Name: fabrication of periodic gold nanocup arrays using colloidal lithography
Uploaded: 2017-09-02T13:00:00
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この研究を行ったで、太平洋の北西国立研究所 (なり)、ため、エネルギー省 (DOE) 契約番号の下でバテル記念研究所が運営します。デ-AC05-76RL01830。著者は感謝して省庁間の契約 SIAA15AVCVPO10 下キーの検証資産ファンド (V 型) を介して米国国務省からのサポートを認めます。

1。 材料準備 <ol><li>洗浄用石英キャリアにいくつかの 2 インチのシリコンウェハーを配置しシリコン基板をプラズマ エッチング装置に読み込みます。少なくとも 75 mTorr に達するまでダウン真空チャンバーをポンプします。これは数分をかかる場合があります</li>。
	<li>は O 2 (30 sccm) ガスの流れを開始し、安定させるために圧力を許可します。エッチング時間を 15 分に設定します。?...

<ol>
	<li>Fang, Y., Sun, M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Nanoplasmonic+waveguides:+towards+applications+in+integrated+nanophotonic+circuits.">Nanoplasmonic waveguides: towards applications in integrated nanophotonic circuits.</a> Light Sci Appl. 4, e294 (2015).</li><li>Li, J. F., Anema, J. R., Wandlowski, T., Tian, Z. Q. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Dielectric+shell+isolated+and+graphene+shell+isolated+nanoparticle+enhanced+Raman+spectroscopies+and+their+applications.">Dielectric shell isolated and graphene shell isolated nanoparticle enhanced Raman spectroscopies and their applications.</a> Chemical Society Reviews. 44 (23), 8399-8409 (2015).</li><li>Wang, L., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Large+Area+Plasmonic+Color+Palettes+with+Expanded+Gamut+Using+Colloidal+Self-Assembly.">Large Area Plasmonic Color Palettes with Expanded Gamut Using Colloidal Self-Assembly.</a> ACS Photonics. , (2016).</li><li>Taylor, A. B., Michaux, P., Mohsin, A. S. M., Chon, J. W. M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Electron-beam+lithography+of+plasmonic+nanorod+arrays+for+multilayered+optical+storage.">Electron-beam lithography of plasmonic nanorod arrays for multilayered optical storage.</a> Optics Express. 22 (11), 13234-13243 (2014).</li><li>Endo, H., Mochizuki, Y., Tamura, M., Kawai, T. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Fabrication+and+Functionalization+of+Periodically+Aligned+Metallic+Nanocup+Arrays+Using+Colloidal+Lithography+with+a+Sinusoidally+Wrinkled+Substrate.">Fabrication and Functionalization of Periodically Aligned Metallic Nanocup Arrays Using Colloidal Lithography with a Sinusoidally Wrinkled Substrate.</a> Langmuir. 29 (48), 15058-15064 (2013).</li><li>Wang, H., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Symmetry+breaking+in+individual+plasmonic+nanoparticles.">Symmetry breaking in individual plasmonic nanoparticles.</a> Proceedings of the National Academy of Sciences. 103 (29), 10856-10860 (2006).</li><li>Wollet, L., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Plasmon+hybridization+in+stacked+metallic+nanocups.">Plasmon hybridization in stacked metallic nanocups.</a> Optical Materials Express. 2 (10), 1384-1390 (2012).</li><li>Duempelmann, L., Casari, D., Luu-Dinh, A., Gallinet, B., Novotny, L. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Color+Rendering+Plasmonic+Aluminum+Substrates+with+Angular+Symmetry+Breaking.">Color Rendering Plasmonic Aluminum Substrates with Angular Symmetry Breaking.</a> ACS Nano. 9 (12), 12383-12391 (2015).</li><li>King, N. S., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Angle-+and+Spectral-Dependent+Light+Scattering+from+Plasmonic+Nanocups.">Angle- and Spectral-Dependent Light Scattering from Plasmonic Nanocups.</a> ACS Nano. 5 (9), 7254-7262 (2011).</li><li>Mirin, N. A., Halas, N. J. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Light-Bending+Nanoparticles.">Light-Bending Nanoparticles.</a> Nano Letters. 9 (3), 1255-1259 (2009).</li><li>Eggleston, M. S., Messer, K., Zhang, L., Yablonovitch, E., Wu, M. C. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Optical+antenna+enhanced+spontaneous+emission.">Optical antenna enhanced spontaneous emission.</a> Proceedings of the National Academy of Sciences. 112 (6), 1704-1709 (2015).</li><li>Bora, M., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Plasmonic+black+metals+in+resonant+nanocavities.">Plasmonic black metals in resonant nanocavities.</a> Applied Physics Letters. 102 (25), 251105 (2013).</li><li>Akselrod, G. M., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Efficient+Nanosecond+Photoluminescence+from+Infrared+PbS+Quantum+Dots+Coupled+to+Plasmonic+Nanoantennas.">Efficient Nanosecond Photoluminescence from Infrared PbS Quantum Dots Coupled to Plasmonic Nanoantennas.</a> ACS Photonics. , (2016).</li></ol>

このプロトコルは、プラズモニック金 nanocups の周期配列を製造するための低コストで効率的な方法を示します。電子線リソグラフィ、集束イオンビームなどのシリアルのトップダウン プロセスを回避するため、この手法は特に有利なフライス加工します。紹介したテクニックは、さらに処理するナノサイズのテンプレートとして機能する単純な方法で市販高分子ナノスフェアを自己組み立?...

サブ回折限られた回りくどい、強化された化学的検出と光センシング1 など、さまざまな刺激的な技術について改善ナノ加工と合成技術と組み合わせてプラズモニクスの出現を持ってください。 ,2,3。このプロトコルでは市販の高分子ナノスフェア、続いて金属蒸着、エッチング ・ ステップを用いたナノパターン プラズモニック基板の加工が可能な拡張性と比較的低コスト技術を紹介します。ナノパターン基板、電子ビーム露光4などを製造するための他の技術とは異なりこの手法を迅速かつ効率的に拡張する 300 mm ウェーハ、を超えて最小限の労力とを使用して、転送にステップ柔軟な生産と等角フィルム5。
ローマ時代から、我々 は、彼らが細かく分かれてときに金や銀などの特定の金属が華麗な光学特性を持つことが、知られています。今日、我々 はこれらの金属粒子が「局在表面プラズモン共鳴法」と呼ばれる効果を示すことを理解 (LSPR) の寸法ナノスケールに近づく。LSPR は特定の周波数の光が金属粒子を照らすときに弱く束縛電子金属のコヒーレントに振動定在波に似ています。異方性ナノ構造は、ユニークな光学共鳴は、対称性の破れ6,7,8の結果として現れることができる特に興味深いのです。
光と半殻 (nanocup) 構造の照明は電気双極子または入射光に対して基板の向き、金属の蒸着角度などの要因によって、磁気双極子のプラズモン モードを刺激できると、9入射光の分極。Nanocups は、しばしば三次元分割リング共振器、共振周波数ことができる LC 発振器10,11として近似に類似して考慮しています。ここで使用される高分子ナノスフェアのサイズの共振周波数 (170 nm)、寄託金の額 (20 nm)、エッチング レートをもたらす可視にまたがる共鳴周波数と赤外線の近く
伝送または反射基板用スピン コーティングによって、金 nanocups の光学特性を測定できます。提案するプロトコルの基質として 2 インチのシリコンウェハーを使用して金属蒸着後反射率測定を実行するを選びました。ハロゲン光源と分散型分光器と相まって顕微鏡を使用して測定を行った。金属蒸着の直後透過・反射測定を可能にするガラス基板を使用して成功を収めているも。さらに、この技術は簡単に拡大/縮小することができます、2 インチのウェハに限定されていません。質の高い単分散高分子ナノスフェアの広域商圏の状況等により異なるサイズ ナノスフェアを起動することによってこれらの構造の光学特性を調整するは簡単です。
このプロトコルはコロイド リソグラフィーを用いたナノ構造を示す異方性半シェル (または nanocup) 金を形成する技術。コロイド リソグラフィはすぐに金の薄層をコーティング スパッタ後プラズモニック基板にさらに処理できる基板をパターン化する高単分散高分子ナノ粒子の自己集合を使用します。同様に、金属蒸着中にサンプル基板を傾けることによって、基板の異方性を調整することが可能です。結果の構造は偏光感受型に形成されたナノ構造の異方性のため。ここでは、特定の 1 つを示すケースし、光学特性の評価を行い、透明で柔軟なフィルムに構造を転送するリフトオフ。

<table border="0" cellpadding="0" cellspacing="0" width="762">
	<tbody>
		<tr height="43">
			<td height="43" style="height:43px;width:204px;">Polystyrene microspheres</td>
			<td style="width:152px;">Bangs Laboratories, Inc.</td>
			<td style="width:209px;">PS02N</td>
			<td style="width:197px;">170 nm &#8211; 580 nm diameter</td>
		</tr>
		<tr height="43">
			<td height="43" style="height:43px;width:204px;">Silicon wafers</td>
			<td style="width:152px;">El-CAT, Inc.</td>
			<td style="width:209px;">3489</td>
			<td style="width:197px;">300 mm thick, one side polished [100]</td>
		</tr>
		<tr height="22">
			<td height="22" style="height:22px;width:204px;">Adhesive tape</td>
			<td style="width:152px;">3M</td>
			<td style="width:209px;">Scotch 600</td>
			<td style="width:197px;"></td>
		</tr>
		<tr height="22">
			<td height="22" style="height:22px;width:204px;">Spin coater</td>
			<td style="width:152px;">Laurell</td>
			<td style="width:209px;">WS-650-23B</td>
			<td style="width:197px;"></td>
		</tr>
		<tr height="22">
			<td height="22" style="height:22px;width:204px;">Plasma etcher</td>
			<td style="width:152px;">Nordson March&#160;</td>
			<td style="width:209px;">AP-600</td>
			<td style="width:197px;"></td>
		</tr>
		<tr height="22">
			<td height="22" style="height:22px;width:204px;">Microspectrophotometer</td>
			<td style="width:152px;">CRAIC</td>
			<td style="width:209px;">380-PV</td>
			<td style="width:197px;"></td>
		</tr>
		<tr height="22">
			<td height="22" style="height:22px;width:204px;">Sonicator</td>
			<td style="width:152px;">VWR</td>
			<td style="width:209px;">97043-932</td>
			<td style="width:197px;"></td>
		</tr>
		<tr height="22">
			<td height="22" style="height:22px;width:204px;">Scintillation vials</td>
			<td style="width:152px;">Wheaton</td>
			<td style="width:209px;">986734</td>
			<td style="width:197px;"></td>
		</tr>
		<tr height="22">
			<td height="22" style="height:22px;width:204px;">5 um syringe filter</td>
			<td>Millex</td>
			<td>SLSV025LS</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="22">
			<td height="22" style="height:22px;width:204px;">Oxygen gas</td>
			<td>Oxarc</td>
			<td>PO249&#160;</td>
			<td>Industrial Grade 99.5% purity</td>
		</tr>
		<tr height="22">
			<td height="22" style="height:22px;width:204px;">Vaccum pump</td>
			<td>Kurt J. Lesker</td>
			<td>Edwards 28</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="22">
			<td height="22" style="height:22px;">Disposable syringes</td>
			<td>Air Tite Products Co.</td>
			<td>14-817-25</td>
			<td>1 mL capacity</td>
		</tr>
		<tr height="22">
			<td height="22" style="height:22px;width:204px;">Water</td>
			<td>Sigma-Aldrich</td>
			<td>W4502</td>
			<td></td>
		</tr>
	</tbody>
</table>

fabrication of periodic gold nanocup arrays using colloidal lithography

近年、内プラズモニクスのフィールドは、研究者が新しいナノ加工技術との組み合わせで化学と光センシングに関わるエキサイティングなアプリケーションのように爆発しています。プラズモンは、金や銀のユニークな光学特性などのナノスケール金属を貸す電荷密度振動の量子です。特に、金と銀のナノ粒子は表面ナノ粒子の局在表面プラズモン共鳴集団電荷密度振動の可視スペクトルを表わします。ここでは、我々 は異方性プラズモニック ナノ構造体の周期的な配列の作製に焦点を当てます。これらの半分のシェル (または nanocup) の構造は、追加ユニークな光-曲げと偏光依存を表わすことができる光学特性が単純な等方性ナノ構造をことはできません。研究者は低コスト光デバイス、表面増強ラマン散乱などのアプリケーションのさまざまな nanocups の周期的な配列の作製に興味が散乱し、徴候を改ざん。簡単にスピン コーティングを使用して nanocups の大規模な周期配列を作製することが可能ですし、自己組織化高分子ナノスフェアの市販のコロイドのリソグラフィに基づくスケーラブルな手法を提案します。成功した nanocup の製作を確認する電子顕微鏡および分光可視から近赤外 (近赤外線) から行った最後に、nanocups の柔軟な等角の粘着フィルムへの転送のデモンストレーション。

170 nm 直径ポリスチレン ナノスフェアを用いた金 nanocups を調製しました。107 ° C で 2 分間アニールと 165 の 75 W、20 sccm O2プラズマ エッチング後 SEM (図 1) を使用して得られたフィルム s は特徴付けられました。スピン キャスト膜の品質を評価する光学顕微鏡に加え視覚検査を 5 月である (図 2) を使用します。質の高...

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Fabrication of Periodic Gold Nanocup Arrays Using Colloidal Lithography

コロイドのリソグラフィ技術を用いた定期金 nanocup アレイの試作、nanoplasmonic 映画の重要性を議論します。

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