Name: fabrication of flexible image sensor based on lateral nipin phototransistors
Uploaded: 2018-06-23T14:00:00
Description: Watch this Scientific Journal Video about Fabrication of Flexible Image Sensor Based on Lateral NIPIN Phototransistors at JoVE.com

Dit onderzoek werd gesteund door de creatieve materialen ontdekking programma via de nationale onderzoek Stichting van Korea (NRF) gefinancierd door het ministerie van wetenschap en ICT (NRF-2017M3D1A1039288). Ook werd dit onderzoek gesteund door het Instituut voor informatie en communicatie technologie promotie (IITP) subsidie gefinancierd door de regering van Korea (MSIP) (No.2017000709, geïntegreerde aanpak van fysiek unclonable cryptografische primitieven gebruiken willekeurige lasers en opto-elektronica).

Let op: Sommige chemische stoffen (dwz., fluorwaterstofzuur gebufferde oxide etchant, isopropyl alcohol, enz.) gebruikt in dit protocol kan worden gevaarlijk voor de gezondheid. Raadpleeg alle relevante veiligheidsinformatiebladen alvorens elke bereiding van de monsters plaatsvindt. Gebruiken van passende persoonlijke beschermingsmiddelen (bv., Labjassen, veiligheidsbrillen, handschoenen) en engineering van besturingselementen (bv., NAT station, fume hood) bij het verwerken van etchant...

<ol>
	<li>Ko, H. C., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=A+hemispherical+electronic+eye+camera+based+on+compressible+silicon+optoelectronics.">A hemispherical electronic eye camera based on compressible silicon optoelectronics.</a> Nature. 454, 748-753 (2008).</li><li>Song, Y. M., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Digital+cameras+with+designs+inspired+by+the+arthropod+eye.">Digital cameras with designs inspired by the arthropod eye.</a> Nature. 497 (7447), 95-99 (2013).</li><li>Jung, I., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Dynamically+tunable+hemispherical+electronic+eye+camera+system+with+adjustable+zoom+capability.">Dynamically tunable hemispherical electronic eye camera system with adjustable zoom capability.</a> Proceedings of the National Academy of Sciences of the United States of America. 108 (5), 1788-1793 (2011).</li><li>Floreano, D., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Miniature+curved+artificial+compound+eyes.">Miniature curved artificial compound eyes.</a> Proceedings of the National Academy of Sciences of the United States of America. 110 (23), 9267-9272 (2013).</li><li>Liu, H., Huang, Y., Jiang, H. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Artificial+eye+for+scotopic+vision+with+bioinspired+all-optical+photosensitivity+enhancer.">Artificial eye for scotopic vision with bioinspired all-optical photosensitivity enhancer.</a> Proceedings of the National Academy of Sciences of the United States of America. 113 (23), 3982-3985 (2016).</li><li>Pang, K., Fang, F., Song, L., Zhang, Y., Zhang, H. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Bionic+compound+eye+for+3D+motion+detection+using+an+optical+freeform+surface.">Bionic compound eye for 3D motion detection using an optical freeform surface.</a> Journal of the Optical Society of America B. 34 (5), B28-B35 (2017).</li><li>Lee, G. J., Nam, W. I., Song, Y. M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Robustness+of+an+artificially+tailored+fisheye+imaging+system+with+a+curvilinear+image+surface.">Robustness of an artificially tailored fisheye imaging system with a curvilinear image surface.</a> Optics &amp; Laser Technology. 96, 50-57 (2017).</li><li>Xu, X., Mihnev, M., Taylor, A., Forrest, S. R. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Organic+photodetector+arrays+with+indium+tin+oxide+electrodes+patterned+using+directly+transferred+metal+masks.">Organic photodetector arrays with indium tin oxide electrodes patterned using directly transferred metal masks.</a> Applied Physics Letters. 94 (4), 1-3 (2009).</li><li>Deng, W., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Aligned+single+-crystalline+perovskite+microwire+arrays+for+high+-performance+flexible+image+sensors+with+long+-term+stability.">Aligned single -crystalline perovskite microwire arrays for high -performance flexible image sensors with long -term stability.</a> Advanced Materials. 18 (11), 2201-2208 (2016).</li><li>Liu, X., Lee, E. K., Kim, D. Y., Yu, H., Oh, J. H. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Flexible+organic+phototransistor+array+with+enhanced+responsivity+via+metal-ligand+charge+transfer.">Flexible organic phototransistor array with enhanced responsivity via metal-ligand charge transfer.</a> ACS Applied Materials &amp; Interfaces. 8 (11), 7291-7299 (2016).</li><li>Li, X., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Constructing+fast+carrier+tracks+into+flexible+perovskite+photodetectors+to+greatly+improve+responsivity.">Constructing fast carrier tracks into flexible perovskite photodetectors to greatly improve responsivity.</a> ACS Nano. 11 (2), 2015-2023 (2017).</li><li>Li, L., Gu, L., Lou, Z., Fan, Z., Shen, G. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=ZnO+quantum+dot+decorated+Zn2SnO4+nanowire+heterojunction+photodetectors+with+drastic+performance+enhancement+and+flexible+ultraviolet+image+sensors.">ZnO quantum dot decorated Zn2SnO4 nanowire heterojunction photodetectors with drastic performance enhancement and flexible ultraviolet image sensors.</a> ACS Nano. 11 (4), 4067-4076 (2017).</li><li>Dumas, D., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Infrared+camera+based+on+a+curved+retina.">Infrared camera based on a curved retina.</a> Optics Letters. 37 (4), 653-655 (2012).</li><li>Dumas, D., Fendler, M., Baier, N., Primot, J., le Coarer, E. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Curved+focal+plane+detector+array+for+wide+field+cameras.">Curved focal plane detector array for wide field cameras.</a> Applied Optics. 51 (22), 5419-5424 (2012).</li><li>Gregory, J. A., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Development+and+application+of+spherically+curved+charge-coupled+device+imagers.">Development and application of spherically curved charge-coupled device imagers.</a> Applied Optics. 54 (10), 3072-3082 (2015).</li><li>Guenter, B., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Highly+curved+image+sensors:+a+practical+approach+for+improved+optical+performance.">Highly curved image sensors: a practical approach for improved optical performance.</a> Optics Express. 25 (12), 13010-13023 (2017).</li><li>Wu, T., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Design+and+fabrication+of+silicon-tessellated+structures+for+monocentric+imagers.">Design and fabrication of silicon-tessellated structures for monocentric imagers.</a> Microsystems &amp; Nanoengineering. 2, 16019 (2016).</li><li>Yoon, J., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Flexible+concentrator+photovoltaics+based+on+microscale+silicon+solar+cells+embedded+in+luminescent+waveguides.">Flexible concentrator photovoltaics based on microscale silicon solar cells embedded in luminescent waveguides.</a> Nature Communications. 2, 343 (2011).</li><li>Lee, S. M., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Printable+nanostructured+silicon+solar+cells+for+high-performance,+large-area+flexible+photovoltaics.">Printable nanostructured silicon solar cells for high-performance, large-area flexible photovoltaics.</a> ACS Nano. 8 (10), 10507-10516 (2014).</li><li>Kang, D., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Flexible+opto-fluidic+fluorescence+sensors+based+on+heterogeneously+integrated+micro-VCSELs+and+silicon+photodiodes.">Flexible opto-fluidic fluorescence sensors based on heterogeneously integrated micro-VCSELs and silicon photodiodes.</a> ACS Photonics. 3 (6), 912-918 (2016).</li><li>Van den Brand, J., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Flexible+and+stretchable+electronics+for+wearable+health+devices.">Flexible and stretchable electronics for wearable health devices.</a> Solid-State Electronics. , 116-120 (2015).</li><li>Yu, K. J., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Bioresorbable+silicon+electronics+for+transient+spatiotemporal+mapping+of+electrical+activity+from+the+cerebral+cortex.">Bioresorbable silicon electronics for transient spatiotemporal mapping of electrical activity from the cerebral cortex.</a> Nature Materials. 15, 782-791 (2015).</li><li>Kim, M. S., Lee, G. J., Kim, H. M., Song, Y. M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Parametric+optimization+of+lateral+NIPIN+phototransistors+for+flexible+image+sensors.">Parametric optimization of lateral NIPIN phototransistors for flexible image sensors.</a> Sensors. 17 (8), 1774 (2017).</li><li>Kim, D. H., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Stretchable+and+foldable+silicon+integrated+circuits.">Stretchable and foldable silicon integrated circuits.</a> Science. 320, 507-511 (2008).</li><li>Shin, K. S., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Characterization+of+an+integrated+fluorescence-detection+hybrid+device+with+photodiode+and+organic+light-emitting+diode.">Characterization of an integrated fluorescence-detection hybrid device with photodiode and organic light-emitting diode.</a> IEEE Electron Device Letters. 27 (9), 746-748 (2006).</li><li>Lu, N. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Mechanics,+materials,+and+functionalities+of+biointegrated+electronics.">Mechanics, materials, and functionalities of biointegrated electronics.</a> The Bridge. 43 (4), 31-38 (2013).</li><li>Burghartz, J. N., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Ultra-thin+chip+technology+and+applications,+a+new+paradigm+in+silicon+technology.">Ultra-thin chip technology and applications, a new paradigm in silicon technology.</a> Solid-State Electronics. 54 (9), 818-829 (2010).</li><li>Shin, G., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Micromechanics+and+advanced+designs+for+curved+photodetector+arrays+in+hemispherical+electronic-eye+cameras.">Micromechanics and advanced designs for curved photodetector arrays in hemispherical electronic-eye cameras.</a> Small. 6 (7), 851-856 (2010).</li><li>Jung, I., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Paraboloid+electronic+eye+cameras+using+deformable+arrays+of+photodetectors+in+hexagonal+mesh+layouts.">Paraboloid electronic eye cameras using deformable arrays of photodetectors in hexagonal mesh layouts.</a> Applied Physics Letters. 96 (2), 21110 (2010).</li></ol>

De fabricage technologie beschreven hier bijdraagt aanzienlijk aan de ontwikkeling van geavanceerde elektronica en draagbare apparaten. De fundamentele concepten van deze aanpak gebruikt een dun membraan van Si en metalen interconnectoren staat uit te rekken. Hoewel Si een Bros en hard materiaal dat gemakkelijk kan worden gebroken is, kunt een zeer dunne laag van de Si verkrijgen een flexibiliteit26,27. In het geval van de metalen interconnector biedt de golvende...

Bio-geïnspireerde imaging systemen bieden veel voordelen ten opzichte van de conventionele beeldvorming systemen1,2,3,4,5. Netvlies of halfronde ommatidia is een wezenlijk onderdeel van biologisch visuele systeem1,2,6. Een gebogen beeldsensor, die de kritische element van dierlijke ogen bootst, kan een compacte en eenvoudige configuratie van optische systemen met lage aberraties7bieden. Diverse vorderingen van fabricage technieken en materialen, bijvoorbeeld het gebruik van intrinsiek zachte materialen zoals biologisch/nanomaterialen8,9,10,11, 12 en het binnenbrengen van vervormbare structuren voor halfgeleiders zoals silicium (Si) en germanium (Ge)1,2,3,13,14, 15,16,17, beseffen de gebogen beeldsensors. Onder hen bieden Si-gebaseerde benaderingen inherente voordelen zoals een overvloed aan materiaal, volgroeide technologie, stabiliteit en optische/elektrische superioriteit. Om deze reden, hoewel Si ingebouwde starheid en broosheid heeft, zijn Si gebaseerde flexibele elektronica wijd bestudeerd voor diverse toepassingen, zoals flexibele opto-elektronica18,19,20 inclusief gebogen beeld sensoren1,2,3, en zelfs draagbare gezondheidszorg apparaten21,22.
In een recente studie, we geanalyseerd en verbeterd de elektrische prestaties van een dunne Si foto-elektrische cel matrix23. In deze studie is de optimale eenheid-cel van de gebogen foto-elektrische cel-matrix een fototransistor (PTR) type dat uit een fotodiode en blokkerende diode bestaat. De basis junction winst versterkt een gegenereerde photocurrent, en vandaar het vertoont een route om een elektrische prestaties met een dunne film-structuur te verbeteren. Naast de eencellige is de structuur van de dunne film geschikt om te onderdrukken een donkere stroom, die wordt beschouwd als ruis in de foto-elektrische cel. Met betrekking tot doping concentratie is een concentratie groter dan 1015 cm-3 voldoende om een uitzonderlijke prestaties, waarin de diode kenmerken kunnen worden gehandhaafd met een lage intensiteit 10-3 W/cm2 23 . Bovendien, de PTR eencellige heeft een lage kolom ruis en optisch/elektrisch stabiele eigenschappen vergeleken met die van de fotodiode. Op basis van deze regels voor het ontwerp, wij een flexibele foto-elektrische cel-matrix die bestaat uit dunne Si PTRs met behulp van een silicium-op-isolator (SOI) wafer gefabriceerd. In het algemeen, is een belangrijk ontwerp regel van flexibel beeldsensoren de neutrale mechanische vliegtuig concept dat de positie door de dikte van de structuur waar stammen nul voor een willekeurig kleine r24 zijnbepaalt. Een ander cruciaal punt is een serpentine geometrie van de elektrode omdat een golvende vorm volledig omkeerbaar rekbaarheid op de elektrode biedt. Als gevolg van deze twee belangrijke ontwerpconcepten kunnen de foto-elektrische cel-matrix flexibel en rekbaar. Het vergemakkelijkt de 3D vervorming van de foto-elektrische cel-matrix in een halfronde vorm of een gebogen vorm zoals het netvlies van dierlijke ogen2.
In dit werk, we detail van de procédés voor de fabricage van de gebogen PTR-array gebruikmakend van halfgeleider fabricage processen (b.v., doping, etsen en afzetting) en overdracht afdrukken. Ook karakteriseren wij een enkele PTR in termen van een curve-V. Naast de fabricage methode en individuele cel analyse, wordt de elektrische functie van de PTR-matrix geanalyseerd in misvormde Staten.

<table border="0" cellpadding="0" cellspacing="0" width="757">
	<tbody>
		<tr height="76">
			<td height="76" style="height:76px;width:216px;">MBJ3</td>
			<td style="width:185px;">karl suss</td>
			<td style="width:129px;">MJB3 UV400 MASK ALIGNER</td>
			<td style="width:227px;">Mask aligner</td>
		</tr>
		<tr height="42">
			<td height="42" style="height:42px;width:216px;">80 plus RIE</td>
			<td style="width:185px;">Oxford instruments</td>
			<td style="width:129px;">Plasmalab 80 Plus for RIE</td>
			<td style="width:227px;">ICP-RIE</td>
		</tr>
		<tr height="42">
			<td height="42" style="height:42px;width:216px;">80 plus PECVD</td>
			<td style="width:185px;">Oxford instruments</td>
			<td style="width:129px;">Plasmalab 80 Plus forPECVD,</td>
			<td style="width:227px;">PECVD</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:216px;">&#160;SF-100ND</td>
			<td style="width:185px;">Rhabdos Co., Ltd.</td>
			<td style="width:129px;">SF-100ND</td>
			<td style="width:227px;">Spin coater</td>
		</tr>
		<tr height="63">
			<td height="63" style="height:63px;width:216px;">Polyimide</td>
			<td>Sigma-Aldrich</td>
			<td style="width:129px;">575771</td>
			<td style="width:227px;">Poly(pyromellitic dianhydride-co-4,4&#8242;-oxydianiline), amic acid solution</td>
		</tr>
		<tr height="63">
			<td height="63" style="height:63px;width:216px;">SOI (silicon on insulator) wafer, 8inch</td>
			<td style="width:185px;">Soitec</td>
			<td style="width:129px;">SOI (silicon on insulator) wafer, 8inch</td>
			<td style="width:227px;">8inch SOI Wafer (silicon Thickness: 1.25&#956;m)</td>
		</tr>
		<tr height="42">
			<td height="42" style="height:42px;width:216px;">Acetone</td>
			<td style="width:185px;">Duksan Pure Chemicals Co., Ltd.</td>
			<td style="width:129px;">3051</td>
			<td style="width:227px;">Acetone</td>
		</tr>
		<tr height="42">
			<td height="42" style="height:42px;width:216px;">Isopropyl Alcohol (IPA)</td>
			<td style="width:185px;">Duksan Pure Chemicals Co., Ltd.</td>
			<td style="width:129px;">4614</td>
			<td style="width:227px;">Isopropyl Alcohol (IPA)</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:216px;">Buffered Oxide Etch 6:1</td>
			<td style="width:185px;">Avantor</td>
			<td style="width:129px;">1278</td>
			<td style="width:227px;">Buffered Oxide Etch 6:1</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:216px;">HSD150-03P</td>
			<td style="width:185px;">Misung Scientific Co., Ltd</td>
			<td style="width:129px;">HSD150-03P</td>
			<td style="width:227px;">Hot plate</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;">AZ5214</td>
			<td style="width:185px;">Microchemical</td>
			<td style="width:129px;">AZ5214</td>
			<td>Photoresist</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;">MIF300</td>
			<td style="width:185px;">Microchemical</td>
			<td style="width:129px;">MIF300</td>
			<td>Developer</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:216px;">SYLGARD184</td>
			<td style="width:185px;">Dow Corning</td>
			<td style="width:129px;">SYLGARD184</td>
			<td>Polydimethylsiloxane elastomer</td>
		</tr>
		<tr height="42">
			<td height="42" style="height:42px;">Hydrofluoric Acid&#160;</td>
			<td style="width:185px;">Duksan Pure Chemicals Co., Ltd.</td>
			<td style="width:129px;">2919</td>
			<td>Hydrofluoric Acid&#160;</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:216px;">CR-7</td>
			<td style="width:185px;">KMG Chemicals, Inc</td>
			<td style="width:129px;">210023</td>
			<td>Chrome mask etchant</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:216px;">MFCD07370792</td>
			<td>Sigma-Aldrich</td>
			<td style="width:129px;">651842</td>
			<td>Gold etchant</td>
		</tr>
	</tbody>
</table>

fabrication of flexible image sensor based on lateral nipin phototransistors

Flexibele fotodetectoren intens hebben onderzocht voor het gebruik van gebogen beeldsensoren, die een essentieel onderdeel in bio-geïnspireerde beeldvormingssystemen, maar verschillende uitdagende punten blijven, zoals een laag absorptie-efficiëntie als gevolg van een actieve laagje en lage flexibiliteit. We presenteren een geavanceerde methode om een flexibele fototransistor matrix met een elektrische prestatieverbetering. De uitstekende elektrische prestaties wordt gedreven door een laag donkere stroom als gevolg van diepe onzuiverheid doping. Elastische en flexibele metalen interconnectoren bieden tegelijkertijd elektrische en mechanische stabilities in een sterk vervormde toestand. Het protocol wordt expliciet beschreven het fabricageproces van de fototransistor met behulp van een dunne silicium-membraan. Door het meten van I-V kenmerken van het afgesloten apparaat in misvormde Staten, we laten zien dat deze aanpak de mechanische en elektrische stabilities van de fototransistor matrix verbetert. Wij verwachten dat deze benadering van een flexibele fototransistor breed inzetbaar voor de toepassingen van niet alleen de volgende-generatie imaging systemen/opto-elektronica, maar ook draagbare apparaten zoals tactiele/druk/temperatuur sensoren en gezondheid monitoren.

Figuur 3a en 3b weergeven de ontworpen en gefabriceerde structuur van NIPIN PTR gelet op eerdere studies2,23. De inzet in Figuur 3a vertoont een fundamentele I-V kenmerk van PTR. De gedetailleerde structurele parameters van PTR staan in Figuur 3b. De doping proces voor een Si-laag op een wafer SOI werd uitgevoerd met behulp v...

Watch this Scientific Journal Video about Fabrication of Flexible Image Sensor Based on Lateral NIPIN Phototransistors at JoVE.com

Fabrication of Flexible Image Sensor Based on Lateral NIPIN Phototransistors

Fabricage van flexibele beeldsensor op basis van laterale NIPIN fototransistoren

Presenteren we een gedetailleerde methode om een vervormbare laterale NIPIN fototransistor array voor gebogen beeldsensors. De fototransistor matrix met een open mesh-formulier, dat is samengesteld uit dunne silicium-eilanden en rekbare metalen interconnectoren, biedt flexibiliteit en rekbaarheid. De parameter analyzer kenmerkt de elektrische eigenschap van de gefabriceerde fototransistor.

Flexible photodetectors have been intensely studied for the use of curved image sensors, which are a crucial component in bio-inspired imaging systems, ...

Research

JoVE Journal

Engineering

Fabrication Process of Silicone-based Dielectric Elastomer Actuators

Fabricageproces van siliconen gebaseerde diëlektrische Elastomer Actuators

This contribution demonstrates the fabrication process of dielectric elastomer transducers (DETs). DETs are stretchable capacitors consisting of an ...

Effect of Bending on the Electrical Characteristics of Flexible Organic Single Crystal-based Field-effect Transistors

Effect van Buigen op de elektrische eigenschappen van flexibele organische Single Crystal-gebaseerde field-effect transistors

The charge transport in an organic semiconductor depends highly on the molecular packing in the crystal, which influences the electronic coupling ...

Scalable Solution-processed Fabrication Strategy for High-performance, Flexible, Transparent Electrodes with Embedded Metal Mesh

Schaalbare Oplossing-Verwerkte Fabricage Strategie voor High Performance, Flexibele, Transparante Elektroden Met Embedded Metal Mesh

Here, the authors report the embedded metal-mesh transparent electrode (EMTE), a new transparent electrode (TE) with a metal mesh completely embedded in a ...

A Fabrication and Measurement Method for a Flexible Ferroelectric Element Based on Van Der Waals Heteroepitaxy

Een fabricage- en meetmethode voor een flexibele ferroelektrische Element op basis van Van Der Waals Heteroepitaxy

Flexible non-volatile memories have received much attention as they are applicable for portable smart electronic device in the future, relying on ...

Fabrication and Design of Wood-Based High-Performance Composites

Fabricage en ontwerp van op hout gebaseerde hoogwaardige composieten

Delignified densified wood is a new promising and sustainable material that possesses the potential to replace synthetic materials, such as glass fiber ...

Fabrication of Surface Acoustic Wave Devices on Lithium Niobate

Fabricage van Surface Acoustic Wave-apparaten op lithium niobate

Manipulation of fluids and particles by acoustic actuation at small scale is aiding the rapid growth of lab-on-a-chip applications. Megahertz-order ...

In Situ Transmission Electron Microscopy with Biasing and Fabrication of Asymmetric Crossbars Based on Mixed-Phased a-VOx

In Situ Transmission Electron Microscopy with Biasing and Fabrication of Asymmetric Crossbars Based on Mixed-Phased a-VOx

In Situ Transmission Electron Microscopy met biasing en fabricage van asymmetrische dwarsbalken op basis van gemixte a-VOx

Resistive switching crossbar architecture is highly desired in the field of digital memories due to low cost and high-density benefits. Different ...

Fabrication of a Fabry-P&#233;rot Etalon for Application in Trace-Gas Spectroscopy

Fabrication of a Low-Cost, Fiber-Coupled, and Air-Spaced Fabry-P&#233;rot Etalon

Fabricage van een goedkope, vezelgekoppelde en lucht-gespreide Fabry-Pérot Etalon

Fabry-P&#233;rot etalons (FPE) have found their way into many applications. In fields such as spectroscopy, telecommunications, and astronomy, FPEs are ...

Microfluidic Channel-Based Soft Electrodes for Capacitive Pressure Sensing

Microfluidic Channel-Based Soft Electrodes and Their Application in Capacitive Pressure Sensing

Microfluidic Channel-Based Soft Electrodes and Their Application in Capacitive Pressure Sensing (Video) | JoVE 

Microfluïdische kanaalgebaseerde zachte elektroden en hun toepassing in capacitieve drukdetectie

Flexible and stretchable electrodes are essential components in soft artificial sensory systems. Despite recent advances in flexible electronics, most ...

Revolutionizing Stroke Rehabilitation with Enhanced Grasping and Finger Recovery

A Flexible Wearable Supernumerary Robotic Limb for Chronic Stroke Patients

Enhancing Grasping Abilities for Hemiplegic Patients with Flexible Robotic Limbs (Video) | JoVE

Een flexibele, draagbare boventallige robotledemaat voor patiënten met een chronische beroerte

In this study, we present a flexible wearable supernumerary robotic limb that helps chronic stroke patients with finger rehabilitation and grasping ...