February 5th, 2020
•Vi demonstrerer fabrikasjon av nanohøydekanaler med integrering av overflateakustiske bølgeaktiveringsenheter på litiumniobat efor akustisk nanofluidics via liftoff fotoliitografi, nanodybde reaktiv ionetsing og romtemperaturplasma overflateaktivert flerlags binding av enkeltkrystalllitiumniobate, en prosess som ligner nyttig for å binde litiumniobattil oksider.
ABOUT JoVE
Copyright © 2024 MyJoVE Corporation. All rights reserved