Name: fabrication of nanoheight channels incorporating surface acoustic wave actuation via lithium niobate for acoustic nanofluidics
Uploaded: 2020-02-05T13:30:00
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Die Autoren danken der University of California und der NANO3-Einrichtung an der UC San Diego für die Bereitstellung von Mitteln und Einrichtungen zur Unterstützung dieser Arbeit. Diese Arbeiten wurden zum Teil an der San Diego Nanotechnology Infrastructure (SDNI) von UCSD durchgeführt, einem Mitglied der National Nanotechnology Coordinated Infrastructure, die von der National Science Foundation (Grant ECCS–1542148) unterstützt wird. Die hier vorgestellte Arbeit wurde großzügig durch ein Forschungsstipendium der W.M. Keck Stiftung unterstützt. Die Autoren sind auch dankbar für die Unterstützung dieser Arbeit durch das Office of Naval Research (über Grant 12368098).

1. Nano-Höhe Kanal Maske Vorbereitung
<ol><li>Photolithographie: Mit einem Muster, das die gewünschte Form der Nanohöhenkanäle beschreibt (Abbildung 1B), verwenden Sie normale Photolithographie und Lift-off-Verfahren, um Nanohöhenvertiefungen in einem LN-Wafer zu erzeugen. Diese Depressionen werden nanoheight Kanäle bei Wafer-Bindung in einem späteren Schritt. HINWEIS: Die lateralen Abmessungen der nanoskaligen Vertiefungen sind in diesem Protokoll mikroskaliert....

<ol>
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Die Raumtemperaturbindung ist der Schlüssel zur Herstellung von SAW-integrierten Nanoslit-Geräten. Fünf Aspekte müssen berücksichtigt werden, um eine erfolgreiche Bindung und eine ausreichende Bindungsfestigkeit zu gewährleisten.
Zeit und Leistung für die Plasmaoberflächenaktivierung Die Erhöhung der Plasmaleistung wird dazu beitragen, die Oberflächenenergie zu erhöhen und dementsprechend die Bindungsfestigkeit zu erhöhen. Aber der Nachteil der Erhöhung der Lei...

Der steuerbare nanoskalige Flüssigkeitstransport in Nanokanälen –Nanofluidik1– erfolgt auf den gleichen Längenskalen wie die meisten biologischen Makromoleküle und ist vielversprechend für biologische Analysen und Erfassungen, medizinische Diagnose und Materialverarbeitung. Verschiedene Designs und Simulationen wurden in der Nanofluidik entwickelt, um Flüssigkeiten und Partikelsuspensionen basierend auf Temperaturgradienten2, Coulomb Ziehen3, Oberflächenwellen4, statische elektrische Felder5,6,7und Thermophorese8 in den letzten fünfzehn Jahren zu manipulieren. Kürzlich wurde bei SAW9 gezeigt, dass es nanoskalige Flüssigkeitspumpen und -abflüsse mit ausreichendem akustischen Druck produziert, um die Dominanz von Oberflächen- und viskosen Kräften zu überwinden, die ansonsten einen effektiven Flüssigkeitstransport in Nanokanälen verhindern. Der Hauptvorteil des akustischen Streamings ist seine Fähigkeit, einen nützlichen Fluss in Nanostrukturen ohne Bedenken über die Details der Chemie der Flüssigkeits- oder Partikelsuspension zu fördern, was Geräte, die diese Technik sofort nutzen, für biologische Analysen, Erfassungen und andere physikalisch-chemische Anwendungen nützlich macht.
Die Herstellung von SAW-integrierten nanofluidischen Geräten erfordert die Herstellung der Elektroden – des interdigitalen Wandlers (IDT) – auf einem piezoelektrischen Substrat, Lithiumniobat10, um die Erzeugung des SAW zu erleichtern. Reaktive Ionenätzung (RIE) wird verwendet, um eine nanoskalige Depression in einem separaten LN-Stück zu bilden, und LN-LN-Bindung der beiden Stücke erzeugt einen nützlichen Nanokanal. Das Herstellungsverfahren für SAW-Geräte wurde in vielen Publikationen vorgestellt, ob mit normaler oder abhebter ultravioletter Photolithographie neben Metallsputations- oder Verdampfungsabscheidung11. Damit der LN RIE-Prozess einen Kanal in einer bestimmten Form ätzt, wurden die Auswirkungen auf die Ätzrate und die endgültige Oberflächenrauheit des Kanals aus der Auswahl verschiedener LN-Ausrichtungen, Maskenmaterialien, Gasfluss und Plasmaleistung untersucht12,13,14,15,16. Die Plasmaoberflächenaktivierung wurde verwendet, um die Oberflächenenergie deutlich zu erhöhen und damit die Festigkeit der Bindung in Oxiden wie LN17,18,19,20zu verbessern. Ebenso ist es möglich, LN heterogen mit anderen Oxiden wie SiO2 (Glas) über eine zweistufige plasmaaktivierte Klebemethode21zu verbinden. Insbesondere die Raumtemperatur-LN-Bindung wurde mit verschiedenen Reinigungs- und Oberflächenaktivierungsbehandlungen untersucht22.
Hier beschreiben wir detailliert den Prozess zur Herstellung von 40 MHz SAW-integrierten Nanokanälen mit einer Höhe von 100 nm, die oft als Nanoslitkanäle bezeichnet werden (Abbildung 1A). Effektive Flüssigkeitskapillarfüllung und Flüssigkeitsentleitung durch SAW-Betätigung zeigt die Gültigkeit sowohl der Nanoslit-Fertigung als auch der SAW-Leistung in einem solchen nanoskaligen Kanal. Unser Ansatz bietet ein nano-akustofluidisches System, das die Untersuchung einer Vielzahl von physikalischen Problemen und biologischen Anwendungen ermöglicht.

<table border="1" fo:keep-together.within-page="1" fo:keep-with-next.within-page="always">
	<tbody>
		<tr>
			<td>Absorber</td>
			<td>Dragon Skin, Smooth-On, Inc., Macungie, PA, USA</td>
			<td>Dragon Skin 10 MEDIUM</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Amplifier</td>
			<td>Mini-Circuits, Brooklyn, NY, USA</td>
			<td>ZHL&#8211;1&#8211;2W&#8211;S+</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Camera</td>
			<td>Nikon, Minato, Tokyo, Japan</td>
			<td>D5300</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Developer</td>
			<td>Futurrex, NJ, USA</td>
			<td>RD6</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Diamond tip engraving pen</td>
			<td>Malco, Memphis, TN, USA</td>
			<td>Malco A50 USA Made Carbide Tipped Scribe</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Dicing saw</td>
			<td>Disco, Tokyo, Japan</td>
			<td>Disco Automatic Dicing Saw 3220</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Heating oven</td>
			<td>Carbolite, Hope Valley, UK</td>
			<td>HTCR 6/28</td>
			<td>High Temperature Clean Room Oven - HTCR</td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Hole driller</td>
			<td>Dremel, Mount Prospect, Illinois</td>
			<td>Model #4000</td>
			<td>4000 High Performance Variable Speed Rotary</td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Inverted microscope</td>
			<td>Amscope, Irvine, CA, USA</td>
			<td>IN480TC-FL-MF603</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Lithium niobate substrate</td>
			<td>PMOptics, Burlington, MA, USA</td>
			<td>PWLN-431232</td>
			<td>4&#34; double-side polished 0.5 mm thick 128&#176; Y-rotated cut lithium niobate</td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Mask aligner</td>
			<td>Heidelberg Instruments, Heidelberg, Germany</td>
			<td>MLA150</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Nano3 cleanroom facility</td>
			<td>UCSD, La Jolla, CA, USA</td>
			<td></td>
			<td>Fabrication process is performed in it.</td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Negative photoresist</td>
			<td>Futurrex, NJ, USA</td>
			<td>NR9-1500PY</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Oscilloscope</td>
			<td>Keysight Technologies, Santa Rosa, CA, USA</td>
			<td>InfiniiVision 2000 X-Series</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Plasma surface activation</td>
			<td>PVA TePla, Corona, CA, USA</td>
			<td>PS100</td>
			<td>Tepla Asher</td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Polarizer sheet</td>
			<td>Edmund Optics, Barrington, NJ, USA</td>
			<td>#86-182</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>RIE etcher</td>
			<td>Oxford Instruments, Abingdon, UK</td>
			<td>Plasmalab 100</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Signal generator</td>
			<td>NF Corporation, Yokohama, Japan</td>
			<td>WF1967 multifunction generator</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Sputter deposition</td>
			<td>Denton Vacuum, NJ, USA</td>
			<td>Denton 18</td>
			<td>Denton Discovery 18 Sputter System</td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Teflon wafer dipper</td>
			<td>ShapeMaster, Ogden, IL, USA</td>
			<td>SM4WD1</td>
			<td>Wafer Dipper 4&#34;</td>
		</tr>
	</tbody>
</table>

fabrication of nanoheight channels incorporating surface acoustic wave actuation via lithium niobate for acoustic nanofluidics

Eine kontrollierte nanoskalige Manipulation von Flüssigkeiten ist aufgrund der Dominanz von Oberflächen- und Viskositätskräften als außergewöhnlich schwierig bekannt. Megahertz-Order-Oberflächen-Akustikwellengeräte (SAW) erzeugen eine enorme Beschleunigung auf ihrer Oberfläche, bis zu 108 m/s2, was wiederum für viele der beobachteten Effekte verantwortlich ist, die die Akustofluidik definieren: akustisches Streaming und akustische Strahlungskräfte. Diese Effekte wurden für Partikel-, Zell- und Flüssigkeitsmanipulationen im Mikromaßstab verwendet, obwohl SAW in jüngerer Zeit verwendet wurde, um ähnliche Phänomene im Nanomaßstab durch einen völlig anderen Satz von Mechanismen zu erzeugen. Kontrollierbare nanoskalige Flüssigkeitsmanipulation bietet eine breite Palette von Möglichkeiten in ultraschnellem Flüssigkeitspumpen und Biomakromoleküldynamik, die für physikalische und biologische Anwendungen nützlich sind. Hier zeigen wir die Nano-Höhenkanalfertigung über die mit einem SAW-Gerät integrierte Raumtemperatur-Lithiumniobat-Bindung (LN). Wir beschreiben den gesamten experimentellen Prozess einschließlich nano-höhe Kanalfertigung durch Trockenätzung, plasmaaktivierte Verklebung auf Lithiumniobat, das entsprechende optische Setup für die nachfolgende Bildgebung und SAW-Betätigung. Wir zeigen repräsentative Ergebnisse für die Flüssigkeitskapillarfüllung und das Ablassen von Flüssigkeiten in einem nanoskaligen Kanal, der durch SAW induziert wird. Dieses Verfahren bietet ein praktisches Protokoll für die Nanokanalfertigung und -integration mit SAW-Geräten, die für zukünftige Nanofluidik-Anwendungen nützlich sind.

Wir führen Flüssigkeitskapillarablage und SAW-induzierte Flüssigkeitsableitung in nano-höhe LN-Schlitzen nach erfolgreicher Herstellung und Verklebung von SAW-integrierten nanofluidischen Geräten durch. Oberflächenakustische Wellen werden von IDTs erzeugt, die durch ein verstärktes sinusförmiges Signal bei der Resonanzfrequenz von 40 MHz der IDTs betätigt werden, und die SAW breitet sich über ein piezoelektrisches LN-Substrat in den Nanoslit aus. Das Verhalten der Flüssigkeit im Nanoslit, die mit SAW interagie...

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Fabrication of Nanoheight Channels Incorporating Surface Acoustic Wave Actuation via Lithium Niobate for Acoustic Nanofluidics

Wir demonstrieren die Herstellung von Nanohöhenkanälen mit der Integration von Oberflächen-Akustikwellenbetätigungsgeräten auf Lithiumniobat für akustische Nanofluidik mittels Liftoff-Photolithographie, nano-tiefen reaktiver Ionenätzung und Raumtemperatur-Plasma oberflächenaktivierte Mehrschichtbindung von Einkristall-Lithiumniobat, ein Prozess, der ähnlich nützlich ist, um Lithiumniobat mit Oxiden zu verkleben.

Herstellung von Nanohöhenkanälen mit Oberflächen-Akustikwellenbetätigung über Lithiumniobat für akustische Nanofluidik

Controlled nanoscale manipulation of fluids is known to be exceptionally difficult due to the dominance of surface and viscous forces. Megahertz-order ...

Unser Protokoll bietet eine detaillierte Fertigungsmethode für nano-Höhe-Kanäle mit Oberflächen-Akustikwellenbetätigung über Lithiumniobat für akustische Nanofluidik. Diese Technik kann verwendet werden, um Raumtemperatur Plasmaoberfläche aktiviert Multilayer-Bindung von Einkristall-Lithium-Niobat durchzuführen, ein Verfahren, das ebenso nützlich für die Bindung von Lithium-Niobat oder Siliziumdioxid und anderen Oxiden. Schmutz und Partikel sollten während der Reinigung und der Plasmaoberfläche aktivierten Prozesse entfernt werden, um einen Bindungsausfall in der Nanohöhe kanalbildung zu verhindern.Eine visuelle Demonstration dieser Methode kann den gesamten Fertigungsprozess im Detail erfassen, was zu einer klaren Darstellung des Protokolls für andere Forscher führt. Um eine Nano-Höhe-Kanalmaske vorzubereiten, legen Sie einen Wafer mit einem Muster eingeschrieben, das als normale Photolithographie in Liftoff-Verfahren konzipiert ist, in ein Sputterabscheidungssystem und ziehen Sie das Kammervakuum auf das fünffache 10 auf den negativen Sechs-Millitorr herunter. Lassen Sie Argon mit 2,5 Millitorr fließen und sputtern Sie Chrom mit 200 Watt, um innerhalb von 18 Minuten eine 400 Nanometer dicke Opfermaske zu erzeugen.Am Ende der Ablagerung den Wafer vollständig in ein Becher-Aceton-Becher tauchen und den Wafer mit mittlerer Intensität 10 Minuten lang beschallen. Am Ende der Beschallung den Wafer mit entionisiertem Wasser abspülen und den Wafer mit trockenem Stickstoffstrom trocknen. Dann verwenden Sie eine Streusäge, um den Wafer in einzelne Chips mit einem Nano-Schlitzmuster pro Chip zu teilen.Um den Nano-Höhenkanal herzustellen, legen Sie den Wafer in eine reaktive Ionenätzkammer. Stellen Sie die Kammerparameter so ein, dass ein 120 Nanometer tiefer Nanoschlitz im Lithiumniobat erzeugt wird. Um die Kanaleinlässe und Auslässe zu bohren, verwenden Sie doppelseitiges Klebeband, um eine kleine Stahlplatte an der Unterseite einer Petrischale und den geätzten Chip an der Platte zu befestigen.Füllen Sie die Schale mit Wasser, um den Chip vollständig einzutauchen und befestigen Sie einen Diamantbohrer mit einem Durchmesser von 0,5 Millimetern an einer Bohrmaschine. Dann bohren Sie mit einer Geschwindigkeit von mindestens 10.000 Umdrehungen pro Minute, um die gewünschten Ein- und Auslässe zu bearbeiten. Für Chrom-Nassätzung verwenden Sie einen Diamant-Spitzen-Gravur-Stift, um die flache, ungeätzte Oberfläche des gebohrten Lithium-Niobats deutlich zu markieren, um zu verfolgen, auf welcher Seite sich der Nanohöhenkanal befindet, und die Späne in Chrom-Etchant zu beschallen.Zur Lösemittelreinigung der Chips Chippaare, bestehend aus einem Oberflächen-Akustikwellengerät und einem geätzten nanoskaligen Vertiefungschip, platzieren und die Paare in einen Mitenker aus Aceton eintauchen, der mit einem Beschallungsbad platziert ist. Nach zwei Minuten Beschallung in Aceton die Chips in Methanol für eine Minute beschallen. Am Ende der Methanolbeschallung die Chips in entionisiertem Wasser abspülen.Als nächstes fügen Sie Wasserstoffperoxid zu Schwefelsäure im Verhältnis eins zu drei in einer gut belüfteten Haube hinzu und legen Sie alle Chips in einen Teflonhalter. Legen Sie den Halter 10 Minuten lang vorsichtig in den Becher mit Piranhasäure, bevor Sie die Chips und halter in zwei sequenziellen deionisierten Wasserbädern spülen. Nach der zweiten Spülung trocknen Sie die Späne mit trockenem Stickstoffstrom und legen Sie die Proben sofort in Sauerstoffplasma-Aktivierungsgeräte, die sie während der Handhabung bedeckt halten, um eine Kontamination zu vermeiden.Aktivieren Sie mit 120 Watt Leistung die Späne 150 Sekunden lang bei 120 Standard-Kubikzentimetern dem Sauerstoffstrom aussetzen, aktivieren Sie die Chipoberflächen mit dem Plasma. Am Ende der Aktivierung die Proben sofort für mindestens zwei Minuten in ein frisches deionisiertes Wasserbad untertauchen. Nach dem Trocknen der Späne mit trockenem Stickstofffluss legen Sie den nano-schlitzenden Chip vorsichtig auf den Oberflächen-Akustikwellen-Gerätechip in der gewünschten Position, wobei die Späne in der entsprechenden Ausrichtung ausgerichtet sind.Verwenden Sie dann eine Pinzette oder ähnliches, um die Probe von ihrem Zentrum aus nach unten zu drücken, um die Bindung zu initiieren, und übt enden sanften Druck auf Bereiche aus, die sich nach der anfänglichen Depression nicht verkleben konnten. Als nächstes legen Sie die geklebten Proben in eine gefederte Klemme, um trotz thermischer Ausdehnung sicher Lasten zu üben, und legen Sie die geklemmten Proben in einen Raumtemperaturofen. Dann stellen Sie die Ofentemperatur auf 300 Grad Celsius mit einer Rampenrate von maximal zwei Grad Celsius pro Minute mit einer Verweilzeit von zwei Stunden vor der automatischen Abschaltung.Um die Flüssigkeitsbewegung im fertigen Nanoschlitz zu beobachten, legen Sie den nano-schlitzenden Chip unter ein invertiertes Mikroskop und drehen Sie den Chip durch einen linearen Polarisationsfilter im optischen Pfad, um eine birefreringende Bildverdoppelung im Lithiumniobat entsprechend zu blockieren. Fügen Sie dann ultrareines deionisiertes Wasser in den Einlass ein und stellen Sie den Flüssigkeitsverlauf ab. Für die Oberflächen-Akustikwellenbetätigung befestigen Sie Absorber an den Enden der Oberflächen-Akustikwellenvorrichtung, um reflektierte akustische Wellen zu verhindern, und stellen Sie die Resonanzfrequenz an einem Signalgenerator auf rund 40 Megahertz ein.Verwenden Sie einen Verstärker, um das Signal zu verstärken und verwenden Sie ein Oszilloskop, um die tatsächliche Spannung, strom und Leistung des Geräts zu messen. Dann wenden Sie ein sinusförmiges elektrisches Feld auf den interdigitalen Wandler an und zeichnen Sie die Flüssigkeitsbewegung während der Betätigung innerhalb des Nanoschlitzes auf. In diesen Bildern ist die Kapillarfüllung von ultrareinem entionisiertem Wasser in einen 100 Nanometer hohen 400 Mikrometer breiten Kanal und einen 100 Nanometer hohen 40 Mikrometer breiten Kanal dargestellt.Kapillarkräfte ziehen Flüssigkeitsfüllung des gesamten Nanoschlitzes mit einem Tropfen Reinstwasser, das durch den Einlass geleitet wird, und die Füllung erfolgte aufgrund ihrer größeren Kapillarkraft schneller innerhalb des schmaleren Kanals. In diesem Experiment wurde Wasser in einem 100-Nanometer-Höhenschlitz abgelassen, um eine Wasser-Luft-Schnittstelle mit der maximalen Länge in der Mitte zu zeigen, die eine maximale akustische Energie in der Mitte des Oberflächen-Akustikwellengeräts anzeigt. Eine schwelle angewendete Leistung von etwa einem Watt ist erforderlich, um den schallenden Druck zu zwingen, größer als der Kapillardruck zu sein, um ein sichtbares Entleerungsphänomen anzutreiben.Die meisten Herstellungsverfahren sollten in einem Reinraum durchgeführt werden, um mikroskalige Partikelkontamination zu verhindern, und Flüssigkeit, die für die Füllung verwendet wird, sollte ultrarein sein, um eine Verstopfung des Nanoschlitzes zu verhindern. Unser Ansatz bietet ein nanoakustisches Fluidiksystem zur Untersuchung einer Vielzahl von physikalischen Problemen und biologischen Anwendungen im Nanomaßstab.

Research

JoVE Journal

Engineering

Synthesis of Phase-shift Nanoemulsions with Narrow Size Distributions for Acoustic Droplet Vaporization and Bubble-enhanced Ultrasound-mediated Ablation

Synthese von Phase-shift Nanoemulsionen mit enger Größenverteilung für Acoustic Droplet Vaporisation und Bubble-enhanced Ultraschall-vermittelte Ablation

High-intensity  focused ultrasound (HIFU) is used clinically to thermally ablate tumors. To  enhance localized heating and improve thermal ablation in ...

Forschung

Ingenieurwesen

Solid-state Graft Copolymer Electrolytes for Lithium Battery Applications

Solid-State-Graft Copolymer Elektrolyte für Lithium-Batterie-Anwendungen

Battery safety has been a very important research area over the past decade. Commercially available lithium ion batteries employ low flash point (&lt;80 ...

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Fabrication, Operation and Flow Visualization in Oberflächenschallwellen-wave-driven Acoustic-Gegenstrom Mikrofluidik

Surface acoustic waves (SAWs) can be used to drive liquids in portable microfluidic chips via the acoustic counterflow phenomenon. In this video we ...

Fabrication of Uniform Nanoscale Cavities via Silicon Direct Wafer Bonding

Herstellung von uniformen Nanoschuppen-Cavities über Silicon Direct Wafer Bonding

Measurements of the heat capacity and superfluid fraction of confined 4He have been performed near the lambda transition using lithographically patterned ...

Patterning via Optical Saturable Transitions - Fabrication and Characterization

Strukturierung via Optical Saturable Transitions - Herstellung und Charakterisierung

This protocol describes the fabrication and characterization of nanostructures using a novel nanolithographic technique called Patterning via Optical ...

Characterization of Full Set Material Constants and Their Temperature Dependence for Piezoelectric Materials Using Resonant Ultrasound Spectroscopy

Charakterisierung von Full Set Materialkonstanten und deren Temperaturabhängigkeit für piezoelektrische Materialien mit Resonanzultraschallspektroskopie

During the operation of high power electromechanical devices, a temperature rise is unavoidable due to mechanical and electrical losses, causing the ...

Emission Spectroscopic Boundary Layer Investigation during Ablative Material Testing in Plasmatron

Emissionsspektroskopische Grenzschichtuntersuchung während ablative Materialprüfung in Plasmatron

Ablative Thermal Protection Systems (TPS) allowed the first humans to safely return to Earth from the moon and are still considered as the only solution ...

Free-form Light Actuators &#8212; Fabrication and Control of Actuation in Microscopic Scale

Free-form Light Actuators ÃƒÂ¢Ã¢â€šÂ¬Ã¢â‚¬Â Fabrication and Control of Actuation in Microscopic Scale

Freiform-Lichtaktoren - Herstellung und Steuerung der Betätigung in mikroskopischer Skala

Liquid crystalline elastomers (LCEs) are smart materials capable of reversible shape-change in response to external stimuli, and have attracted ...

Fabrication and Operation of Acoustofluidic Devices Supporting Bulk Acoustic Standing Waves for Sheathless Focusing of Particles

Herstellung und Betrieb von Acoustofluidic Devices Unterstützung Bulk-Acoustic-Standing Waves für sheathless Fokussierung der Partikel

Acoustophoresis refers to the displacement of suspended objects in response to directional forces from sound energy. Given that the suspended objects must ...

Focused Ion Beam Fabrication of LiPON-based Solid-state Lithium-ion Nanobatteries for In Situ Testing

Focused Ion Beam Fabrication of LiPON-based Solid-state Lithium-ion Nanobatteries for In Situ Testing

Fokussierte Ion Beam Herstellung von LiPON-basierten Solid-State-Lithium-Ionen-Nanobatteries zu Testzwecken In Situ

Solid-state electrolytes are a promising replacement for current organic liquid electrolytes, enabling higher energy densities and improved safety of ...