Name: one-step approach to fabricating polydimethylsiloxane microfluidic channels of different geometric sections by sequential wet etching processes
Uploaded: 2018-09-13T14:00:00
Description: Watch this Scientific Journal Video about One-Step Approach to Fabricating Polydimethylsiloxane Microfluidic Channels of Different Geometric Sections by Sequential Wet Etching Processes at JoVE.com

Les auteurs remercient l’appui fourni par le National santé recherche Instituts (INRH) à Taïwan sous l’innovants Research Grant (IRG) (EX106-10523EI), le Taiwan Ministère de la Science et la technologie (plus 104-2218-E-032-004, 104 - 2221 - E-001-015-My3, 105-2221-E-001-002-MY2, 105-2221-E-032-006, 106-2221-E-032-018-MY2) et de l’Academia Sinica Career Development Award. Les auteurs tiens à remercier Hsu Heng-Hua pour la relecture du manuscrit.

1. fabrication des dispositifs microfluidiques avec des présentations de canal simple couche
NOTE : Dans cet article, la lithographie douce méthode3 est adopté pour la fabrication des dispositifs microfluidiques en matières PDMS, pour montrer comment fabriquer des canaux avec différentes sections.
<ol><li>
Création de moules maîtres pour une couche PDMS avec des caractéristiques de conception de topologie
	<ol>
<li>Mises en page de canal sur ...

<ol>
	<li>Tung, Y. -. C., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Optofluidic+Detection+for+Cellular+Phenotyping.">Optofluidic Detection for Cellular Phenotyping.</a> Lab on a Chip. 12, 3552-3565 (2012).</li><li>Lu, Y., Yang, L., Wei, W., Shi, Q. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Microchip-based+Single-cell+Functional+Proteomics+for+Biomedical+Applications.">Microchip-based Single-cell Functional Proteomics for Biomedical Applications.</a> Lab on a Chip. 17, 1250-1263 (2017).</li><li>Jensen, K. F., Reizman, B. J., Newman, S. G. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Tools+for+Chemical+Synthesis+in+Microsystems.">Tools for Chemical Synthesis in Microsystems.</a> Lab on a Chip. 14, 3206-3212 (2014).</li><li>Chang, C. -. W., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=A+Polydimethylsiloxane-polycarbonate+Hybrid+Microfluidic+Device+Capable+of+Generating+Perpendicular+Chemical+and+Oxygen+Gradients+for+Cell+Culture+Studies.">A Polydimethylsiloxane-polycarbonate Hybrid Microfluidic Device Capable of Generating Perpendicular Chemical and Oxygen Gradients for Cell Culture Studies.</a> Lab on a Chip. 14, 3762-3772 (2014).</li><li>Mosadegh, B., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Integrated+Elastomeric+Components+for+Autonomous+Regulation+of+Sequential+and+Oscillatory+Flow+Switching+in+Microfluidic+Devices.">Integrated Elastomeric Components for Autonomous Regulation of Sequential and Oscillatory Flow Switching in Microfluidic Devices.</a> Nature Physics. 6, 433-437 (2010).</li><li>Choi, S., Park, J. -. K. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Tuneable+Hydrophoretic+Separation+Using+Elastic+Deformation+of+Poly(Dimethylsiloxane).">Tuneable Hydrophoretic Separation Using Elastic Deformation of Poly(Dimethylsiloxane).</a> Lab on a Chip. 9, 1962-1965 (2009).</li><li>Choi, S., Song, S., Choi, C., Park, J. -. K. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Microfluidic+Self-Sorting+of+Mammalian+Cells+to+Achieve+Cell+Cycle+Synchrony+by+Hydrophoresis.">Microfluidic Self-Sorting of Mammalian Cells to Achieve Cell Cycle Synchrony by Hydrophoresis.</a> Analytical Chemistry. 81, 1964-1968 (2009).</li><li>VanDelinder, V., Groisman, A. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Separation+of+Plasma+from+Whole+Human+Blood+in+a+Continuous+Cross-Flow+in+a+Molded+Microfluidic+Device.">Separation of Plasma from Whole Human Blood in a Continuous Cross-Flow in a Molded Microfluidic Device.</a> Analytical Chemistry. 78, 3765-3771 (2006).</li><li>VanDelinder, V., Groisman, A. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Perfusion+in+Microfluidic+Cross-Flow:+Separation+of+White+Blood+Cells+from+Whole+Blood+and+Exchange+of+Medium+in+a+Continuous+Flow.">Perfusion in Microfluidic Cross-Flow: Separation of White Blood Cells from Whole Blood and Exchange of Medium in a Continuous Flow.</a> Analytical Chemistry. 79, 2023-2030 (2007).</li><li>Duffy, D. C., McDonald, J. C., Schueller, O. J., Whitesides, G. M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Rapid+Prototyping+of+Microfluidic+Systems+in+Poly(dimethylsiloxane).">Rapid Prototyping of Microfluidic Systems in Poly(dimethylsiloxane).</a> Analytical Chemistry. 70 (23), 4974-4984 (1998).</li><li>Xia, Y., Whitesides, G. M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Soft+Lithography.">Soft Lithography.</a> Annual Review of Material Science. 28, 153-184 (1998).</li><li>Mello, A. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Plastic+Fantastic?.">Plastic Fantastic?.</a> Lab on a Chip. 2, 31N-36N (2002).</li><li>Choi, S., Park, J. -. K. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Two-step+Photolithography+to+Fabricate+Multilevel+Microchannels.">Two-step Photolithography to Fabricate Multilevel Microchannels.</a> Biomicrofluidics. 4, 046503 (2010).</li><li>Zhong, K., Gao, Y., Li, F., Zhang, Z., Luo, N. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Fabrication+of+PDMS+Microlens+Array+by+Digital+Maskless+Grayscale+Lithography+and+Replica+Molding+Technique.">Fabrication of PDMS Microlens Array by Digital Maskless Grayscale Lithography and Replica Molding Technique.</a> Optik. 125, 2413-2416 (2013).</li><li>Brower, K., White, A. K., Fordyce, P. M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Multi-step+Variable+Height+Photolithography+for+Valved+Multilayer+Microfluidic+Devices.">Multi-step Variable Height Photolithography for Valved Multilayer Microfluidic Devices.</a> Journal of Visualized Experiments. (119), e55276 (2017).</li><li>Lai, D., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Simple+Multi-level+Microchannel+Fabrication+by+Pseudo-grayscale+Backside+Diffused+Light+Lithography.">Simple Multi-level Microchannel Fabrication by Pseudo-grayscale Backside Diffused Light Lithography.</a> RSC Advances. 3, 19467-19473 (2013).</li><li>Huh, D., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Reconstituting+Organ-Level+Lung+Functions+on+a+Chip.">Reconstituting Organ-Level Lung Functions on a Chip.</a> Science. 328, 1662-1668 (2010).</li><li>Deng, Y. -. L., Juang, Y. -. J. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Polydimethyl+Siloxane+Wet+Etching+for+Three-Dimensional+Fabrication+of+Microneedle+Array+and+High-Aspect-Ratio+Micropillars.">Polydimethyl Siloxane Wet Etching for Three-Dimensional Fabrication of Microneedle Array and High-Aspect-Ratio Micropillars.</a> Biomicrofluidics. 8, 026502 (2014).</li><li>Tung, Y. -. C., Kurabayashi, K. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Nanoimprinted+Strain-controlled+Elastomeric+Gratings+for+Optical+Wavelength+Tuning.">Nanoimprinted Strain-controlled Elastomeric Gratings for Optical Wavelength Tuning.</a> Applied Physics Letters. 86, 161113 (2005).</li><li>Tung, Y. -. C., Kurabayashi, K. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=A+Single-Layer+PDMS-On-Silicon+Hybrid+Microactuator+with+Multi-Axis+Out-Of-Plane+Motion+Capabilities-Part+II:+Fabrication+and+Characterization.">A Single-Layer PDMS-On-Silicon Hybrid Microactuator with Multi-Axis Out-Of-Plane Motion Capabilities-Part II: Fabrication and Characterization.</a> Journal of Microelectromechanical Systems. 14, 558-566 (2005).</li><li>Chen, W., Lam, R. H. W., Fu, J. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Photolithographic+Surface+Micromachining+of+Polydimethylsiloxane+(PDMS).">Photolithographic Surface Micromachining of Polydimethylsiloxane (PDMS).</a> Lab on a Chip. 12, 391-395 (2012).</li><li>Balakrisnan, B., Patil, S., Smela, E. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Patterning+PDMS+Using+a+Combination+of+Wet+and+Dry+Etching.">Patterning PDMS Using a Combination of Wet and Dry Etching.</a> Journal of Micromechanics and Microengineering. 19, 047002 (2009).</li><li>Takayama, S., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Topographical+Micropatterning+of+Poly(dimethylsiloxane)+Using+Laminar+Flows+of+Liquids+in+Capillaries.">Topographical Micropatterning of Poly(dimethylsiloxane) Using Laminar Flows of Liquids in Capillaries.</a> Advanced Materials. 13, 570-574 (2001).</li><li>Friend, J., Yeo, L. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Fabrication+of+Microfluidic+Devices+Using+Polydimethylsiloxane.">Fabrication of Microfluidic Devices Using Polydimethylsiloxane.</a> Biomicrofluidics. 4, 026502 (2010).</li><li>. NANO SU-8 2000 Negative Tone Photoresist formulations 2002-2025 Available from: <a target="_blank" href="https://www.seas.upenn.edu/~nanosop/documents/SU8_2002-2025.pdf">https://www.seas.upenn.edu/~nanosop/documents/SU8_2002-2025.pdf</a> (2000)</li><li>. NANO SU-8 2000 Negative Tone Photoresist formulations 2035-2100 Available from: <a target="_blank" href="https://www.seas.upenn.edu/~nanosop/documents/SU8_2035-2100.pdf">https://www.seas.upenn.edu/~nanosop/documents/SU8_2035-2100.pdf</a> (2000)</li><li>Hardt, S., Sch&#246;nfeld, F. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Laminar+Mixing+in+Different+Interdigital+Micromixers:+II.+Numerical+Simulations.">Laminar Mixing in Different Interdigital Micromixers: II. Numerical Simulations.</a> AIChE Journal. 49, 578-584 (2003).</li><li>Hessel, V., L&#246;we, H., Sch&#246;nfeld, F. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Micromixers-A+Review+on+Passive+and+Active+Mixing+Principles.">Micromixers-A Review on Passive and Active Mixing Principles.</a> Chemical Engineering Science. 60, 2479-2501 (2005).</li><li>Damiati, S., Kompella, U., Damiati, S., Kodzius, R. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Microfluidic+Devices+for+Drug+Delivery+Systems+and+Drug+Screening.">Microfluidic Devices for Drug Delivery Systems and Drug Screening.</a> Genes. 9, 103 (2018).</li><li>Wang, C. -. K., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Single+Step+Sequential+Polydimethylsiloxane+Wet+Etching+to+Fabricate+a+Microfluidic+Channel+with+Various+Cross-Sectional+Geometries.">Single Step Sequential Polydimethylsiloxane Wet Etching to Fabricate a Microfluidic Channel with Various Cross-Sectional Geometries.</a> Journal of Micromechanics and Microengineering. 27, 115003 (2017).</li></ol>

Durant les dernières décennies, la microfluidique a offert moyen prometteur par lequel des plateformes expérimentales pour la recherche biomédicale et chimique peuvent être construit systématiquement1,2,3,4, 5. Les plates-formes ont également présenté leurs capacités d’enquêter sur plusieurs fonctions cellulaires in vivo dans des conditi...

Techniques microfluidiques ont attiré l’attention ces dernières décennies en raison de leurs avantages intrinsèques pour une variété d’applications et de la recherche biomédicale et chimique. Plusieurs options d’utilisation de matériaux pour la construction de puces microfluidiques sont disponibles de nos jours, par exemple, polymères, céramiques et matériaux de silicium. Au meilleur de notre connaissance, parmi les matières de la microfluidique, PDMS est le plus commun en raison de ses propriétés matérielles appropriées pour divers dispositifs microfluidiques recherche et applications, y compris ses compatibilités optiques et biologiques avec des particules, fluides et les organismes vivants extrêmement faible1,2,3,4,5. En outre, les propriétés mécaniques surfaces chimique et la structure des matériaux PDMS peuvent être ajustées pour faciliter les études microélectromécaniques et mechanobiological en appliquant ces de dispositifs microfluidiques à base de polymères10, 11,,12. En ce qui concerne la fabrication des dispositifs microfluidiques avec les modèles de canaux conçu, méthodes de moulage réplique Lithographie douce sont généralement appliqués pour créer des canaux microfluidiques en utilisant leurs moules maîtres correspondants qui sont composées de couches de résine photosensible photolithographie à motifs et de substrats silicon wafer12. En raison de la nature des approches à l’aide de plaquettes de silicium avec des couches de résine photosensible à motifs de moulage, les canaux microfluidiques ont généralement des coupes régulières de formes rectangulaires avec des hauteurs identiques.
Récemment, les chercheurs ont fait des progrès significatifs dans des études biomédicales qui traitent, par exemple, les particules et les cellules à l’aide de hydrophoresis, qui sépare le plasma sanguin et enrichir les globules blancs en appliquant des puces microfluidiques avec chaînes de tri différentes hauteurs ou géométriques sections6,7,8,9. Ces tri et séparation des fonctions de microfluidique pour applications biomédicales sont réalisées en personnalisant les canaux avec différentes sections géométriques. Plusieurs études ont été consacrées à la fabrication des canaux microfluidiques avec des coupes transversales caractéristiques différentes géométries de fabrication moules maîtres avec des profils de surface spécifiques de différentes hauteurs ou coupes non rectangulaire. Ces études sur la fabrication de moule comprennent des techniques telles que la photolithographie multi-étapes, photoresist refusion et Lithographie gris13,14,15. Inévitablement, les techniques actuelles impliquent photomasks finement ouvragé ou un alignement précis dans les procédés de fabrication de plusieurs étapes qui peuvent améliorer considérablement les niveaux de complexité de la fabrication correspondante des canaux microfluidiques. Jusqu'à présent, plusieurs tentatives ont été faites sur les techniques de fabrication de la seule étape pour canaux microfluidiques de différentes sections, mais les techniques respectives sont très limitées à des formes spécifiques et transversales des canaux16.
Pendant les deux dernières décennies, en plus des approches de moulage pour la fabrication de PDMS, canaux microfluidiques avec différentes sections, techniques de structuration des canaux PDMS avec des caractéristiques géométriques de gravure sont devenus la fabrication de choix dans une variété de applications de la microfluidique. Par exemple, gravure humide PDMS est exploitée avec le PDMS multicouche de liaison pour la construction d’un dispositif de culture cellulaire a actionnement pneumatique de microfluidique avec reconstitué au niveau de l’organe poumon fonctions17. Le PDMS mouillé gravure technique est employé avec coulée de PDMS sur puits cylindriques usinés par des systèmes de contrôle assisté par ordinateur de fabrication 3D PDMS micro aiguille tableaux18. Gravure sèche PDMS est utilisée pour faire des microstructures PDMS comme pièces d’actionneurs électromécaniques micro19,20. Membranes poreuses de PDMS avec des présentations de pore conçus sont également fabriqués par le biais de procédés de gravure sèche21. Fois le mouillé et les techniques de gravure sèche peuvent être intégrés dans les films PDMS avec des formes géométriques désigné22le patterning.
Cependant, les techniques de gravure pour la formation de PDMS canal des structures complexe section formes n’ont pas été couramment appliquées à cause de leurs limitations intrinsèques sur fabrication microfluidiques. Tout d’abord, tandis que les techniques de gravure humide PDMS utilisant des écoulements laminaires de produits chimiques pour créer des canaux microfluidiques des diverses sections ont été établies, la formation de section canal ultérieure est encore limitée en raison des caractéristiques de base 23les processus de gravure chimique isotrope. En outre, même si il semble y avoir un espace raisonnable pour contrôler les géométries de section de canal dans une fabrication de microfluidique utilisant le PDMS sec gravure techniques20, le temps requis de la gravure est généralement trop long (en termes d’heures) pour être pratique pour la fabrication de puces microfluidiques. En outre, la sélectivité de la gravure entre matériaux PDMS et le masquage correspondant des couches de résine photosensible peuvent être faibles en général, et les profondeurs gravés a entraîné pour les canaux sont donc pas acceptables20.
Dans cet article, nous développons une approche en une seule étape pour fabriquer des canaux microfluidiques de différentes coupes géométriques par des procédés de gravure humide séquentielle de PDMS (ci-après dénommés SWEP). La SWEP commencent par un dispositif microfluidique PDMS avec chaînes simple couche. Avec divers schémas de configuration des canaux, canaux microfluidiques avec différentes sections géométriques de divers genres de fabrication est possible au moyen de procédés de gravure séquentielle. La gravure séquentielle doit seulement un mordançage destinés à être introduits dans des canaux spécifiques des dispositions prévues monocouche incorporées dans les matériaux PDMS. Par rapport aux procédés de fabrication de PDMS conventionnels, la SWEP nécessitent juste un pas de plus pour fabriquer des canaux microfluidiques des sections non rectangulaire ou à différentes hauteurs. Le projet SWEP offrent un moyen simple et direct de fabrication des canaux microfluidiques avec différentes sections le long de la direction du flux, qui peut considérablement simplifier les processus dans les méthodes susmentionnées.

<table border="0" cellpadding="0" cellspacing="0" width="731">
	<tbody>
		<tr height="20">
			<td height="20" style="height:20px;width:211px;">1-Methyl-2-Pyrrolidinone</td>
			<td style="width:217px;">Tedia, Fairfield, OH</td>
			<td style="width:135px;">ME-1962</td>
			<td style="width:168px;">NMP</td>
		</tr>
		<tr height="20">
			<td height="20" style="height:20px;width:211px;">10 ml Syringe</td>
			<td style="width:217px;">Becton-Dickinson, Franklin Lakes, NJ</td>
			<td style="width:135px;">302151</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="20">
			<td height="20" style="height:20px;width:211px;">150 mm Petri dish</td>
			<td style="width:217px;">Dogger Science</td>
			<td style="width:135px;">DP-43151</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="35">
			<td height="35" style="height:35px;width:211px;">1H,1H,2H,2H- Perfluorooctyltrichlorosilane</td>
			<td style="width:217px;">Alfa Aesar, Ward Hill, MA</td>
			<td style="width:135px;">L16606</td>
			<td>97 % silane&#160;</td>
		</tr>
		<tr height="20">
			<td height="20" style="height:20px;width:211px;">4&#39;&#39; Silicon Dummy Wafer</td>
			<td style="width:217px;">Wollemi Technical, Taoyuan, Taiwan</td>
			<td style="width:135px;">-</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="20">
			<td height="20" style="height:20px;width:211px;">Acetone</td>
			<td style="width:217px;">ECHO Chemical, Miaoli, Taiwan</td>
			<td style="width:135px;">AH3102-000000-72EC</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:211px;">AG Double Expose Mask Aligner</td>
			<td style="width:217px;">M&#38;R Nano Technology, Taoyuan, Taiwan</td>
			<td style="width:135px;">AG500-4D-D-V-S-H</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:211px;">Biopsy Punch</td>
			<td style="width:217px;">Miltex, Plainsboro, NJ</td>
			<td style="width:135px;">33-31</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:211px;">Blunt Needle</td>
			<td style="width:217px;">Jensen Global, Santa Barbara, CA</td>
			<td style="width:135px;">Gauge 16</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="20">
			<td height="20" style="height:20px;width:211px;">Buffered Oxide Etch</td>
			<td style="width:217px;">ECHO Chemical, Miaoli, Taiwan</td>
			<td style="width:135px;">PH3101-000000-72EC</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="20">
			<td height="20" style="height:20px;width:211px;">Desicattor</td>
			<td style="width:217px;">A-VAC Industries, Anaheim, CA</td>
			<td style="width:135px;">35.10001.01</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="20">
			<td height="20" style="height:20px;width:211px;">Fluorescein Sodium Salt Water</td>
			<td style="width:217px;">Sigma-Aldrich Co., St Louis, MO</td>
			<td style="width:135px;">F6300</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="35">
			<td height="35" style="height:35px;width:211px;">ImageJ</td>
			<td style="width:217px;">National Institutes of Health, Bethesda, MD</td>
			<td style="width:135px;">Ver. 1.51</td>
			<td>Imaging Processing Program&#160;</td>
		</tr>
		<tr height="35">
			<td height="35" style="height:35px;width:211px;">Inverted Fluorescence Microscope&#160;</td>
			<td style="width:217px;">Leica Microsystems, Wetzlar, Germany</td>
			<td style="width:135px;">DMI 6000 B</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="20">
			<td height="20" style="height:20px;width:211px;">Isopropyl Alcohol (IPA)</td>
			<td style="width:217px;">ECHO Chemical, Miaoli, Taiwan</td>
			<td style="width:135px;">CMOS112-00000-72EC</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="20">
			<td height="20" style="height:20px;width:211px;">Leica Application Suite&#160;</td>
			<td style="width:217px;">Leica Microsystems GmbH</td>
			<td style="width:135px;">LAS X</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="20">
			<td height="20" style="height:20px;width:211px;">MATLAB</td>
			<td style="width:217px;">MathWorks, Natick, MA</td>
			<td style="width:135px;">R2015b</td>
			<td>Programming for MR evaluation</td>
		</tr>
		<tr height="35">
			<td height="35" style="height:35px;width:211px;">Mechanical Convention Oven</td>
			<td style="width:217px;">ThermoFisher Scientific,Waltham, MA</td>
			<td style="width:135px;">Lindberg Blue M MO1450C</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="20">
			<td height="20" style="height:20px;width:211px;">Plasma Tretment System</td>
			<td style="width:217px;">Nordson MARCH, Concord CA</td>
			<td style="width:135px;">PX-250</td>
			<td>Oxygen plasma surface treatment</td>
		</tr>
		<tr height="20">
			<td height="20" style="height:20px;width:211px;">Polydimehtylsiloxane (PDMS)&#160;</td>
			<td style="width:217px;">Dow Corning, Midland, MI</td>
			<td style="width:135px;">SYLGARD 184</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="35">
			<td height="35" style="height:35px;width:211px;">Polyethylene Tubing</td>
			<td style="width:217px;">Becton-Dickinson and Company, Sparks, MD</td>
			<td style="width:135px;">427446</td>
			<td>PE 205, 10&#39;</td>
		</tr>
		<tr height="20">
			<td height="20" style="height:20px;width:211px;">Spin Coater</td>
			<td style="width:217px;">ELS Technology, Hsinchu, Taiwan</td>
			<td style="width:135px;">ELS 306MA</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="20">
			<td height="20" style="height:20px;">Negative Tone Photoresist&#160;</td>
			<td style="width:217px;">MicroChem, Westborough, MA</td>
			<td style="width:135px;">SU-8 2050</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="35">
			<td height="35" style="height:35px;width:211px;">Negative Tone Photoresist Developer</td>
			<td style="width:217px;">MicroChem, Westborough, MA</td>
			<td style="width:135px;">Y020100</td>
			<td style="width:168px;">SU-8 Developer</td>
		</tr>
		<tr height="20">
			<td height="20" style="height:20px;width:211px;">Surgical Blade</td>
			<td style="width:217px;">Feather, Osaka, Japan</td>
			<td style="width:135px;">5005093</td>
			<td>PDMS cutting</td>
		</tr>
		<tr height="20">
			<td height="20" style="height:20px;width:211px;">Syringe Pump</td>
			<td style="width:217px;">Chemyx, Houston, TX</td>
			<td style="width:135px;">Fusion 400</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="35">
			<td height="35" style="height:35px;width:211px;">Tetra-n-butylammonium Fluoride (TBAF)</td>
			<td style="width:217px;">Alfa Aesar, Ward Hill, MA</td>
			<td style="width:135px;">A10588</td>
			<td></td>
		</tr>
	</tbody>
</table>

one-step approach to fabricating polydimethylsiloxane microfluidic channels of different geometric sections by sequential wet etching processes

Matériaux de polydiméthylsiloxane (PDMS) sont exploitées essentiellement pour fabriquer des dispositifs microfluidiques à l’aide de techniques de moulage de réplique Lithographie douce. Schémas de configuration de canal personnalisés sont nécessaires pour des fonctions spécifiques et intégrée sur le rendement des dispositifs microfluidiques dans de nombreuses applications biomédicales et chimiques (par exemple, la culture cellulaire, biodétection, synthèse chimique et manipulation de liquide). En raison de la nature des approches à l’aide de plaquettes de silicium avec des couches de résine photosensible modelés par photolithographie comme maîtres moules de moulage, les canaux microfluidiques ont généralement des coupes régulières de formes rectangulaires avec des hauteurs identiques. En général, canaux avec plusieurs hauteurs ou différentes sections géométriques sont conçus pour possèdent des fonctions particulières et d’effectuer dans diverses applications de microfluidique (par exemple, hydrophoresis est utilisé pour le tri des particules et en flux continus pour séparer les globules6,7,8,,9). Par conséquent, un effort important a été déposée dans la construction de canaux avec différentes sections à travers plusieurs étapes des approches comme la photolithographie à l’aide de plusieurs couches de résine photosensible et l’assemblage de différents PDMS minces feuilles. Néanmoins, de telles approches plusieurs étapes impliquent généralement toute procédure fastidieuse et vaste instrumentation. En outre, les dispositifs fabriqués ne peuvent pas exécuter régulièrement et les données expérimentales ont entraîné peuvent être imprévisibles. Ici, une approche en une seule étape est développée pour la fabrication directe des canaux microfluidiques avec différentes coupes géométriques au moyen de procédés de gravure humide séquentielle de PDMS, qui introduit le mordançage dans circuits prévus monocouche mises en incorporés dans les matériaux PDMS. Par rapport aux méthodes actuelles de fabrication des canaux microfluidiques PDMS géométries différentes, l’approche développée en une seule étape peut considérablement simplifier le processus pour fabriquer des canaux avec des sections non rectangulaire ou de différentes hauteurs. Par conséquent, la technique est un moyen de construire des canaux microfluidiques complexes, qui fournit une solution de fabrication pour la promotion de systèmes microfluidiques innovantes.

Récemment, un grand nombre d’études ont été fait sur la fabrication des dispositifs microfluidiques avec canaux de différentes sections par réplique de lithographie de moulage13,14,15 et PDMS gravure techniques17 , 18 , 19 , 20 , 21<...

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One-Step Approach to Fabricating Polydimethylsiloxane Microfluidic Channels of Different Geometric Sections by Sequential Wet Etching Processes

En une seule étape approche de manufacture des canaux microfluidiques polydiméthylsiloxane de différentes Sections géométriques par des procédés de gravure humide séquentiel

Il existe plusieurs méthodes pour la fabrication des chaînes des sections non rectangulaire, enfouis dans des dispositifs microfluidiques polydiméthylsiloxane. La plupart d'entre eux comprendre plusieurs étapes fabrication et vaste alignement. Dans cet article, une approche en une seule étape est signalée pour fabriquer des canaux microfluidiques de différentes coupes géométriques de polydiméthylsiloxane séquentielle gravure humide.

Polydimethylsiloxane (PDMS) materials are substantially exploited to fabricate microfluidic devices by using soft lithography replica molding techniques. ...

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