जर्मेनियम पर perovskite स्ट्रोंटियम titanate की epitaxial विकास परमाणु परत बयान के माध्यम से

इस काम के परमाणु परत बयान से जर्मेनियम substrates पर विकास और क्रिस्टलीय SrTiO ₃ सीधे के लक्षण वर्णन के लिए प्रक्रियाओं का विवरण। प्रक्रिया धातु ऑक्साइड सेमीकंडक्टर उपकरणों के लिए अर्धचालक पर monolithically आक्साइड एकीकृत करने के लिए एक सब-रासायनिक विकास पद्धति की क्षमता को दिखाता है।