographic microscopy: a way to quantitative phase imaging and superresolution.</a> Opt. Commun. 281 (17), 4273-4281 (2008).</li><li>Singh, V. R., Miao, J., Wang, Z., Hedge, G. M., Asundi, A. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Dynamic+characterization+of+MEMS+diaphragm+using+time+averaged+in-line+digital+holography.">Dynamic characterization of MEMS diaphragm using time averaged in-line digital holography.</a> Opt. Commun. 280 (2), 285-290 (2007).</li><li>Singh, V. R., Anderi, A., Gorecki, C., Nieradko, L., Asundi, A. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Characterization+of+MEMS+cantilevers+lensless+digital+holographic+microscope.">Characterization of MEMS cantilevers lensless digital holographic microscope.</a> Proc. SPIE. 6995, 69950F-1 (2008).</li><li>Schmidt, J. D. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Numerical+Simulation+of+Optical+Wave+Propagation+with+Examples+in+MATLAB.">Numerical Simulation of Optical Wave Propagation with Examples in MATLAB.</a> SPIE PRESS BOOK. , (2010).</li><li>Zhao, M., Huang, L., Zhang, Q. C., Su, X. Y., Asundi, A., Qian, K. M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Quality-guided+phase+unwrapping+technique:+comparison+of+quality+maps+and+guiding+strategies.">Quality-guided phase unwrapping technique: comparison of quality maps and guiding strategies.</a> Appl. Opt. 50 (33), 6214-6224 (2011).</li><li>Wang, Z., Qu, W., Yang, F., Wen, Y., Asundi, A. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=A+new+autofocus+method+based+on+angular+spectrum+method+in+digital+holography.">A new autofocus method based on angular spectrum method in digital holography.</a> Proc. SPIE. 9449, 2-7 (2015).</li></ol>

I denne gjennomgangen gir vi en protokoll for å nøyaktig gjenopprette den kvantitative morfologi forskjellige MEMS enheter ved hjelp av et kompakt system avhengig av digital holografi. MEMS karakterisering i både statisk og dynamisk modus er demonstrert. Kvantitative 3D-data av en mikrokanal MEMS oppnås. For å bekrefte nøyaktigheten av systemet, er resultatene er sammenlignet mellom CDHM og AFM. God avtalen er funnet noe som betyr at digital holografi kan være en pålitelig teknikk for 3D bildebehandling. Resulta...

Justervesenet av mikro- og nanoobjekter er av stor betydning for både industri og forskere. Faktisk, miniatyrisering av objekter representerer en ny utfordring for optisk metrologi. Mikroelektromekaniske systemer (MEMS) er generelt definert har miniatyrisert elektromekaniske systemer og omfatter vanligvis komponenter som mikrosensorer, mikro aktuatorer, mikroelektronikk og mikrostrukturer. Det har funnet mange programmer i ulike felt som bioteknologi, medisin, kommunikasjon og sensing en. Nylig har den økende kompleksiteten samt progressiv miniatyrisering av testobjekt inneholder anrop for utvikling av egnede karakteriseringsteknikker for MEMS. Høy gjennomstrømning produksjon av disse komplekse mikrosystemer krever gjennomføring av avanserte inline måleteknikker, for å kvantifisere karakteristiske parametre og relaterte mangler som skyldes prosessbetingelsene 2. For eksempel, er avviket av geometriske parammeterne i et MEMS enhet påvirker systemegenskapene og må karakteriseres. I tillegg krever industrien høy oppløsning måling ytelse, for eksempel full tre dimensjon (3D) metrologi, store fi eld av utsikt, høy bildeoppløsning, og sanntids analyse. Således er det viktig å sikre en pålitelig kvalitetskontroll og inspeksjon prosess. Dessuten kreves det at målesystemet skal være lett implementeres på en produksjonslinje og således forholdsvis kompakt som skal installeres på eksisterende infrastrukturer. Holografi, som først ble innført av Gabor 3, er en teknikk som tillater utvinning av den fullstendig kvantitativ informasjon av et objekt ved å registrere interferens mellom en referanse og et objekt bølge inn i et lysfølsomt medium. Under denne prosessen er kjent som opptak, er amplituden, fasen og polarisering av et felt som er lagret i mediet. Deretter objektet bølgefeltet kan gjenvinnes ved å sende referansestrålen på megdium, en prosess som kalles optisk avlesning av hologrammet. Siden en konvensjonell detektor bare registrerer intensiteten på bølgen, har holografi vært gjenstand for stor interesse i de siste femti årene siden det gir tilgang til mer informasjon om det elektriske feltet. Men flere aspekter ved konvensjonell holografi gjør det upraktisk for industri applikasjoner. Faktisk fotografiske materialer er dyrt og innspillingsprosessen krever vanligvis en høy grad av stabilitet. Fremskritt i høy oppløsning kamerasensorer som belastet kombinert enheter (CCD) har åpnet en ny tilnærming for digital metrologi. En av disse teknikkene er kjent som digital holografi 4. I digital holografi (DH), er hologrammet registrert på et kamera (opptaksmedium) og numeriske prosesser blir brukt til å rekonstruere den fase og intensitet informasjon. Som med vanlig holografi, kan resultatet oppnås etter to hovedtiltak: Opptak og gjenoppbygging som vist i Figur 1. Men hvis opptaket er lik konvensjonell holografi, er gjenoppbyggingen eneste numerisk 5. Den numeriske gjenoppbyggingsprosessen er vist i figur 2. To fremgangsmåter er involvert i gjenoppbyggingen. For det første er gjenstand bølgefelt hentet fra hologrammet. Hologrammet er multiplisert med en numerisk henvisning bølge for å få objektet bølgefronten i hologramplanet. For det andre er det komplekse bølgefronten gjenstanden tallmessig overført til billedplanet. I vårt system, er dette trinnet utføres ved hjelp av konvolusjon metode 6. Det rekonstruerte feltet erholdte er en kompleks funksjon og således fase og intensitet kan ekstraheres gi kvantitativ informasjon høyde på objektet av interesse. Evnen til hele fi eld lagring av informasjon i holografi metode og bruk av datateknologi for rask databehandling tilby mer fleksibilitet i eksperimentell konfigurasjon og en betydelig økning i hød av den eksperimentelle prosessen, åpne opp nye muligheter for å utvikle DH som en dynamisk måleteknisk verktøy for MEMS og mikrosystemer 7,8. Bruk av digitale holografi i fase kontrast bildebehandling er nå godt etablert og ble første gang presentert mer enn ti år siden 9. Faktisk undersøkelse av mikroskopiske enheter ved å kombinere digital holografi og mikroskopi har blitt utført i mange studier 10, 11, 12, 13. Flere systemer basert på høy koherens 14 og lav koherens 15 kilder samt ulike typer geometri 13, 16, 17 (i kø, off-aksen, felles vei ...) har blitt presentert. I tillegg, i linje digital holografi har vært brukt tidligere i karakteriseringen av MEMS-innretningen 18, 19. Imidlertid er disse systemer er generelt vanskelig å gjennomføre og plasskrevende, noe som gjør dem uegnet for industriell anvendelse. I denne studien foreslår en kompakt, enkel og objektiv fritt system basert på off axis digital holografi stand for sanntids MEMS inspeksjon og karakterisering. Den kompakte digital Holografisk mikroskop (CDHM) er en linse mindre digital holografisk system utviklet og patentert for å oppnå 3D morfologi av mikro-størrelse speil stedene. I vårt system, en 10 mW, meget stabil, temperaturstyrt diodelaser som opererer ved 638 nm er koplet til en monomodusfiber. Som vist i figur 3, er den divergerende stråle som utgår fra fiberen delt inn i en referanse og en objektstråle av en stråledeler. Referansestrålebanen består av en skråstilt speil for å realisere utenfor aksen geometri. Objektstrålen blir spredt og reflektert av prøven. De to bjelker interferere på CCD gi hologrammet. Det interferensmønster trykt på bildet kalles en romlig bærer og tillater utvinning av den kvantitative faseinformasjonen med bare ett bilde. Den numeriske rekonstruksjon utføres ved hjelp av en felles Fourier transform og convolution algoritme som stated tidligere. Objektivet-less konfigurasjon har flere fordeler som gjør det attraktivt. Som ingen linser brukes, er inngangs strålen en divergerende bølge som gir en naturlig geometrisk forstørrelse og dermed forbedre systemet oppløsning. Dessuten er det gratis avvik som oppstår i vanlige optiske systemer. Som det kan ses på figur 3B, kan systemet gjøres kompakt (55x75x125 mm 3), lav vekt (400 g), og således lett kan integreres i industrielle produksjonslinjer.

<table border="0" cellpadding="0" cellspacing="0" width="1228">
	<tbody>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:216px;">2 MP Camera</td>
			<td style="width:251px;">Imaging Source</td>
			<td style="width:251px;">DMX 41BU02</td>
			<td style="width:512px;">used to record the hologram. 4.65 microns pixel size</td>
		</tr>
		<tr height="42">
			<td height="42" style="height:42px;width:216px;">Motorized X,Y,Z Translation Stage</td>
			<td style="width:251px;">Zaber Technology&#160;</td>
			<td style="width:251px;">TLS28-M</td>
			<td>Holder for the system&#160;</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:216px;">Beam splitter</td>
			<td style="width:251px;">Edmund optics</td>
			<td style="width:251px;">49-003</td>
			<td>Cube Beam splitter. Separate and recombine the object and reference beam</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:216px;">Laser&#160;</td>
			<td style="width:251px;">Micro Laser Systems, Inc.</td>
			<td>SRT-F635S-20/OSYS</td>
			<td>Diode laser</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:216px;">Mirror</td>
			<td style="width:251px;">Edmund Optics</td>
			<td style="width:251px;">#43-412-566</td>
			<td>1&#34; Dia. Protected Gold, &#955;/20 Flat Zerodur</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:216px;">monomode Fiber</td>
			<td style="width:251px;">Thorlabs</td>
			<td style="width:251px;">S405-XP</td>
			<td style="width:512px;">Single Mode Optical Fiber, 400 - 680 nm, &#216;125 &#181;m Cladding</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:216px;">Sample holder</td>
			<td style="width:251px;">Edmund Optics</td>
			<td style="width:251px;">#39-930</td>
			<td>Ideal Positioning Platform,&#177;35mm Travel in Both X and Y</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:216px;">Hotplate</td>
			<td style="width:251px;">Thermolyne Mirak hotplate</td>
			<td style="width:251px;">Barnstead International HP72935-60</td>
			<td>temperature range&#160;&#160; 40-370 &#176;C</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:216px;">Holoscope Software</td>
			<td style="width:251px;">d&#39;Optron Pte Ltd</td>
			<td style="width:251px;">NA</td>
			<td>software developed by the NTU researchers&#160;</td>
		</tr>
	</tbody>
</table>

compact lens-less digital holographic microscope for mems inspection and characterization

A micro-electro-mechanical-system (MEMS) is a widely used component in many industries, including energy, biotechnology, medical, communications, and automotive. However, effective inspection and characterization metrology systems are needed to ensure the functional reliability of MEMS. This study presents a system based on digital holography as a tool for MEMS metrology. Digital holography has gained increasing attention in the past 20 years. With the fast development and decreasing cost of sensor arrays, resolution of such systems has increased broadening potential applications. Thus, it has attracted attention from both research and industry sides as a potential reliable tool for industrial metrology. Indeed, by recording the interference pattern between an object beam (which contains sample height information) and a reference beam on a CCD camera, one can retrieve the quantitative phase information of an object. However, most of digital holographic systems are bulky and thus not easy to implement on industry production lines. The novelty of the system presented is that it is lens-less and thus very compact. In this study, it is shown that the Compact Digital Holographic Microscope (CDHM) can be used to evaluate several characteristics typically consider as criteria in MEMS inspections. The surface profiles of MEMS in both static and dynamic conditions are presented. Comparison with AFM is investigated to validate the accuracy of the CDHM.

Protokollen er beskrevet ovenfor ble utformet for å inspisere og karakter MEMS og Micro enheter ved hjelp CDHM system. I vårt system, er en monomodusfiber er koplet til en diode-laser som opererer ved en bølgelengde 633 nm. På grunn av den divergerende stråle konfigurasjon, er det viktig å passe objektstrålen og referansestrålen banen for å oppnå et hologram som kan bli rekonstruert. Dette oppnås ved forsiktig vertikal plassering av prøven i forhold til systemet. I den beregn...

Watch this Scientific Journal Video about Compact Lens-less Digital Holographic Microscope for MEMS Inspection and Characterization at JoVE.com

Compact Lens-less Digital Holographic Microscope for MEMS Inspection and Characterization

Vi presenterer en kompakt refleksjon digital holografisk system (CDHM) for inspeksjon og karakterisering av MEMS enheter. Et objektiv-mindre design ved hjelp av en divergerende innspill bølge gir naturlig geometrisk forstørrelsen er demonstrert. Både statiske og dynamiske studier er presentert.

Kompakt Lens-mindre Digital Holografisk mikroskop for MEMS inspeksjon og karakterisering

A micro-electro-mechanical-system (MEMS) is a widely used component in many industries, including energy, biotechnology, medical, communications, and ...

Research

JoVE Journal

Engineering

Compact Quantum Dots for Single-molecule Imaging

Kompakte kvanteprikker for Single-molekylet Imaging

Single-molecule imaging is an important tool for  understanding the mechanisms of biomolecular function and for visualizing the  spatial and temporal ...

Construction of a High Resolution Microscope with Conventional and Holographic Optical Trapping Capabilities

Bygging av en høyoppløselig mikroskop med konvensjonelle og Holografisk Optiske overlapping Capabilities

High resolution microscope systems with optical traps allow for precise manipulation of various refractive objects, such as dielectric beads 1 or cellular ...

Real-Time DC-dynamic Biasing Method for Switching Time Improvement in Severely Underdamped Fringing-field Electrostatic MEMS Actuators

Real-Time DC-dynamisk Biasing metoden for veksling Tid Bedring i Alvorlig Underdamped Fringing-feltet Elektro MEMS Aktuatorer

Mechanically underdamped electrostatic fringing-field MEMS actuators are well known for their fast switching operation in response to a unit step input ...

Single Plane Illumination Module and Micro-capillary Approach for a Wide-field Microscope

Enkelt Plane Illumination Module og Micro-kapillær Approach for en Wide-field Microscope

A module for light sheet or single plane illumination microscopy (SPIM) is described which is easily adapted to an inverted wide-field microscope and ...

Comprehensive Characterization of Extended Defects in Semiconductor Materials by a Scanning Electron Microscope

Omfattende Karakterisering av Extended Defekter i halvledermaterialer av en scanning elektronmikroskop

Extended defects such as dislocations and grain boundaries have a strong influence on the performance of microelectronic devices and on other applications ...

Digital Printing of Titanium Dioxide for Dye Sensitized Solar Cells

Digitaltrykk av Titanium Dioxide for Dye Overfølsomme Solar Cells

Silicon solar cell manufacturing is an expensive and high energy consuming process. In contrast, dye sensitized solar cell production is less ...

Fabrication of 3D Carbon Microelectromechanical Systems (C-MEMS)

Fabrication of 3D Carbon Microelectromechanical Systems C-MEMS

Fremstilling av 3D-karbon mikroelektromekaniske systemer (C-MEMS)

A wide range of carbon sources are available in nature, with a variety of micro-/nanostructure configurations. Here, a novel technique to fabricate long ...

Demonstration of a Hyperlens-integrated Microscope and Super-resolution Imaging

Demonstrasjon av en Hyperlens-integrert mikroskop og super-oppløsning Imaging

The use of super-resolution imaging to overcome the diffraction limit of conventional microscopy has attracted the interest of researchers in biology and ...

Design and Characterization Methodology for Efficient Wide Range Tunable MEMS Filters

Design og karakterisering metodikk for effektiv bredt spekter Tunable MEMS filtre

Here, we demonstrate the advantages of the laser Doppler vibrometer (LDV) over conventional techniques (the network analyzer), as well as the techniques ...