एकल अंक नैनोमीटर इलेक्ट्रॉन-बीम एक वाकया के साथ लिथोग्राफी-सही स्कैनिंग संचरण इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप

हम एक वाकया-सही स्कैनिंग संचरण इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप का उपयोग करने के लिए एकल अंक नैनोमीटर पैटर्न को परिभाषित करने के लिए दो व्यापक रूप से इस्तेमाल किया इलेक्ट्रॉन बीम में विरोध: पाली (मिथाइल methacrylate) और हाइड्रोजन silsesquioxane । पैटर्न का विरोध liftoff, प्लाज्मा नक़्क़ाशी का उपयोग कर एकल अंक नैनोमीटर निष्ठा के साथ पसंद की लक्ष्य सामग्री में दोहराया जा सकता है, और organometallics द्वारा घुसपैठ का विरोध ।